• TPSS 炭化けい素セラミックス 製品画像

    TPSSは、高純度炭化ケイ素を主成分とする半導体関連材料です。

    た熱膨張率をもつ ○デポ膜剥離によるパーティクルが減少 ○高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもつ ○半導体熱処理炉用炉心管をはじめ均熱管、ポート、フォークなどに応用されている ○精密加工技術を取り入れたウェーハポートには定評がある ○300mmウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

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