• 真空ゲートバルブ SERIES 12.1 製品画像

    VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

    ミットスイッチ付き) -耐熱リミットスイッチ: アクチュエータの最高ベークアウト温度140℃ バルブ -お客様の真空システムに挿入取り付け(ボディなし) -表面処理 例: 硬質アルマイト加工 -お客様指定のフランジ -標準以外のシール材 -レーザーアプリケーション用のシャッター(シールなしゲート)...(つづきを見る

  • 均等排気バルブ SERIES 67.0 製品画像

    均等なガスフローで高度なプロセスに最適

    サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS チャンバー側 顧客仕様による...(つづきを見る

  • 均等排気バルブ SERIES 67.0 製品画像

    SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

    サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS チャンバー側 顧客仕様による ...(つづきを見る

  • バタフライコントロールバルブ≪ポジション制御用≫ 製品画像

    シンプルなソリューションをお求めの方に!

    1.6 DN 40-100mm (1½“ – 4“) アクチュエータ: 搭載型コントローラー ボディ材質: 61.3 アルミニウムまたはステンレススチール 61.6 硬質アルマイト加工アルミニウムまたはステンレススチール 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F...(つづきを見る

  • 振子式コントロールバルブ SERIES 65.5 製品画像

    過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

    サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 標準フランジ: ISO-F、JIS...(つづきを見る

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