• 微細加工装置 NEOシリーズ 製品画像

    空気中で微細な高速露光を実現!

    ナノインプリント用金型開発に適した露光装置! 高速露光が可能なため、そのまま量産機への移行も可能。 フォトレジスト、熱レジストに対応し、材料開発に最適。 ナノサイズ~ミクロンサイズの露光を実現。 ※ 材料(レジスト)のマッチングについては、露光サービスをご利用ください。 【 特長 】 ◆ 直接描画タイプとしては最速(毎秒15000000ドット以上) ◆ 真空設備不要 ◆ ウェハのみ...(つづきを見る

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