• 非接触光学面粗さ測定機 nanoCam 製品画像

    測定物の大きさや環境・場所を選ばない振動に強い3次元粗さ測定器!

    3次元干渉計測で、非常に精細な表面粗さの測定が可能。Zygo社MetroProの測定データやCodeV、Zemaxなどの設計データを読み込んで計測データのリアルタイム評価をすることで、研磨加工に対するフィードバックをかけることも可能。超小型で可搬性がありリモートコントロールが可能なため、クリーンルームや真空チャンバ内なども含めた加工現場へも導入できる。...(つづきを見る

  • ウェーハ平面度測定機『FM200-Wafer』【業界標準機!】 製品画像

    アズスライス・ラップ・ポリッシュ全工程を1台で!ウェーハの平坦度・平面…

    latMaster-Waferは、工程管理・研究開発に最適なウェーハ平面度測定機です。ソフトウェアの機能が多く、目的に応じた測定を行うことが可能です。デバイスメーカー、ウェーハメーカー、研究機関様、加工企業様にご使用いただいており、化合物半導体業界標準機です。 <特長> ・200μmのSORIまで測定可能。 ・測定領域の表示が可能。 ・表面うねりの解析等、ソフトウェアの機能が充実。...(つづきを見る

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