• 創業60年!フォトリソグラフィ用高精度薬液濃度管理装置 製品画像

    半導体・液晶パネル製造プロセスで20年以上の実績!微細な線幅加工に貢献…

    第二世代PPC(濃度コントローラ)を内蔵した新製品シリーズです。 各種濃度センサーに改良を加え、高精度信号処理や高度データ分析、新たに導入した制御理論などにより大幅に性能が向上しました。 ...下記の製品に加え、他の産業でも役立つ要素技術を数多く保有しています。各種の液管理に係わる技術相談・サンプル試験・装置開発・共同研究のご依頼を受け付けています。 1.DMS-101 現像液希釈供給装...(つづきを見る

  • 創業60年!エッチング液濃度管理装置 製品画像

    世界初となるIGZO膜や、ITO膜、アルミニウム膜、太陽電池テクスチャ…

    第二世代PPC(濃度コントローラ)を内蔵した新製品シリーズです。 各種濃度センサーに改良を加え、高精度信号処理や高度データ分析、新たに導入した制御理論などにより大幅に性能が向上しました。 ...フォトリソグラフィのプロセスで使用するエッチング液の濃度を高精度に管理すると同時に、使用量および廃液量を大幅に削減する画期的なシステムです。 EMS-T201 エッチング液濃度管理装置(ITO膜)...(つづきを見る

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