• 高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』 製品画像

    高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

    リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

    試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 (クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ) ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

    メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

  • フッ素樹脂コーティング 「採用業界や用途とは」 製品画像

    フッ素樹脂コーティング 「採用業界や用途とは」

    非粘着性や撥水性、すべり性に優れ、耐熱性や耐薬品性の高いフッ素樹脂コー…

    ■フッ素樹脂コーティングの採用業界と用途 ・半導体製造装置   めっき治具関係/半導体製造ライン/真空チャンバー等 ・自動車産業  CFRP成形工程/搬送機器/成形金型/カッター刃等 ・食品用機器  自動炊飯ライン/焼き型など ・産業用分野  射出成形用金型/樹脂成型金型/真空成型金型/ロール類 ・化学プラント   タンク類/配管/攪拌機/遠心分離機など ・一...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社吉田SKT

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    液体窒素封入装置(液体窒素搬送装置)

    世界のメーカーとユーザーを結ぶジャパンマシナリー社が取り扱う 『液体…

    用途に応じた応じた滴下量を3重管のチャンバー内で充分気泡を 取り除き1〜2,000B.P.Mの速度で容器内に分注する画期的装置です。 又、液 体窒素搬送用フレキシブル・ホースは、場所を選ばずあらゆる所に配管できます。■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...日本産業界の発展とともに半世紀に渡り、優れた産業用機械・装置・ システム・パーツ等を海外からの輸入を通じて、 世界のメー...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンマシナリー株式会社

  • 高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』  製品画像

    高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』 

    In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応!独FHR社製高速…

    産に 使用が可能でIn-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する 設計となっていますのでより精度の高いプロセスコントロールができます。 クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、 その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の 他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■10mm厚迄の3次...

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    メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社

  • 対策!!酸素阻害 デジタルピラニ真空計付き真空搬送ボックス 製品画像

    対策!!酸素阻害 デジタルピラニ真空計付き真空搬送ボックス

    酸素阻害対策!! ボックス内を窒素雰囲気または真空状態にすることが可能…

    特長 ・小型軽量でアンティチャンバー(パスボックス)を通しやすい形状 ・グローブボックス間のワーク搬送に最適 ・リアルタイムの真空度をデジタルピラニ真空計で確認できます。 ボックスサイズなどの仕様変更が可能な製品です。 ご要望に応じてカスタムメイドいたします。 使用用途案 ・酸化が進みやすい物質の搬送 ・発火しやすい物質の搬送 ・加湿を避けたい物質の搬送 ・加熱を避けた...

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    メーカー・取り扱い企業: 常陽工学株式会社

  • マグネシウム溶解設備『Mgシリーズ』 製品画像

    マグネシウム溶解設備『Mgシリーズ』

    大幅な省エネルギー!時代を先取りしたベストプランのMg設備をご提供いた…

    『Mgシリーズ』は、優れた生産性を有するマグネシウム溶解設備です。 インゴット予熱投入装置の熱源は、ガス又は電気から選択可能。 ガス置換式給湯機はチャンバー内を加圧し定量溶湯搬送を行い、 サイフォン原理を利用して、給湯精度を保ちます。 当社はお客様の様々なニーズに応えるべくベストな設備を供給してきました。 今後も、時代を先取りしたベストプランのMg設備をご提供いたします。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社TOKAI

  • 研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像

    研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

    昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

    通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社

  • 超高真空マルチチャンバー連結システム 製品画像

    超高真空マルチチャンバー連結システム

    φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

    当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を連結。 他に、MEBチャンバーとXPS表面分析装置を連結したシステムや MBE室と酸化処理室、STM分析室を連結したシステムがあります。 【ラインアップ】 ■...

    メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社

  • 周辺機器 計測チャンバー KC-94 製品画像

    周辺機器 計測チャンバー KC-94

    グローブボックス内にてグローブを使用して工具を使用しないで蓋ができます

    当社では、工具を使用しないで蓋ができる 『周辺機器 計測チャンバー KC-94』を設計・製造・販売しております。 【特徴】 ○有機薄膜太陽電池の効率測定に使用 ○蒸着終了後に大気に触れる事なくグローブボックスまで基板を搬送 ○擬似太陽光下にて変換効率を測定する場合に用いる ○ミニアンテチャンバーから取り出すために円筒形をしている(標準Φ94mm) ○グローブボックス内にてグローブを使用して工具を...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー

  • マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット 製品画像

    マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

    マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

    6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を  上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空搬送ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備  (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用) ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社メープル

  • グローブボックスー真空蒸着装置 真空搬送試料ホルダー 製品画像

    グローブボックスー真空蒸着装置 真空搬送試料ホルダー

    水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホル…

    グローブボックスと真空蒸着装置の間に試料を大気に晒さずに真空搬送することができます。 特 徴: ・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー ・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能 ・グローブボックス中での真空排気が可能 ・真空蒸着装置ではチャンバーの蓋が自動解放 ・オプションで、試料ホルダー回転機構を追加可能 ...【特徴】 ○300mmφウェハーやA4サ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロフェーズ

  • 有機EL用成膜装置 製品画像

    有機EL用成膜装置

    有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

    有機EL成膜用の有機蒸着セル(KOD-Cell)が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』 製品画像

    300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

    300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

    『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自...

    メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

  • 太陽電池作製装置(Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置) 製品画像

    太陽電池作製装置(Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置)

    高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…

    本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料ストックチャンバーの合計5室で構成しております。...本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • クラスター真空成膜・評価装置紹介 製品画像

    クラスター真空成膜・評価装置紹介

    測定・研究したい要素をそのまま!お客様のニーズに合致させることが可能な…

    は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、 サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置 などの分析機を備えた評価室から構成されます。 また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。 試料を真空中でロボット搬送し試料作製から評価までを自動で行います。 尚、すべてのチャンバーは高真空環境で接続させることも可能で、試料の 作製から評...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社パスカル

  • 《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置 製品画像

    《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

    RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど!各種プロセ…

    当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥の フルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」 と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。 【特長】...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング

  • アイソレートCO2インキュベータ『AC408xy』 製品画像

    アイソレートCO2インキュベータ『AC408xy』

    自動搬送機能を搭載!細胞の取違えなど、様々な問題を解決するCO2インキ…

    アイソレータに接続可能な自動搬送機能を搭載した『AC408xy』について ご紹介します。 従来、複数ドナーの細胞培養にはドナーの数だけ小型インキュベータが 必要でしたが、施設の拡張にはスペース・コスト面から大きな課題となって いました。 当製品は、接続されているアイソレータに独立した複数チャンバーを自動搬送 格納することで小スペース化を図り、庫内のクロスコンタミネーション、 ...

    メーカー・取り扱い企業: バイオメディカ・ソリューション株式会社

  • 高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』 製品画像

    高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

    ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

    『TFCシリーズ』は、ウエハー切断(ダイシング)工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

    メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

  • スリットバルブシール 製品画像

    スリットバルブシール

    スリットバルブシール

    ●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬 品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業...

    メーカー・取り扱い企業: 三菱電線工業株式会社

  • マルチチャンバスパッタリング装置 製品画像

    マルチチャンバスパッタリング装置

    20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

    標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 R&D・ディスクリート・化合物・MEMS・パッケージ・実装工程・マスク・小型FPD 多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード(ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用)に加え特殊基板機構(高温加熱・磁場印加・冷却等)で幅広い用...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 真空はんだリフロー炉 HVRシリーズ 製品画像

    真空はんだリフロー炉 HVRシリーズ

    ボイドレス・フラックスフリーに対応したインライン型真空はんだリフロー炉…

    昨今パワー半導体や先端パッケージングの進化つれて、高品質なはんだ接合が求められています。そのため、ボイド(気泡)抑制やフラックスを使わないはんだリフローが必須となっています。HVRシリーズは、チャンバー内を真空引き(減圧)することで、溶融はんだ内からボイドを逃がしボイド率を1%未満に低減させることが可能です。また、還元効果ガスとしてギ酸を用いることでフラックスフリーはんだに対応しています。 HV...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

  • ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700 製品画像

    ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700

    ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置

    「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。  詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○ウエハを手動で搬送アームにセット ○チャンバー内でウォータージェットで分離 ○1枚ずつ剥離分離 ○手動...

    メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

  • クロー真空ポンプ MINK MV 0310 B 製品画像

    クロー真空ポンプ MINK MV 0310 B

    搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューシ…

    搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力  圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。  3~7割の省エネになるケースもあります! ■ 排気がクリーン  圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染  されたり、...

    メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社

  • アルミナ セラミック 製品画像

    アルミナ セラミック

    アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価…

    アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。   アルミナ板のネット販売もしております。(http://www.asuzac-ceramics.jp/shop/shopenter.htm)   アルミナは、半導体製造装置や液晶製造装置などのチャンバー内部品や搬送アームに使用されています。   アルミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャ...

    メーカー・取り扱い企業: アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

  • 有機EL封止ライン(自動搬送タイプ) 製品画像

    有機EL封止ライン(自動搬送タイプ)

    グローブボックスに組み入れるなど、お客様のお要望に応じた装置を作製させ…

    ○真空貼合封止装置 ○ディスペンサー ○UV照射ユニット ○ホットプレート ○冷却プレート ○チャンバー内N2環境 ○基板搬送ロボット...詳細はお問合せください。...

    メーカー・取り扱い企業: 常陽工学株式会社

  • 無料プレゼント!『蒸着装置の総合カタログ』 製品画像

    無料プレゼント!『蒸着装置の総合カタログ』

    太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に!蒸着装置の総合カタログプレゼ…

    当社の『蒸着装置』は、小型からハイエンドモデルまで すべて共通のコンセプトで設計。 使いやすい角型チャンバーを採用し、グローブボックスと接続できるほか 他の真空チャンバーと連結可能です。 さらに蒸発源配置を放射状配置にすることにより、8源化を実現するなど お客様のご意見や培った設計経験をもとに使いやすさを追求。 太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に適しております。 ただいま総合カタログをプ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー

  • フローはんだ付け装置『PLS series』 製品画像

    フローはんだ付け装置『PLS series』

    銅くわれが殆どなくフローアップが抜群!内層も安心のはんだ付け装置

    『PLS series』は、フローディップはんだ付けを低酸素濃度雰囲気を 行うフローはんだ付け装置です。 ワークの姿勢制御をチャンバー及びコンベアの姿勢制御と併せて行うことで、 安定した雰囲気を形成する事が可能です。 また、予備加熱にはチャンバ式2ステージ予備加熱とコーディネイト搬送 を採用。目的とする予備加熱温度プロファイルを形成しながら、大型 多層ワークを均一に加熱すること...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社センスビー

  • Φ300mm基板対応 ロードロック式スパッタリング装置  製品画像

    Φ300mm基板対応 ロードロック式スパッタリング装置 

    大型基板の自動搬送に対応し、研究開発~量産までの応用が可能な装置です。…

    大型基板の自動搬送に対応したロードロック式スパッタリング装置です。 【主な特長】 ・Φ300mmを例とする大口径基板のベア搬送が可能  (角基板の対応も可能です。) ・独自設計のカソード機構により、汎用ターゲットサイズでの  広範囲膜厚分布を確保 ・ターゲット交換、成膜室の点検/補修が容易なチャンバー構造 ・将来的なプロセス室の増設も可能 ・独自の緻密膜形成ユニットをオプション...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 強力空気搬送機「JECTER(ジェクター)」 製品画像

    強力空気搬送機「JECTER(ジェクター)」

    一般的な高速空気運送作業にも、通常の空気運送機にはできない作業にも利用…

    「JECTER(ジェクター)」は、内部に複雑な構造や突起物を持たず、吸引から圧送までを直線処理できるように、技術開発した全く新しいタイプの空気運送機です。 独特な構造は吸引作業と圧送作業の同時処理を可能にしました。 砂利、穀物、ウッドチップ、PETチップ、乾燥した土、炉・ボイラースケール、貝殻、ガラスボトル、その他、様々な用途にご利用いただけます。 【特徴】 ○圧力損失が少なく、吸引・...

    メーカー・取り扱い企業: Jリンク株式会社

  • R%D用マルチチャンバスパッタリング装置 製品画像

    R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

    R&Dやニッチプロセスへの対応に特化 量産用装置では困難な少量生産や試…

    先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Si半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやMEMS用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・CVDなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム(搬送システム)に各プロセス室を自由に...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 液晶製造装置部品関連の製作実績 製品画像

    液晶製造装置部品関連の製作実績

    液晶製造装置向け大型アルミ部品4m×3m等を高精度に加工!アルマイト処…

    弊社の液晶製造装置関連部品は、アリ溝・シール面加工等の真空部品に不可欠な技術を用いて製作しております。 サイズも4m×3m(G10.5)等の大型なアルミ製品を加工しています。 これまで、液晶G4.5~G10.5向けチャンバー内製品、上部・下部電極等の納入実績有り。 アルマイトなど、表面処理まで一括管理いたします。 また、生産管理システムは自社開発品。フレキシブルな生産・納期管理を実...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社信和

  • 低予算・省スペースで設置可能『卓上ロールtoロール実験機』 製品画像

    低予算・省スペースで設置可能『卓上ロールtoロール実験機』

    今まで大型でしか実現できなかったロールtoロール装置を1.3m×0.8…

    当社が取り扱う『卓上ロールtoロール実験機』をご紹介します。 コンパクトな設計で研究室の実験台・ドラフトチャンバーにも設置でき、 最小限の設備構成により低価格でのご提案が可能。 これまで培ってきたロールtoロール処理技術により、処理ユニットは 多種多様な処理を提案可能となっております。 また、処理ユニットを入れ替えることで各種処理にも対応できます。 電池や5G業界の実績有。...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

  • 枚葉自動マルチスピンプロセッサー  製品画像

    枚葉自動マルチスピンプロセッサー

    リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

    カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...【特徴】 ■装置寸法   2700W×1500D×2000H (200WCBT)   3000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場

  • 高流量!液体ポンプ「バイモルポンプ BPHSシリーズ」 製品画像

    高流量!液体ポンプ「バイモルポンプ BPHSシリーズ」

    流量が従来機より最大40%UP!薬品、液体の吸引・搬送用途に!※カタロ…

    当社が取り扱う、高流量バイモルポンプ『BPHSシリーズ』をご紹介します。 吸引・吐出・圧送などの圧力を利用した装置・機器などに組み込まれており、 液体搬送や液体吸引・吐出などに好適。長寿命で様々な液体に対応します。 また、チャンバー室の形状を工夫することで、流量が従来機「BPHシリーズ」より、 最大40%増えました。 【特長】 ■従来機(BPHシリーズ)と比べ流量がUP ...

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    メーカー・取り扱い企業: 日東工器株式会社

  • スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型 製品画像

    スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

    対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!

    自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • エア駆動式ダブルダイヤフラムポンプ『01D140』 製品画像

    エア駆動式ダブルダイヤフラムポンプ『01D140』

    1:1の比率の流体搬送および小規模な循環システム用途に設計されたエアス…

    『01D140』は、複数のガンを備えた流体搬送および小規模の 循環システム用に設計された空圧式ダブルダイヤフラムポンプです。 コンパクトな設計の恩恵を受け、塗装システムへのインテグレーションが 非常に簡単になります。 その高度な構造により、高速フラッシングが保証され、ポンプは高速の 色替えシステムに完全に機能します。 【特長】 ■高パフォーマンス ■コンパクト設計 ■...

    メーカー・取り扱い企業: サメス株式会社

  • 生産設備の設計、組立【FA装置、液晶・半導体製造装置/検査装置】 製品画像

    生産設備の設計、組立【FA装置、液晶・半導体製造装置/検査装置】

    総重量50t大型装置から真空系・ウェット系装置まで組立可能!生産設備(…

    ■生産設備組立(製造装置、検査装置) ●特徴 ・総重量50t の大型装置組立ができます。 ・真空系・ウェット系装置組立ができます。 ・ミクロン単位の組み付け精度に対応します。 《生産設備組立実績》 半導体製造装置/検査装置/搬送用ロボット 液晶製造装置/検査装置/搬送用ロボット 電装/電源盤 FA装置 ●クリーンルーム(組立環境) フレキシブルな対応が出来るように...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ワイ・デー・ケー

  • 省人化による安全対策を【自動樹脂ストランド供給システム】 製品画像

    省人化による安全対策を【自動樹脂ストランド供給システム】

    押出機から出たストランドをペレタイザーまで自動搬送。またストランド切れ…

    当社が取り扱う、BPM社のメッシュコンベア付・ウォータースライドシステムを紹介します。 ダイから出た樹脂ストランドはウォータースライドを流れ落ち、コンベアに運ばれます。 ウォータースライドとコンベアの間で水が落とされます。 更なる冷却が必要な場合はメッシュコンベアにスプレーバーの追加が可能です。 メッシュコンベアでは、上からのブロアと下からのバキューム吸引でストランドに残っている水...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東京ハードフェイシング

  • CFRTPシート材成形用プレス装置 製品画像

    CFRTPシート材成形用プレス装置

    最高400℃の高温加熱、真空による樹脂の酸化劣化を最小限にできる装置の…

    『CFRTPシート成形プレス』は、最高400℃までの加熱と冷却、2.6kPa(20torr)の 真空引きが可能な装置。 熱可塑性樹脂や複合材(CFRTPなど)等のシートを予熱からプレス成形まで真空(減圧) 雰囲気下で行うことができる。 【特徴】 ■最高400℃の高温加熱可能 ■真空チャンバープレス内の真空引き ■熱可塑性樹脂や複合材のシートを予熱からプレス成形まで真空(減圧)...

    メーカー・取り扱い企業: 北川精機株式会社

  • MBE関連製品 MBE装置 製品画像

    MBE関連製品 MBE装置

    基板サイズ1”~6”、Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族対応等お客様の使用環境・使用目…

    分子線セル、RHEED、BFM、基板加熱機構等の主要部品からチャンバー、シュラウド、プロセスコントローラ、シャッターコントローラ等の制御ユニットまで、一貫して自社にて製造致します。...【特徴】 ○ARIOSの超高真空技術を駆使しており、クリーンな真空での成膜が可能です。 ○分子線セル、基板回転加熱機構等主要部品は、加熱脱ガス処理を行っています。 ○RHEED、BFM、ラジカル源等豊富なオプ...

    メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社

  • 【導入事例】慶應義塾大学医学部 心臓再生医療センター 製品画像

    【導入事例】慶應義塾大学医学部 心臓再生医療センター

    自動制御式ロボットハンド内蔵!大量培養CO2インキュベータ『AC800…

    慶應義塾大学医学部 心臓再生医療センターに、当社で取り扱う自動制御式 ロボットハンド内蔵の大量培養CO2インキュベータ『AC800』を導入いたしました。 細胞培養容器を無菌操作ユニット側から取り込み、培養ステージへ自動ロボット ハンドが搬送。細胞培養容器など、庫内で使用済みとなった物は、廃棄物搬出 専用ボックスから排出し、インキュベーター内で必要な作業全般を可能にしました。 オプ...

    メーカー・取り扱い企業: バイオメディカ・ソリューション株式会社

  • リフトオフ装置 ※テスト可能機種あり 製品画像

    リフトオフ装置 ※テスト可能機種あり

    枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

    ダルトンのリフトオフ装置は6種のラインナップと6種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型(量産向け)…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型(研究開発・量産向け)…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型(研究開発向け)…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型(研究...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • 自動ストランド供給システム 製品画像

    自動ストランド供給システム

    押出機から出たストランドを自動でウォータースライダー・コンベアを経由し…

    ベルトコンベア付・ウォータースライドシステム ダイから出たストランドはウォータースライドを流れ落ち、コンベアに運ばれます。 ウォータースライドとコンベアの間で水が落とされます。 更なる冷却が必要な場合はベルトコンベアでスプレーバーが追加されます。 ストランドに残っている水を取り、制御するためベルトの下からバキュームで吸引します。 ストランドが切れても自動的にペレタイザーに投入されます。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東京ハードフェイシング

  • クラスターツール『3ICP+2cassetteモジュール』 製品画像

    クラスターツール『3ICP+2cassetteモジュール』

    SI 500-1M、SI 500 PPD-1Mなど搭載可能!搬送チャン…

    搬送チャンバー】 ■3ポート ■4ポート ■6ポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ

  • 標準/カスタム真空プラズマトリーター『VacuLINE』 製品画像

    標準/カスタム真空プラズマトリーター『VacuLINE』

    処理時間が短く、下流での塗装、接着、印刷およびペイント用途に好適!イン…

    『VacuLINE』は、多様な射出成形部品の大量処理を目的として 設計された真空プラズマトリーターです。 処理チャンバー内を0.1~4.0 mbarの真空状態にした後、 統合型プラズマ電極によって電気放電が行われ、 処理サイクル時間は一般的に短く、材料と組成に応じて20~180秒。 アルゴンや酸素などの処理用ガスを適用することも可能ですが、 ほとんどの場合、プラズマ放電による高...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社第一メカテック

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