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【デモ可能】化合物半導体材料の組成比の評価も可能!非接触・非破壊でエピ…
『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、 屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。 化合物半導体材料の組成比の評価も可能。 主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、 “消衰係数”、“化合物半導体の組成...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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【初回測定無料キャンペーン】分光エリプソメーター Auto SE
Auto SEによる膜厚・光学定数測定 初回3サンプルまで無料で実施!…
新規開発の光学モデルによりDLCの膜質評価を非破壊・非接触で行います。 各種製法により成膜された水素を含有するDLCから、水素フリーDLCまで瞬時に非破壊測定を行い、膜厚・光学定数(屈折率・消衰係数)の算出ができます。 簡単な操作で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 XYZ電動ステージによる面分析や、100μm以下の微小エリアの測定ができます。 ...
メーカー・取り扱い企業: ナノテック株式会社
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技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…
術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数(屈折率・消衰係数)や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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赤外透過膜 光学用ICF『ICFウルトラバイオレット』DLC
紫外線を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることが可能に!
各種ドーピング技術により、紫外線を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることが可能になりました。赤外域では従来品の1/2程度まで消衰係数の低下を実現しました。各種光学用フィルターなどへの耐摩耗性を兼ね揃えた用途に応用できます。また、バンドギャップも0.8~2.2eVまで制御可能であるため、光センサーなどへの応用も可能です。詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: ナノテック株式会社
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解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に…
回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシ...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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薄膜の膜厚、光学定数などの物質特性を精度良く測定!自動薄膜計測装置
シュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の 単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、 光学定数(屈折率、消衰係数)などの物質特性を精度良く測定します。 DLCの国際標準化を推進しているNDF DLC規格化委員会において、 分類における標準試験機として使用しています。 【特長】 ■薄膜の膜厚、...
メーカー・取り扱い企業: ナノテック株式会社
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回転補償子型 分光エリプソメータ『SE-2000』※セミナー開催
多層膜の膜厚・屈折率を非接触で高精度測定。本体の操作や解析作業が容易 …
分光エリプソメトリーについて】 分光エリプソメトリーでは、全波長領域における測定データ(Δ,ψ)に対して 適当な光学モデルを適用し解析を行います。 解析の結果として、各層の膜厚、屈折率、消衰係数が得られます。 膜厚はサブ・ナノメートルから測定が可能で、再現性にも優れています。 多層薄膜や材料の光学特性の検査に幅広く使用されています。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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