異物除去装置　樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』

PRプラスチック樹脂原料を空気輸送中に発生する樹脂粉・フロス・異物を1台で…

樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』は、 樹脂原料で発生する粉塵・フロス等の異物を綺麗に除去する製品です。 振動式の原料供給部と、フィンを設けたフィーダー部で異物を高効率除去。 不良品を削減でき、トータルコストの削減につながります。 【特長】 ■インバーター制御により、吸引ブロワを数値で制御。目視確認が不要 ■静電除去装置を使うことで、さらに除去効率がアップ ■紙くず、糸くず、毛...

メーカー・取り扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社

【テカン】4月17日～19日 Medtec出展：OEM製品紹介

PROEM用の精密ポンプやロボットアームの実機展示！システムの受託開発・製…

テカンは、液体ハンドリング分野において世界的に卓越した技術を持ち、 医療機器法規制対応した数多くの体外診断薬自動分析装置の開発と製造実績があります。 ■高品質な自社発の前処理、自動分析装置を新たに上市したい方 ■ご使用中のシステムの前処理装置や次世代装置の開発製造やその効率化にご興味をお持ちの方 ぜひブースにてお気軽にお声をかけてください。 ご来場を心よりお待ち申し上げます。 ...

メーカー・取り扱い企業： テカンジャパン株式会社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…

PVA Metrology & Plasma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。 マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドラ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

トアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

けでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパクトな枚葉式ロードロック室とツインハンドロボットの採用でりコンパクトな設置寸法を実現。 通常のウェハだけでなく。１ｍｍ以上の厚みのウェハや矩形基板など特殊基板にも対応実績。多用途対応の枚葉式エッチング・アッシング装置

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらにも対応が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

a)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れた効果を発揮。 ハイエンドＭＥＭＳデバイスに必須のレジストアッシング装置

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

『アッシング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動連続処理することが できる量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルにより、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

UV装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

UV装置は、紫外線(UV)を用い、基板表面の有機物を除去する為の装置です。 【特長】 ■自社製低圧水銀ランプにより発生する185nm、254nm波長の紫外線効果により 　基板表面の有機性汚れを除去...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜200m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

応用例付きプラズマ技術資料　無償ダウンロード！

基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応…

当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。 プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった 分野を問わず活用できるプラズマ装置。 剥離、有機物除去、表面改質・洗浄など幅広い分野に活用できる技術を 用途例と合わせて解説しています。 【応用例の概要】 ■フッ素系樹脂への親水化処理 ■プリント基板のデスミア処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ポータブル大気圧プラズマ表面改質装置 　

「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつ…

使いやすい！ 持ちやすい！ 大学や研究所と研究者のために...【特徴】 　□アーク無しで素早く均一な表面処理が可能。 　□本体重量が10ｋｇしかない為、どこでも持ち運びが可能。 　□オゾンフリーで環境にやさしく、ランニングコスト削減効果あり。 　□幅広い用途に使用可能。「光学材料、プラスチック、金属、セラミック等」 【対象材料】 　光学材料、プラスチック、金属、セラミック等 ...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

イス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズ、医療処置具、チューブ、粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着(親水)性の改善により 生産性や品質を大幅に向上させることを目的とした装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

アルミ精密プレート加工／単品／大阪

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会…

♦材質 A5056　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 旋盤加工 ♦表面処理 　－　(日本国内) ♦個数 1個 ♦説明 半導体製造装置のアルミ精密部品となります。 マシニン...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜTSPなのか

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

「UPS」と「TSP」は競合する製品ではなく基本的には“何を保護するのか” “必要な保護時間”により使い分けされます。 大容量の保護の場合は圧倒的にTSPの方が費用対効果が大きいため、 近年電気二重層キャパシター方式のTPSが選定されています。 【選定例】 ■保護時間（分単位で必要） 　瞬時電圧低下発生時の保護時間がフェイルセーフの関係で15～30分必要 　→UPSを選定 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマを使用した簡易型枚葉式プラズマクリーナーです。 600mm（W）×600mm（D）×750mm（H）（ポンプ除く）の小型プロセス装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...■□■特長■□■ ■業界最小サイズ　「研究機関向け...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

下、または電圧低下30％継続時間0.5秒以下の 瞬時電圧低下に対して耐性を持つよう要求されています。 【瞬時電圧低下による損害例】 ■製品不良 → バッチ処理工程設備（ロットアウト） ■装置故障 → 高額部品の故障等が発生 ※詳しくはお気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下とは？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

瞬時電圧低下とは、送電線への落雷または送電事故により瞬時に （0.07～2秒間）電圧が低下する状態を言います。 落雷によるものは自然現象であり、無くなることはありません。 『TSP』は、瞬時電圧低下発生時は0.002秒の高速スイッチングにより 電源電圧をバックアップします。 瞬時電圧低下発生時はSAG-VIEWER(サグ・ビュワー）機能により 発生日時、電圧低下レベル、電圧低下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】UPSとTSPで何が違うの？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

「UPS」とは商用電力をバッテリーに充電し、そのエネルギーをインバーターで 交流に変換して負荷側に供給する設備で、瞬時電圧低下発生時は商用電源が 消失してもバッテリーに充電されたエネルギーで通常15～30分程交流出力を 負荷側へ供給します。 【UPSとTSPの違い】 ■電力をバッテリーに充電するか 　電気二重層キャパシター（EDLC）に充電するかの違い ■常時インバーター出力か常...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下の年間発生数

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

北陸地方のある工場での1年間の瞬時電圧低下発生状態は全て 電圧低下率20％以上で合計20回発生しており、瞬時電圧低下継続時間は 41.6m秒～115.23m秒です。 1需要家あたりに発生する瞬低は電圧低下度20％以上の瞬低で 年平均5回と報告されています。 落雷の多発地域では年間10～20回以上発生することもあります。 瞬時電圧低下の継続時間はほとんどが0.1秒前後で最大で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】TSPとは

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

通常は商用電力をSCRを介し負荷側へ供給する時に電気二重層キャパシター （EDLC）に充電しましが、瞬時電圧低下発生時は検出回路により2msec以内に 切替を行い、電気二重層キャパシター（EDLC）に充電されたエネルギーを インバーターで交流に変換した交流出力を負荷側へ供給します。 ※詳しくはお気軽にお問い合せください。...【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

小型・低コスト・業界最小サイズ、卓上型プラズマ処理装置です。ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部