異物除去装置　樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』

PRプラスチック樹脂原料を空気輸送中に発生する樹脂粉・フロス・異物を1台で…

樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』は、 樹脂原料で発生する粉塵・フロス等の異物を綺麗に除去する製品です。 振動式の原料供給部と、フィンを設けたフィーダー部で異物を高効率除去。 不良品を削減でき、トータルコストの削減につながります。 【特長】 ■インバーター制御により、吸引ブロワを数値で制御。目視確認が不要 ■静電除去装置を使うことで、さらに除去効率がアップ ■紙くず、糸くず、毛...

メーカー・取り扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社

スリッター装置『インラインスリッターユニット』

PR上刃ホルダー採用インラインスリッターユニット

本機はフィルム・シート・ラミネーター等の連続加工ライン内に設置して、ワーク両端のトリミング処理に好適なスリッター装置です。 コンパクトなユニットなので流れ方向500mm程度の空間があれば設置が可能で工期も3日間程度です。 電機制御式上刃ホルダーの採用により、ラップ量、側圧量等は数値管理出来るので「ベテラン職人の勘」は必要なく、誰が操作しても再現性が高いです。 更に遠隔操作が可能なのでライン稼...

メーカー・取り扱い企業： フジサンキ工業株式会社

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応 ＵＳＭ駆動ユニットです。 【特長】 　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応 　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成 　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…

モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　 安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

アーク溶射装置『ARC-150/S500』

高い生産性と簡易性・信頼性を誇るアーク溶射装置！

『ARC-150/S500』は、柔軟性のある操作で非常にバランスがとれた制御 が可能な吐出を提供するアーク溶射装置です。 防食用途に設計されており、亜鉛・アルミニウム・亜鉛アルミニウム合金を 溶射します。 また、高温合金のような、より大規模な用途でよく使用される他の材料も 溶射することが可能です。 【特長】 ■500Aの容量＝高い生産性 ■クローズループ電流＝簡易性・信...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...被搬送物（※1） 200mmウェーハ用オープンカセット（25段） 動作範囲 アーム (R軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整形のマグネット弁使用でスプリングを使用せず、接液部はオールふっ素樹脂PTFE製で耐腐食性抜群...耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

シャッター

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。...ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 超高真空領域まで使用可能 バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 両端コンフラットフ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

エコー全自動スキージ研磨機

シルクスクリーン印刷に使われるゴム製スキージの研磨機

1)家庭用電源で使用可能。 2)操作画面はタッチパネルで設計もシンプル。高機能を 　簡単な操作で実現します。 3)循環式水槽を内臓しており、仕上げ水の給排水も不要。 4)研磨部分はフルフェイスのカバーがついた安全設計。 5)駆動レールは防水防蝕タイプを採用。スムースな動作を 　お約束します。 ...シルクスクリーン印刷に使われるゴム製スキージの研磨機 です。印刷機のスキージホルダー...

メーカー・取り扱い企業： 江口孔版株式会社

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の…

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。...スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できま...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル