3500V高圧ソースメータ

PR±3500V高圧ソースメータ

・±3500V/±120ｍA/180W ・最高分解能1fA/100uV ・1M　ACD ・最大10GΩ測定...・±3500V/±120ｍA/180W ・最高分解能1fA/100uV ・1M　ACD ・最大10GΩ測定...

メーカー・取り扱い企業： Semi Next株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

ハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

アリング社にご指導を頂きながら開発致しました。 【特徴】 常温・大気圧下で効率的に高品質な薄膜のコーティングが可能 【仕様】 機能：電着によるスプレーコーティング、 ワーク仕様：100×100(有効塗布面積：90×90) サイズ：本体/800+突起物30(扉開時1350)(W) 　　　　　　×600+突起物60(扉開時1050)(D)×600(H) 使用可能塗液：非導電性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ナノスピードディップコーター　ND-0407-S5

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！

【主仕様】 1.ストローク: Z軸:100mm、X軸:100mm 2.最小速度: 1nm/sec 3.最大速度: 60mm/sec 4.操作方法: タッチパネル 5.画面文字: 日本語/英語 6.処理速度変更ポイント数: 16ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

超精密液体噴霧システム

最大100,000CPSの液体に対応！シリンジ、カテーテル等、様々な製…

『超精密液体噴霧システム』は、エアーを使用し、細かく均一に 液体の噴霧が可能です。 高精度＆高耐久性で、最大100,000CPSの液体に対応。高粘度液体には オプションで、ノズルへのヒーター取付けが可能です。 また、SUS316製標準ビームスプレー(円錐形パターン)ノズル又は ロングノズルをご用意し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

～50ｍA／0～3ｋV（システム制御） ○チャンバーサイズ：160（φ）×160（D）ｍｍ（SUS製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ（システム制御） ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　100l/min（自動リーク付） ○装置電源：単相 AC100V　50/60Hz 10A ○寸法・重量 ・本体:360（W）/422（D）/265（H）mm、20kg ・RP:460.5（W)...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

室温・大気圧でガラスコート「薄膜形成技術」【※技術資料進呈！】

室温かつ大気圧で薄膜形成！安価な膜原料を使用！即納キャンペーン開催中

室温かつ大気圧環境でガラス薄膜を形成します。リフロー性が高いため凹凸面への薄膜形成に向いています。膜原料のロスが極僅かな上、安価な膜原料で形成可能なのでコスト削減もできます！ガラス代替ポリカへの保護膜形成、携帯電話の画面保護フィルム、親水コーティングなどに最適です。 ※今なら【即納キャンペーン開催中】です！驚きの短納期で薄膜形成装置などの当社装置をご提供いたします。詳しくはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！

.モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 有 16.標準クリップ: PP材 17.ユーティリティー: AC100V、300VA 18.可搬重量: 500g 19.最大処理サイズ: H:100mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:442×D:250×H:451...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

卓上サイズ スロットダイコーター

卓上サイズのスロットダイコーターです

・100mm幅のダイヘッドからスラリーを出しながら基材にコーティングできる ・グローブボックス内に設置可能...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

スピンコーター組込みドラフトチャンバー

ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです

と作業性が向上します。 仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 照明：黄色LED コンセント：2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き（標準）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

コーティング受託テスト（精密塗工）

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。 …

500mm ウエハ：Φ2インチ～Φ300mm 機能性フイルム：MAX400×500mm 光学レンズ・精密小型部品など 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

小型塗工機

小型サイズの塗工機です。

小型サイズの塗工機です。 平らな真空チャック内蔵のため、シートを固定し、薄膜の塗工時には非常に便利、一定の膜厚で塗工します。 100ｍｍ幅のマイクロメーター付フィルムアプリケーターが付属します。...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ) ワーク（基板）の重量：300ｇ以下 カップ内径：Φ300mm 外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A　50 / 60Hz 回転制御速度：0～6000rpm 回転精度：±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力：-70 ～ -80kPa 真空ポンプ排気量：12L/min以上 プロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

【特徴】 ○小型コンパクト ○オプションにて10,000rpmに可能 ○膜厚が安定 【仕様】 ○ワークサイズ：φ30～100mm×t1mm（φ2"～φ4"） ○試料台：オプション ○カップ径・材料：φ200mm ○本体材質・寸法：SS＋焼き付け塗装　W250×D300×H250mm ○スピンモーター：スピードコ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

レンタルディップコーター

ディップコーター(ディップコーティング装置)、まずはレンタルでご評価を…

【レンタル機種】 1.ナノディップコーター(型式:ND-0407-S4) 速度域:1ナノmから2mm/sec Maxストローク:50mm(Z軸)、100mmX軸 1.ナノディップコーター(型式:ND-0407-S4) 速度域:1ナノmから2mm/sec Maxストローク:50mm(Z軸)、100mm(X軸) 2軸装備 2.マイクロディ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

スリットコーター（200mm□用）

実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数c…

【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

トパフォーマンス ======================================== ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…試...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

スリットコーター（G6サイズ）

塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000c…

【装置特徴】 対象基板：G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』

超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源で…

『ミニラボ（Mini-Labo）』は、国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。 低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式」を標準採用。 オプションで中～高粘度向けのスロットダイ方式の増設も可能と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機

軽量卓上ダイコーター

省液塗工を実現！１回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタ…

１．機械サイズがコンパクトで軽量 ２．塗工液の粘度幅が広い　 　　　　1cps～100,000cps ３．膜厚範囲　1μ～1.5mmt ４．ロールtoロールタイプ、自動機など 　　　　カスタマイズ仕様に対応 ５．ストライプ塗工（最小塗工幅2mmまで） ６．ダイリップの自動...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

『バーコート用自動倣い機構付きアプリケーター』

被塗布材の起伏に追従する機能を装備！バー位置調整に掛かる時間を抑制しま…

【主な仕様】 ■コート対象 ・鉄(高張力鋼板含む)、SUS、AL、その他金属 ・板厚：～4mm(オプションで変更可能) ・設置可能板材：100*100～230*350mm ■コート材料 ・各種塗料、溶剤 ■設定項目（装置内タッチパネルから） ・コート速度（0.1～200mm/秒） （オプションで変更可能です） ・バー圧加荷重...

メーカー・取り扱い企業： ユーケーテック株式会社 神奈川県川崎市高津区新作２−１８−３２

小サイズ用卓上ディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

"幅広い速度と可動域、革新的なディップコーター" +++++++++…

モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 無 16.標準クリップ: SUS材 17.ユーティリティー: AC100V、250VA 18.可搬重量: 1kg 19.最大処理サイズ: H:300mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:430×D:480×H:815m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

レンタル用小型スリットコーター

実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタ…

ク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

15min（最長30min） ○ガス導入機構：ニードルバルブ　導入口径外径φ6mm　ワンタッチ継手 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　7A ○寸法・重量 →本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg →RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg ○オプ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

バーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　10A ○寸法・重量 →本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg →RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

スピンコーター『APOGEE』

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコ…

■フルカラーの7型タッチスクリーンディスプレイを搭載 ■N2雰囲気での処理も可能(オプション) 【仕様】 外形寸法：W337×D483×H305 mm 装置重量：18kg 電源：100V AC　50/60Hz 所要電力：655W ※詳しくは資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

TH-C型コーター

オプションも豊富で、適した塗工装置をご提供！精密タイプの3本ロール式コ…

ご提供致します。 【仕様（一部）】 ■塗工方式：ダイレクトコート・転写式コート（間欠塗布） ■塗工ヘッド：交換対応構造 ■ロール幅：350mm～600mm（50mm単位） ■乾燥炉：1000mmX1炉～4炉（熱風方式） ■電源電圧：AC200V/100A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

ナノスピードディップコーター(カタログ配信中)

産業界に革新をもたらす超低速ディップコーター。これまでにない次元へと進…

.モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 有 16.標準クリップ: PP材 17.ユーティリティー: AC100V、300VA 18.可搬重量: 500g 19.最大処理サイズ: H:150mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:408×D:259×H:509...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！ 　現…

.モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 有 16.標準クリップ: PP材 17.ユーティリティー: AC100V、300VA 18.可搬重量: 500g 19.最大処理サイズ: H:150mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:442×D:250×H:451...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

マイクロスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

"微細な未来を形に。1μm/secの究極の精密ディップコーターで革新を…

.モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 有 16.標準クリップ: PP材 17.ユーティリティー: AC100V、250VA 18.可搬重量: 1kg 19.最大処理サイズ: H:300mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:430×D:480×H:860m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

り、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率（対比：スピンコートでは数%） ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

中サイズ用卓上ディップコーター　DT-0502-S3

中サイズ(550mm以下)ワークに最適な中型ディップコーター

ム 12.モニタ機能:現在速度 有 13.モニタ機能:現在位置 有 14.モニタ機能:動作残時間 有 15.繰返運転機能 無 16.標準クリップ SUS材 17.ユーティリティー AC100V、250VA 18.可搬重量 1kg 19.最大処理サイズ H:550mm 20.リニア運転モード 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量) W:600　D:400　H:1410(60k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

ぬれ性チェックペン・ダインペン用 詰め替えインク

ペン型タイプのダインテストペンの替えインクです。 使用頻度の高い方に…

表面処理前、処理後のぬれ性（表面張力のレベル）ダインレベルをチェックします。 空ペンに詰め替えていただき、繰り返しご利用いただけます。 入替用の空ペン(別売り)もございます。 容量 ：100ml ｘ ６本セット ジャンボペン用替えインク　 ダインレベル：・32-58dyne/cm（偶数のみ）59,63,67,71dyne/cm インク色：ブルー（32-58 ) ・レッド（5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マシンテックス

マイクロスピードディップコーター　MD-0408-S8

速度可変域の広さで、当社装置人気度NO1ディップコーター

.モニタ機能:現在速度: 有 13.モニタ機能:現在位置: 有 14.モニタ機能:動作残時間: 有 15.繰返運転機能: 有 16.標準クリップ: PP材 17.ユーティリティー: AC100V、250VA 18.可搬重量: 1kg 19.最大処理サイズ: H:300mm 20.リニア運転モード: 無 21.装置サイズ:突起含まず(重量): W:430×D:480×H:860m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

3Dスプレーコーター　API-240-3DS

任意の３D形状に塗布できる3Dスプレーコーター。レーザースキャナーで基…

塗布サイズ：600mm x 400mm 塗布精度　：液供給の再現性　1%以下　、　膜厚均一性　±5-10%程度 ヘッドスピード：最大1m/sec 塗布膜厚：10nm - 100um程度 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

【仕様】 ■テーブルサイズ：300mm×300mm ■可動範囲：左右400mm×前後450mm×上下120ｍｍ ■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

内分布は±5％以内（エッジビート部は除く。膜厚、薬液特性による） ○スプレー部至近にシリンジを配置している為、薬液管路での無駄は最小限 　（DC110のみ） ○ヒーター内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能 ○スプレーノズルがXY軸移動型の為、装置の小型化が実現 ○ブース内はダウンフローシステム ○タッチパネル式カラー液晶表示器により、換作は分かり易く簡単 ○ノズル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

【仕様】 ○到達圧力：10-5Paオーダー ○機材収容サイズ：500mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250 ○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

塗工装置『CEDコーター』

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

【機械仕様】 ○塗工速度範囲：～400m/min ○塗工液粘度範囲：100～30,000mPas ○塗工厚み範囲：10～500μm wet 【製品紹介】 ○クリーンブース内CEDコーター →クリーンパーテーション内に塗工ヘッドを設置し、 　塗工部でのクリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

○試料ホルダー：φ70mm ○真空排気：ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵 ○寸法：本体 250W × 370D × 325H ○重量：本体 約15kg ○電源：AC 100V 3A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーティーエー

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm） ○回転数表示：デジタル表示 ○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装　W1100×D1000×H1440mm ○レシピ設定：タッチ画面による簡易レシピ設定 ○重量：300kg ○電源：AC100V　1.5KVa 50/60Hz±10％以内 ○付帯設備 →ドライエアー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

マイクロバーコーター

高精度塗工が容易に可能！構造がシンプルで扱い易いマイクロバーコーター

【マイクロバーコーター 仕様】 ■塗工速度範囲：～250(m/min) ■塗工液粘度範囲：100～50,000(mPas) ■塗工厚み範囲：0～1,000(μm wet) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

成膜装置『ロールコーター』

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現！成膜…

【ラインアップ】 ■量産機　W：500-1,000mm ■R&D装置　W：100-350mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社C&Vテクニクス

塗布幅可変スリットコーター

塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター

塗布膜厚範囲 　50～800μｍ 塗布膜厚精度 　±1.5% 　　450μm厚塗布実績 塗布幅 　　　MAX 400mm　可変幅は100mm 対応材料粘度 　1,000～15,000cps　　希釈材料は除く 送液方式 　　　メカニカルポンプ 樹脂供給方式 　加圧タンク（２L×1個）　残量検知付...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター

レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファ…

パルスモータ軸数：3軸 ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等） ウェハ供給：airPLAD hs5.0より セ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン