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プラズマ電源、大型プラズマ電源
プラズマやレーザー励起等の特殊な電源装置 連続波 数KHz 600KW CW 2〜5MHz 100〜300kW CW 13.56MHz 450kW CW パルス〜連続波対応 13.56MHz 50kW 他励 40MHz 40kW 自励 100MHz 20kW 自励 基本波2山程度〜CW迄...
メーカー・取り扱い企業: 富士電波工機株式会社 第1機器部
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有機・無機問わず高いエッチング効果!
Siやカーボン膜のエッチング! その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg ガス系 マスフロコントローラ1系統(2系統はオプション) 浮子式流...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…
G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。 ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素+アルゴン等)を選択することにより、有機質のみならず無機質汚染も確実に除去します。 HIC基板やリードフレームのボンディング面洗浄によるボンディング強度の向上や、表面改質(親水化)による濡れ性改善に最適なシステムです。...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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レーザー電源、大型レーザー電源
プラズマやレーザー励起等の特殊な電源装置 連続波 数KHz 600KW CW 2〜5MHz 100〜300kW CW 13.56MHz 450kW CW パルス〜連続波対応 13.56MHz 50kW 他励 40MHz 40kW 自励 100MHz 20kW 自励 基本波2山程度〜CW迄...
メーカー・取り扱い企業: 富士電波工機株式会社 第1機器部
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