プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。 【特徴】 ○容易なプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。 ○当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

使い勝手が良い卓上型の真空プラズマ装置「プラズマエッチャー」シリーズに新ラインナップ、セミオートタイプが登場！従来より更に小型化、省スペースでの設置が可能。 オート、マニュアルの両機能を備え更に使いやすくなりました。 タッチパネルでマニュアル操作や事前にレシピを設定し1ボタンの簡単操作も可能。 ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体