コレでダメなら諦める？高性能IoT向け外付けアンテナ

PRつながりにくい場所でも大活躍！使用いただいたお客様からもこれならつなが…

『DP-BRO-MI2』は、内蔵やルーター直付けのようなアンテナでは送受信が できない場合にご利用頂くケーブル付の外部アンテナです。 IoT全般の通信モジュールが搭載された無線機にケーブルを引き回し接続され、 電波環境の良い場所へ屋外、屋内問わずに設置が可能。 MIMO、異なる2つのシステムでの運用にも適しています。 【特長】 ■791～2690MHz対応 ■耐風速60m...

メーカー・取り扱い企業： 日本アンテナ株式会社

HallinSight 3D ホール効果 磁場カメラ

PRHallinSightのベクトル式磁場イメージング技術によって、「3D…

HallinSightは、Flaunhofer IIS（フラウンホーファー集積回路研究所）によって開発され、以下の特長があります。 ・見えなかったものを見えるようにする 3軸磁場カメラです。 ・動的な磁場をリアルタイムでマッピングできます。 ・X,Y,Z 3軸を同時測定するホールセンサ・アレイを用います。 　⇒ 32×32点、16×16点、32×2点の3種類があります。 　⇒ 各々2...

メーカー・取り扱い企業： 大栄無線電機株式会社

【アルマイト銘板の事例】レジスト加工銘板(2)

工業用として広く使用！レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介

レジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。 量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■レジスト加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社重森産業社

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

プロセスが得られます。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH、コリン水溶液、Na2CO3等多彩な薬液に実績があります。 また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

デジタル指示計「デジタルストレンゲージメータA5000-17」

ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。

ストレンゲージとは、物体のひずみ測定を利用して荷重測定を行う方法です。 この指示計はロードセルに接続して計測結果を表示させます。 【特長】 ■ディスプレイ2タイプ（マルチ、シングル） ■出力ボード7タイプ ■マザーボード（電源部）は2タイプ ※詳しくはお問合せ、もしくはカタログとダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

薬液供給・回収装置

薬液供給装置・薬液回収装置

●薬液供給装置 N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。 ●薬液回収装置 ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

してだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能 ■多彩な薬液に実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

粉体提供可能なネガ型レジスト　H-SiOx

電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途…

AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。 粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。 【粉体】 長期間の保管が可能：1年間保存可能なので長...

メーカー・取り扱い企業： オプトシリウス株式会社

スピンコーター組込みドラフトチャンバー

ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです

取合いをドラフト背面側へコンパクトにまとめることで、作業場の安全性と作業性が向上します。 仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 照明：黄色LED コンセント：2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き（標準）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行いま...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ======================================== ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■ワークは作業者による手載せ ■薬液昇温機能有り ■防爆ガラス等安全仕様有り ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

あまり携わっていない方でも 問題なく導入可能になるよう、分かりやすく解説しております。 【掲載内容】 ■霧化について ■各種スプレーの薄膜形成方法 （遠心力霧化等1流体スプレーの場合／2流体スプレーの応用／ 　2流体スプレー応用の集大成…新型FS式マイクロスプレーシステム／ 　断続スプレー／静電印加＋マイクロスプレー／薄膜スプレーシステム装置本体）/セレクトスプレーについて　 ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

ットの組み合わせで取れずらいレジストも剥離可能です。 ブラシ洗浄からの置き換え、圧力をかけて剥離をするようなプロセスを高圧ジェットなら簡単に置き換えることができます。 【特長】 ■最大20MPaの高圧ジェットリフトオフ ■リフトオフ時のバリの除去 ■再付着なし ■温調と高圧JETの組み合わせ ■温調した薬液のリサイクルシステム （オプション） まずは無料デモでお気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

レジスト対応型直管『P-TUY-40152050-IN-G』

虫が好む紫外線領域も大幅にカットするため、防虫効果も絶大なLEDライト…

『P-TUY-40152050-IN-G』は、通常の15W2,000lmのLED管に収縮性のあるイエローフィルムを装着させた、低コストで高性能なレジスト対応型製品です。　 半導体工場やクリーンルームに適しています。 ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペンタクト

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…

【主な仕様】 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP～ ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：1組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

電子ビームレジストの世界市場調査レポート2024

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル電子ビームレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月1日に発行しました。本レポートでは、電子ビームレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、電子ビームレジスト市場の開発方針と計画、製造プロ...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事例もあります！ メタルや酸化膜剥離の他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【新製品】リチルピュア　ＰＦＡ樹脂リチルライニング

リチルピュアで解決！高純度性に優れたＰＦＡ樹脂リチルライニング

【施工仕様】 対象母材：ステンレス鋼、鉄鋼等に施工可能 使用樹脂：フッ素樹脂PFA 膜厚仕様：0.6mm 以上～2mm 程度 外観色　：ホワイト ※母材形状等詳細に関してはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

銀イオン循環冷却水質系浄化剤

水処理全ての問題に優れた効果を発揮！ 21世紀の新しい水処理剤として…

存、高置水槽、中水の浄化に有効 使用例 循環冷却水・クーリングタワー・高齢者介護施設・温泉・健康ランド・スーパー銭湯・噴水・人工滝・水盤水など 使用方法 1.設備の保有水量を確認する 2.それぞれの目的に応じた投入量を決める(1㎥あたり1kg) 3.BS21のケースを水溶解中に浸漬させる 4.BS21投入後はメンテナンスフリーS21 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ク・チャベル 埼玉営業所

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

【目次構成】 第1章　レジスト材料　 第2章　レジストプロセス　 第3章　ナノスケール計測技術　 第4章　レジスト付着性　 第5章　レジスト欠陥　 付録　Q＆A　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーエムシー・リサーチ

多目的全自動スクリーン印刷機

多目的全自動スクリーン印刷機

、様々な印刷対象に対応した多目的機です。 ■F-プリントマスター 　薄い印刷対象に、より特化させたタイプです。 　 最大印刷面積(単位はmm) ■550×750 ■650×900 以上2タイプを標準として用意しています。 オプション ・スキージ徐電装備 ・自動ワーク供給/排出装置 ・ワーク表面のクリーニング装置 ・CCDカメラによる自動位置決め装置 本製品には、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミノグループ 本社/機械事業部

フォトレジスト剥離液の世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルフォトレジスト剥離液のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を1月10日に発行しました。本レポートでは、フォトレジスト剥離液市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、フォトレジスト剥離液市場の開発方針と計画、製...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

内層板用両面同時露光装置　光 ＨＤＥ１１０Ｓ

今までの露光装置とは生産性が違います！

　通常12秒〜のタクトタイムを、何と！ 9秒にまで縮小しました。 　1分に換算すると、今までのものよりも1〜2枚生産量ＵＰが実現できます。...

メーカー・取り扱い企業： 豊和工業株式会社 機械事業部ＣＥ営業グループ電子機械チーム

有機フォトレジストの世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル有機フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月26日に発行しました。本レポートでは、有機フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、有機フォトレジスト市場の開発方針と計画、製造...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

G線フォトレジストの世界市場シェア2023YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルG線フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月16日に発行しました。本レポートでは、G線フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、G線フォトレジスト市場の開発方針と計画、製造...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

厚膜レジストの世界市場動向分析2023-2029

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル厚膜レジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月4日に発行しました。本レポートでは、厚膜レジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、厚膜レジスト市場の開発方針と計画、製造プロセスとコス...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

リフトオフ（イメージリバーサル）対応フォトレジスト現像装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：4組（Max200℃） ■クーリングユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。 ●薄型ウェハにも対応！ 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【特長】 ■DIP並みの膨潤！ ■MAX20MPaの超高圧ジェット ■【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

製作実績／半導体製造装置 関連部品

最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…

（1）精密整列パレット（SUS430） ステンレス材を指定された為、バリが出やすかったのですが、 加工方法と刃物の選定で最小限に留め、仕上げ処置で規定通りにバリをゼロに仕上げました。 （2）ウェハー保管用ケース（４弗化テフロン／PTFE） 歪みも公差ズレも無く、しっかりとウェハーを整列させ、 尚且つ傷付ける事も無い完璧な仕上がりです。 （3）真空チャック用先端部（A5052） 傷、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

剥離装置

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で25…

当製品は、エッチング後にフォトレジスト及び、裏止め剤を 剥離する装置です。 搬送速度は2.0m/min、材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、 FPC用で250～300mm。 装置は、巻出～剥離～水洗～液切り～乾燥～巻取の構成です。 【仕様】 ■Lan...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社