2液性接着剤を混合しながら塗布！2液混合仕様モーノディスペンサー

PR2液性の接着剤やギャップフィラーの塗布に！ 高粘度液・高濃度スラリーま…

2液混合仕様モーノディスペンサーは、2台のモーノディスペンサーと スタティックミキサーを組み合わせたユニット。 主剤と硬化剤を正確に混合しながら、高精度に吐出し、生産性向上に貢献します。 ［特長］ ●混合比・吐出量を簡単調整 　ローターの回転制御だけで混合比・吐出量を簡単に調整できます。 ●高粘度液も安定吐出 　50万mPa・sを超える粘度の液体にも対応可能です。 ●高い混合精...

メーカー・取り扱い企業： 兵神装備株式会社 東京支店

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

フイルム表面処理用ロールダイレクトプラズマ装置『RD』

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル…

でも実績があります。 また、1ヘッドタイプ or 3ヘッドタイプの豊富なラインアップがございます。 【特長】 ■グロー放電処理 ■高い処理性能 ■真空不要の常圧プロセス ■対応幅：～2500mm ■処理速度：～100m/min ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

大気圧リモートプラズマ装置『RT』

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程…

前処理などの目的で使用されます。 【特長】 ■ダメージレス ■高い処理性能 ■豊富なラインアップ ■実績多数 ■対応幅：160～3400mm ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

大気圧プラズマ装置『小型実験機タイプ』

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧…

どにご使用いただけます。 【特長】 ■小型装置 ■様々な処理に対応 ■実験用途に特化 ■対応サイズ：～A4（A4以上のサイズは別途ご相談下さい） ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 【...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

スポット型 大気圧プラズマ装置『AP-T』

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の…

『AP-T』は、2.45GHzの超高密度プラズマで高速処理が可能な スポット型大気圧プラズマ装置です。 クリーンドライエアー（CDA）での処理もできるほか、 高速立上り→スイッチOn後1秒未満でプラズマが安...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

刷毛プラズマ装置S5000-FS2

プラズマを多数の柔軟な極細チューブに導くことにより、凹凸のある物体の底…

効率が良く、膜厚が薄く、塗膜が均一な塗装！ ...細部・凹部・入隅部への表面改質 プラズマを多数の柔軟な極細チューブに導くことにより、凹凸のある物体の底面へのプラズマ処理が可能 【用途例】 ・自動車ライトのリフレクタのコーティング力向上 ・部品実装後の基板のコーティング力向上 ・突起物のある物の底面の親水化 ・培養用シャーレ内壁の培養性能・培地の接着力向上 ・スマートフォン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

大気圧プラズマ装置　Plasma Beam RT

2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリュ…

善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコストの削減も可能です。 Diener 社の革新的製品である PlasmaBeam RT は、2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適な大気圧プラズマ装置です。 PlasmaBeam RT は既存の生産ラインに容易に組み込むことができ、各種部品や材料の自動洗浄・活性化を...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（H2、C2H2）も処理可能。H2OとCO2として排出。※2 　※1　NH3を使用した場合 　※2　CH4は処理不可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

プラズマガン『SG-100』

緻密で溶射効率のよい皮膜が得られる！新設計のノズル電極により長寿命化を…

よい皮膜を得ることができるプラズマガンです。 金属から高融点セラミックスまで、各種材料のプラズマ溶射ができます。 また、40KW/80KWのモードがあり、さらにサブソニック、マッハ1、マッハ2の 溶射速度により最適条件の選択が可能です。 このほかに、プラズマ溶射システムを構成する装置として、基本的な制御操作と 安全装置を備えたエコノミータイプの「3710型コントロールコンソール...

メーカー・取り扱い企業： ユテクジャパン株式会社

大気圧プラズマ装置 Plasma Beam

圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 　‐低ランニングコ…

果： (1) 活性化： 　プラズマビームによる活性化でフリーラジカルを発生させま す。この工 　程により、印刷物や塗料、接着剤などが付着した部部品の前処理にプラ 　ズマが使用されます。 (2)超微細洗浄 　イオン化したガスとの化学反応で汚れの粒子を除去します。 また、Plasma Beamシリーズはロボットを組み込んでインラインプロセスにも使用することができます。これにより、2次元...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲…

ンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置、 アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニット「MDシリーズ」 などを取り扱っております。 また、曲面・凹凸のあるワークへの照射が可能なN2を使用したバータイプの 大気圧プラズマユニットも取り扱っております。 【ラインアップ】 ■卓上型大気圧プラズマ装置「MyPLシリーズ」 ■大気圧プラズマ装置「ILPシリーズ」 ■ダイレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」

従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置

能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○低温処理 ○ダメージフリー ○ESDフリー処理手前でのイオナイザー装置が不要 ○2年間メンテナンスフリー ○小型軽量（他社比較：約体積比率1/2以下、約重量比率1/3以下） ○半永久的長期寿命の誘電体電極 ○パーティクルフリー ○幅広ワークへの均一処理 詳しくはお問い合わせ、また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

ダメージレスで接着性＆濡れ性向上！大気圧広幅低温プラズマ処理機

デモ機有り！　初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温…

ィング、塗装、接着、密着の前処理、有機物の除去や洗浄などのクリーニングとしても有効です。 金属、ガラス、樹脂の表面活性なら是非お試しください。 弊社にて濡れ性の確認テストがすぐに行えます。 N2,O2,H2といった各種ガスは常備しており、 サンプルをご持参いただければすぐに処理いたします。 小型電極は既存のラインへ設置が容易です。 ポテンシャルフリーなため対象物をダメージレスで処理が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

す。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。 【特徴】 ○容易なプラズマモード切替 ○高速追従性 ○省フットプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなクリーニング機能により、一般的なプラズマクリーニングに比べ洗浄対象物や洗浄効果が一段と向上。 小規模から本格量産ラインまで対応できる新型プラズマクリーニング装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

粉末用イオン注入装置

IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入…

特徴 ･多種のガスが使用可能（Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス） ･装置はレシピで動作可能 ･PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理：元の材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

最新　実用真空技術総覧

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…

『最新　実用真空技術総覧』 発刊：2019年2月 定価：本体58,000円＋税 体裁：B5判1096頁 発行：(株)エヌ・ティー・エス ISBN 978-4-86043-559-2 C3043 編集　　　　最新　実用真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

CXコーティング　防水　防湿　生体適合性　無償コートも受付中

防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティン…

CXコーティングは多機能高性能コーティングとして医療や電子部品の市場の製品を様々な要因から守ることが可能です。 ◆防水・防湿 弊社のラインアップのPPX単層膜とCXコート＋SiO2の積層膜はどれも防水・防湿性能に長けています。特に弊社の技術であるPPXとSiO2を積層することにより、従来のPPX単層膜よりも400~1000倍の性能を持った優れものです。 ◆耐薬品性能 この...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社グループ

量産現場の実績多数　WET処理装置(洗浄・現像・エッチング剥離)

液晶及び有機EL市場において高いシェアを誇る枚葉平流し式ウェット処理装…

処理、ディップ処理、パドル処理など、 　好適なエッチング装置構成をご提案 ●独自開発したスプレーノズルによる均一性の向上 ●様々な薬液に対応可能な実績 ●基板サイズ：□100×100mm～□2,250×2,800mm 【特長】 ●薬液消費量の低減に効果を発揮 ●独自の搬送駆動機構によりパーティクルレスを実現 ●大量処理データの登録を可能にし、多品種化に対応 ●アラーム発生時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。 全方向から処理が進行し、対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を 行っています。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 Ｆ系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしＳｉ系・ＳｉＯ2系・ＳｉN系のエッチング及びアッシングに対応。またＡｒガスを主とした基板のクリーニングやＯ2ガスによる表面改質など多様な用途に実績。 基板の種類や目的に合わせ通常の平行平板高周波プラズマだけでなく...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

原子スペクトルデータ閲覧　AtomSpectraDBViewer

NIST公開の原子スペクトルのデータを簡単にダウンロード、検索、一覧表…

でオフラインでご利用いただけます。 オフラインだから検索もさくさくスピーディー。 全データもしくは選択データをCSVファイルに保存できますので、EXCELでもデータをご活用いただけます。 2014年2月新バージョンリリース！更に便利に使いやすく！ ・TermやConf等のデータを追加 ・真空時の発光強度データを追加 ・横スクロール時に原子名がスクロールアウトしないよう固定 ・フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレブ

【自動車業界】大気圧プラズマ装置　用途例(1)

3Dパーツの輪郭部分だけの処理などに！『AP-4000・AP-4000…

パクトなボディに固定式ノズルを1本取り付けたモデル。 タッチパネルで詳細な設定が可能なため、ラボ用から生産まで幅広く お使いいただけます。 「AP-4000 Multi」は、固定式ノズルを2本以上取り付けできるモデルです。 2方向または3方向から同時にプラズマ処理をするなど、材料の形状と 処理環境に応じて、ノズルの本数をお選びいただけます。 【特長】 ■プライマーなどの化学...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

大気圧プラズマ処理の自動化システム

大気圧プラズマに特化した製造メーカー！大気圧プラズマ処理の自動化システ…

を利用した 高性能システムを、リーズナブルな価格でお客様にご提供しています。 「多関節軸ロボットシステム」をはじめ、「単軸コンベアシステム(4本ノズル)」 「直交デカルトロボットシステム（2本ノズル）」などをラインアップ。 お客様の製品の品質向上と最良の研究結果のために当社は最大限の 努力をします。 【AETP自動化システムの利点】 ■高性能システムを、リーズナブルな価...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

プラズマCVD装置『PEGASUS』

低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！

【仕様】 ■サイズ：W4000mm×D2000mm×2000mm ■プラズマソース：ICP、RFバイアス ■ガス種：SiH4、O2、N2、HMDSO、NF3 ■ウエハサイズ：～φ12インチ（FOUP対応） ■成膜速度：～300nm/min...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セルバック

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

関向けの超コンパクト設計」 ■操作性　「可変RF出力搭載、どなたでも簡単に操作できます」 ■幅広い用途　「光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど」 ■プラズマフロー　「流量計2系統と圧力計を搭載、2種類のプロセスガスを再現良く導入可能」 ■□■アプリケーション■□■ ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

大気圧プラズマ処理装置　Arc Jet式

アジア有力企業において多数の実績あり。

箇所をピンポイント処理します。 ■処理対象 　対象ワーク表面の改質／粗化(接合強度の向上、密着性の向上） 　対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■処理幅の狭い面積に最適: 10/20/35mm　 ■ロボット機構との組み合わせにより立体物への処理が可能 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air), N2, Ar,O2,等 詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク

プラズマモニター　PM-KJ001

プラズマモニター

【特徴】 プラズマの発光色をRGBセンサでモニター。 お持ちの真空装置のビューポートに設置するだけ※1で使用OK。 PC※2と接続することで簡単操作、記録も可能。 高コストパフォーマンス。（￥111,109～） ※1. ホルダーは別売りです。各種真空ポートに接続するアダプターも用意しています。 ※2. PCは商品に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

仕様詳細や膜質などにつきましてはお問い合わせください。 【特長】 ■極めて平滑なDLC膜が形成可能：（Ra＝0.015μm以下） ■成膜レートが早い：（3μm/hr以上） ■低温成膜：（200℃以下） ■厚膜形成可能：（20μm） ■DLC膜の除膜：同一真空槽内でDLCの除膜が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【梱包資材】大気圧プラズマ装置　用途例(1)

ラベリング加工やラミネート加工の前処理など！『AP-4000・AP-4…

トなボディに固定式ノズルを1本取り付けた モデルです。タッチパネルで詳細な設定が可能なため、ラボ用から 生産まで幅広くお使いいただけます。 「AP-4000 Multi」は、固定式ノズルを2本以上取り付けできるモデルです。 2方向または3方向から同時にプラズマ処理をするなど、材料の形状と 処理環境に応じて、ノズルの本数をお選びいただけます。 【用途】 ■生産ラインでハイスピ...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案

大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排…

株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点　国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。　 今回「ワーク表面」や「電子デバイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

排気系は床置きRP。 ○イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。 →排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。 ○機能切替はボタン一つで楽々。 【その他の特徴】 ○この装置は、2 つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネトロンスパッタ成膜、親水処理機能を有する装置です。 ○床置きロータリーポンプ（1ｍホース付）による排気で、オートリーク機能搭載。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

ます。 【特長】 ■表面汚物物質の除去が可能 ■金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応 ■あらゆる試料のプラズマ処理に対応 ■低価格 ■コンパクト設計 ■2～60秒までのタイマー機能付き...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフ…

ＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなＤＬＣの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能 新機能＋多用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置も設計可能 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

【仕様】 ■ビームエネルギー：10eV～3000eV ■ビーム電流：20nA～1.9μA ■ビーム径（半値幅）：φ0.15 mm～φ5mm ■最大平均電流密度：6.94mA/cm2 ■最低動作圧力：5.5×10^-6Pa 以下 ＊メインチャンバーのベース圧：1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

大気圧プラズマによるフィルムや基板の受託処理

エア・ウォーターグループの表面改質受託処理サービス。お客様のニーズに合…

ー化学株式会社（大阪府枚方市）では、大気圧プラズマによる表面改質の受託処理サービスを提供しています。 現在、クラス1000のクリーンルームに受託処理・テスト処理用として、高分子フィルム用の処理装置2基を所有しています。 今後はお客様のニーズに合わせて被処理物を広げるとともに、受託処理設備の増強を図り、中核事業として拡大してまいります。 【仕様】 フィルム幅：300～1250mm幅 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル25℃で5μH～300μH(公称値) ・C：各チャンネル10～25pF(公称値) ・チャンネル間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

大気圧プラズマ処理装置『NJZ-2820』

大気圧で安定したプラズマ処理が可能な大気圧プラズマ処理装置！装置の小型…

大気圧プラズマ処理装置『NJZ-2820』は、高効率プラズマヘッド搭載により、生産ライン、生産設備機器への組み込みに最適な装置です。大気圧での安定したプラズマ処理、圧縮空気をプラズマ化しランニングコストの低減を可能にしました。装置の...

メーカー・取り扱い企業： 長野日本無線株式会社

『液中プラズマ技術』

硝酸態窒素水溶液を植物の肥料に！液中にてコロナ放電を発生させる技術

【製品紹介】 ■液中パルスプラズマ発生用電源 　・入力：接地付AC100V 　・繰返し周波数設定範囲：2kHz～200kHz 　・パルス幅設定範囲：0～1.5μs 　・出力電力・MAX　1kW 　・出力電圧：MAX　±4kVp 　・出力電流：MAX　±3Ap 　・外形　本体：199(W)×4...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部