太陽電池の最大電力点で動作「MPPT負荷装置」シリーズ

PR独自MPPT制御機能を採用し、様々な太陽光の照度・角度・温度条件で最大…

太陽電池モジュールの最大動作点（Pmax）で追従する装置です。 太陽電池の発電性能を評価するには、太陽電池を実際に発電状態にする必要があります。負荷を接続しないと電流は流れませんので、発電性能を計測できません。 本装置は太陽電池を接続することで、その出力電力を内部で熱に変換することにより消費します。最低限の計測環境を構築するだけで太陽電池の発電量計測が可能です（本装置内で毎秒電圧・電流・電力を...

メーカー・取り扱い企業： 日本カーネルシステム株式会社 本社

単相変圧器／三相複巻変圧器・トランス／逆V／スコット※寸法表あり

PR【寸法表と参照図面】完全オーダーメイドの変圧器製造により”1KVA～2…

完全オーダーメイドで、お客様のご要望にお応えします。 社内一貫生産により、短納期・高品質を実現。 【特長】 ■完全オーダーメイド ⇒10KVA、20KVA、30KVA、50KVA、75KVA、100KVAもお任せください！ ※もちろん、1KVA～200KVAまで対応可能！ ■社内一貫生産により、短納期・高品質を実現 ※PDFにて寸法表と参照図面を記載しております。 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社細田電機

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg　 ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...8種類までのレシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。 薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...【特徴】 ■装置寸法 　 2000W×1200D×2000H　(200WCBT) 　 2000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ドライソルベントHS供給機　C27A

ドライソルベントＨＳ供給

本装置は供試品の特性試験のためドライソルベントＨＳを一定圧力､一定温度で安定的に供給し循環使用するためのものである。 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。...【仕様】 〇電源 　・3相200V　10KVA　30A 〇寸法 　・W750×D1210×H1050 ○使用周囲温度範囲 　・10～35℃ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...【特徴】 ■装置寸法 　 2700W×1500D×2000H　(200WCBT) 　 3000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　UFO-A1.5

自転公転式真空撹拌脱泡ミキサーのノウハウを凝縮した大気圧ミキサー

小～中規模生産に最適 ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．堅牢な構造で静音・低振動・長寿命 ３．撹拌温度モニター（オプション）により生産ラインでの温度管理が可能 ４．ストロボスコープを使用して処理中の材料流動状態を確認することが可能...●最大容量：2ｋg（1kg×２個掛け） ●電源：AC ３相　200V ●外形：W645×D852×H995（m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...【特徴】 ■保安装置 　 ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、設定値を超えると警報を 　発し、ヒーター電源を切る ■IPAの供給/廃液 　 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 　ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

大気圧自公転式撹拌脱泡ミキサー　UFO-Aシリーズ

自転公転式真空撹拌脱泡ミキサーで培ったノウハウを凝縮した大気圧ミキサー

正確なモーター制御と長寿命で高品質製品の大規模生産に最適 ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．堅牢な構造で静音・低振動・長寿命 ３．撹拌温度モニター（オプション）により生産ラインでの温度管理が 　　可能 ４．ストロボスコープを使用して、処理中の材料流動状態を確認すること 　　が可能 ５．データロギング（オプション）により、生産ラインでのトレーサ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　A-mid550

自転公転独立可変速により材料に最適な状態で撹拌できる優れもの

研究・開発から少量生産に最適な中容量タイプ ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．ベルト類の消耗品交換以外はメンテナンスフリー ３．中容量タイプでも省スペース ４．レシピ登録数が100通り...●最大容量：600ml×１個掛　（標準容器：BHB-610） ●電源：AC ３相　200V±10％　（50Hz／60Hz）　2kVA ●外形：W570×D7...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

ディスプレイモニタ代替品カタログ-4

ディスプレイモニタ代替品カタログ-4

半導体製造装置、産業機器、液晶製造装置、その他制御装置などに使用されているモニタの置き換えに最適です。○対応装置メーカ：日立国際電気,光洋サーモシステム,大倉電気,ウシオ電機,大日本スクリーン製造,ワイエイシイ,日立国際電気,KEM,大倉電気,日本エー・エス・エム,東京エレクトロン,東芝,東京エレクトロン,東京応化工業　○対応モニターメーカ：シャープ,シーク技研,パトライト,ディクシー,富士電機,...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブル

『マントルヒーター（配管用ヒーター）』

面テープで着脱が簡単。シロキサンの発生がなく、半導体・電子機器等の製造…

当社は配管用の『マントルヒーター』の製作を手掛けており、 配管のサイズ・長さ・形状などに合わせた設計が可能です。 100V・200Vなど、ご希望に沿う電源仕様で製作いたします。 シロキサンの発生がなく、半導体・電子機器分野の 製造現場などでも活用可能です。 耐熱温度は一般仕様で常用300℃／最高450℃、 クリーンルーム仕様で常用200℃／最高240℃です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 菱有工業株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置

シャッタータイプの卓上型洗浄改質装置

安全面も考慮されたシャッタータイプの洗浄改質装置です。 照射サイズ：約160×180mm 操作パネルで照射時間等の設定も簡単に行えます。 ...【仕様】 ■寸法：650×520×495mm（突起物を除く）　■重量：約60kg ■使用ランプ：EUV200GS-**×1本 ■照射エリア：約160×180mm ■照射距離：40(Min)～59(Max)mm ■入力電源：単相200V...

メーカー・取り扱い企業： セン特殊光源株式会社

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　 開放時のパージ 3.　 アンロード時のパージ...POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port　一つ毎につ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

『AFALD-8』は、複雑な三次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜が できる原子層堆積装置です。 ミリ秒単位で高品質な薄膜成膜が可能なため、低ダメージで安定した成膜を 実現。 操作性に優れたソフトウェアや、自由度の高いオプション構成ができます。 【特長】 ■段差被覆性 ■高精密な膜厚制御 ■ピンホールフリー ■低ダメージ ■原料コスト削減 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

低印圧スクリーン印刷機　MT-650TVC eXtreme

プレコンタクト印刷を容易に！高い生産性と信頼性を実現した最新モデルです

MT-650TVC eXtremeは、プレコンタクト印刷を容易にする低印圧スクリーン印刷機です。MT-650シリーズの最新モデルで、優れたファインライン印刷性能を持ち、かつてないスムーズな動きで生産性を向上。最高の生産性と信頼性を合わせ持つ唯一の印刷機です。 【特長】 ・優れたファインライン印刷性能 ・スムーズな動きで生産性の向上 ・プレコンタクト印刷を容易に ※より詳細な仕様に...

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

半導体自動切断機『SMB-812-40280』

円筒加工済みのインゴットをコーン、ブロック、サンプルに切断します

『SMB-812-40280』は、長尺シリコンインゴットをバンドソーにより 両端コーン部の分断と定寸ブロックの切断及びブロック毎の サンプリング切断を行う、半導体自動切断機です。 ブロックやサンプルにはレーザー／インク印字を行い、 物流仕分のLAN結合システムも可能。 また、全自動ローダー・アンローダーは別途仕様により対応いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 齊藤精機株式会社

JCT1-0500ティーチングボックス

ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。

3ポジション　デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g（ケーブル除く） 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載...入力電圧 DC5V(±5%) 通信 RS232C 環境 0～40℃　（ただし結露しないこと） 付属ケーブル 5mまで 非常停止接点 A接点 外形寸法 W118×H225×D33（非常停止ボタン含まず）コントラスト調整用穴...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。...【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■　レジスト残渣／有機物残渣の剥離洗浄 ■　金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■　固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■　受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄（成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 　 バック...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

液晶ディスプレイ付きスキャンコンバータ

信号用ケーブル差し替えで手軽に置き換え！プラズマディスプレイの表示を液…

生産中止のプラズマディスプレイが表示パネルに使用されている製造装置では、プラズマディスプレイが不良になると装置が使えなくなり製造ラインが止まってしまいます。 液晶ディスプレイ付きスキャンコンバータは、液晶ディスプレイで不良プラズマディスプレイを置き換え、製造装置の寿命を延ばし製造ラインの継続稼働を支えます。 当社では、動作確認用デモ機を無料貸し出しいたします。 ケーブル新規製作等によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社データ・テクノ

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　UFO-36

高性能で特大量生産に最適な　真空撹拌（攪拌）脱泡ミキサーです。

特大量生産に最適な真空撹拌脱泡ミキサー ●プロペラレスの遊星式ミキサー、数分で撹拌脱泡が可能 ●真空式により完璧な脱泡が可能 ●EMEシリンジ容器で撹拌脱泡後、即ディスペンスが可能（別途治具要） ●シリンジへ泡の再混入なく高密度移送充填が可能A(別途治具要） ●比重差の大きい材料は、自転／公転独立可変速により最適な回転数で材料が沈降することなく撹拌脱泡が可能...●最大容量：50ｋg（2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

サンドブラスト用マスク治具「MJ-2025型」

カスタマイズ対応致します！複雑な作業前準備は不要です。

サンドブラスト用マスク治具「MJ-2025型」は、サンドブラストによりICチップのモールド樹脂パッケージのダムバリ、ゲートバリ、フラッシュバリを除去する簡易治具です。 アルミニウムでしっかりとマスキング致しますので、確実なバリ取りが可能です。 マスクを固定してありますので圧縮空気の風圧により浮きあがることはございません。 【特徴】 ○マスクでICチップを挟み込み、取っ手付きボルトで固定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

PRIME TECH-アダプタ-CWT

多領域で使えるアダプタ

PRIME TECH-アダプタ-CWTは、低圧から高圧の三種類のアダプタ、一種類の IP66 Adapter、及び客製化されたOpen Frame/IOT powerの五つの種類があります。 ...PRIME TECH-アダプタ-CWTは、各種類のアダプタのシリーズについては、 High Wattage Adapter：200W~240W (KPM Series 12V...

メーカー・取り扱い企業： PRIME TECH SOLUTIONS Co., LTD PRIME TECH (Shanghai) Co., LTD

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

アクティブの『卓上型スピンコーターACT-400AII』は□150mm、φ200mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000（基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能）の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。 基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。 最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-300AII』はφ150mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。 薄膜を得たい基板のサイズがACT-220AII（最安値機種）の範囲内であっても、将来基板サイズが大きくなることを考慮しこちらを選ばれる方も多いです。 低価格ながら1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。 低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400Tは、アクセサリーなどの装飾膜成膜、工具の硬化膜成膜に最適です。 導入ガス（N2、O2、C2H2）の量、及び種類を変えることにより、成膜色を変える事が可能。 【特徴】 ○工具の硬化膜成膜用に最適 ○タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能 ○少量生産機・実験機として最適 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

【半導体製造装置部品加工事例】外観重視アルミ部品　　

アルマイト処理を施したアルミプレートを製作！半導体製造装置部品の加工事…

株式会社タアフが行った『半導体製造装置部品』の加工事例をご紹介します。 材質はアルミ（A5052）を使用し、白のアルマイト処理を施した部品を 製作いたしました。サイズは10X180X200です。 当社は開発試作、少ロット生産対応力に自信があります。 製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でも お気軽にお問合せ下さい。 【事例】 品名：プレート（1） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タアフ

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル