レンズ用表面形状測定機 MarSurf LD Aspheric

PR非球面レンズの両面を一度に測定できる表面形状測定機。高精度＆高速測定で…

特許取得の独自構造によりレンズの表・裏を一度に測定出来る 表面形状測定機『MarSurf LD 130/260 Aspheric 2D/3D』 2024年4月 OPIE'24(株)マブチ エス アンド ティー ブースに実機を展示！ レンズの表裏を変える必要がなく、セッティングの手間を削減できるほか、 高精度・高速測定が行えるため、測定作業の短縮に貢献。 また、0.5mNという低測定圧での測定が可...

メーカー・取り扱い企業： マール・ジャパン株式会社

ウルトラデフォームドワイヤー(モータ用コイルの占積率UPに！)

PRモータコイルの占積率UPに寄与する3D平角銅線です！

従来の集中巻きコイルに使用されるマグネットワイヤーは、丸の断面形状が主流です。 高占積率化を狙うため平角断面のワイヤーを使用する設計が分布巻きや集中巻きでも 取り入れられております。 当社の『ウルトラデフォームドワイヤー』は、独自の技術により、断面積は一定のまま 厚×幅のアスペクト比を変化させた平角線となります。そうする事で円周上に並んだ ステータコイルの隙間を埋める設計も可能となります。 必...

メーカー・取り扱い企業： ナミテイ株式会社

真空熱加圧装置　2Dタイプ

大面積へ真空中で均一に加熱加圧することが可能な汎用機です。 ボイドレ…

プレス押し型内部に真空隔室をつけ、クイックに真空減圧させて空気泡（マイクロボイド）を取り除き均一な真空貼り合せを行なうことができます。 《特徴》 〇ミカド独自の加圧方法と推力制御を用い、熱板にて大面積への均等加圧が可能。 〇低推力から高推力まで広い推力レンジを持ち、様々なワークに対応出来ます。 〇瞬時真空チャンバーにて、減圧時間の短縮化が可能です。 〇セミオーダー対応のため、お客様のご要...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

SATA3（6Gbps）対応［Dミラー/PCI Express］

HDD故障によるシステムダウンの予防とデータ保護が行える高信頼性PCI…

弊社開発の第7世代オリジナルコントローラを搭載したSATA 6Gbps対応のPCI Expressタイプの完全ハードウェアミラーカード。歴代モデルと比較し大幅なパフォーマンスアップを実現しました。ソフトウェアミラーやセミハードミラーと違い、CPUに負荷をかけず動作し煩わしい設定は一切不要です。SATAインターフェイスのHDD2台またはSSD2台を接続させても、ホストからは1台のドライブとして認識し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ストレージ・ビジョン

SATA2（3Gbps対応）ハードウェアミラーカード［Bミラー]

安定したパフォーマンスでHDD故障によるシステムダウンの予防とデータ保…

弊社で開発したSATAコントローラにより、前モデルSVRC-Aシリーズと比較しパフォーマンスアップを実現した、完全ハードウェアミラーカード。ソフトウェアミラーやセミハードミラーと違い、CPUに負荷をかけず動作し煩わしい設定は一切不要です。SATAインターフェイスのHDD2台を接続させても、ホストからは1台のドライブとして認識し、簡単にRAID1（ミラーリング）としてお使いいただけます。自動データ再...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ストレージ・ビジョン

LED光源マスクレス露光装置　DL-1000シリーズ

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の…

D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。 本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD（Digital Micromirror Device）に転送されたグレースケール信号をピクセル（□1μm）単位で光強度に階調を持たせた2次元画像として逐次投影することのできるハード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノシステムソリューションズ

3次元ステレオ式インラインX線検査装置ILX-1100/2000

3D-X線ステレオ方式により インライン自動検査のコストダウンが実現し…

【仕様】 ＜ILX-1000/ILX-2000＞ ■検査方式：2D透過検査、 3Dステレオ検査、 3D断層検査の任意検査が可能 ■X線管種類：マイクロフォーカス密閉型X線源 ■基板サイズ / 検査領域：50×50～510×460mm ■電源：三相AC200～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込み...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

『集積回路測高検査装置2型』は、視野角10mm内、高さ0.7mm以内の 高さ計測が可能な製品です。 スロットマガジンに格納されているリードフレーム(最大30×50)を1枚ずつ 計測ステージにローディングし、高さ計測を実施。検査結果によるNG排出を 行い、空ポケットに良品ワークを自動充填します。 掲載装置は製作実績の紹介で参考品となっております。類似品または 全く新しい装置の作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

ALD装置（原子層堆積装置）『P-300B』

高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

『P-300B』は、プリントヘッド、センサー、マイクなどのMEMS機器の生産やレンズ、光学部品、機械部品、ジュエリー、コイン、医療用インプラントといった3Dオブジェクトの成膜に適した装置です。 当社が特許取得済みの高温壁設計と完全に分離した投入口を組み合わせる ことにより、優れた生産性、低パーティクルレベル、電気性能や光学性能の優位性を実現した、高品質のALD膜を作り出すことができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

当資料は、有限会社オルテコーポレーションが提案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについてや、ディスペンサーやエポキシ転写の不安定問題、ワイヤボンディング用トーチ電極などの事例を多数ご紹介しております。当社は、装置メーカーが勧める汎用性の高いパーツでは対応できないケースにおいても、数多く...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

フッ素樹脂ボールバルブ【半導体、製薬、食品工場ラインに最適！】

半導体・製薬・食品業界に最適なフッ素樹脂ボールバルブ！耐熱性・耐薬品性…

フッ素樹脂製品は、一般的なプラスチックに比べ多くの点において優れているので、さまざまな製品に加工され、産業分野、情報機器分野、自動車分野などで活躍しています。フッ樹脂ボールバルブは、半導体関連の装置や製薬・食品工場ラインで使用されます。他社より高い品質、ラインナップも多く取り揃えております。 【ラインナップ】 ■2方（3方）ボールバルブA型 　→耐圧力アップとコストダウンが可能 ■2方...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大型スパッタリングターゲット加工

銀、銅（6N）、錫（6N）など様々な大型スパッタリングターゲットの切削…

mm×6000mm(丸福) ■横中ぐり盤：BFT-11C(東芝) ■ラジアルボール盤：1600mm(オークマ) ■平面研削盤：500mmx700mm（ナガセ） 【CAD/CAM】 　・2D naska ・3D go2cam 　・3D cimatron 【測定器】 　・画像寸法測定器　KEYENCE　IM7500...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社埼玉プレーナー工業所 本社

株式会社アラオ　事業紹介

「こんなの作りたい…」を形にします！

【主要設備】 ■マシニングセンター ■NCフライス ■汎用フライス ■汎用旋盤 ■NCワイヤー放電加工機 ■平面研削盤 ■溶接機 ■CAD(2D/3D) ■CAM ■測定顕微鏡 ■3Dプリンター ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アラオ

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

当社が取り扱う『ミカド真空加圧装置シリーズ』は、独自の均圧システムを 用いることにより、高精度な2D加圧（平板加圧）が実現しました。 体積を小さくすることにより、素早い真空引きが可能。また、放熱ポスト構造 （国際特許）を採用し、熱の影響範囲を限定させることにより、均一温度及び 昇温冷却時...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パター...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

ガーバーデータ・ビューア『DynaViewer』※無償配布

情報の閲覧に加え、データ解析が可能！

『DynaViewer』は、ガーバーデータやNCドリルデータを 読み込み表示するツールです。 DコードやTコードの情報表示、2点間の距離、 データ間隔の計測などといったデータ解析が可能。 また、レイヤー、Dコード、Tコード等のレポートからデータを確認できるほか、 メモリの使用量を最小限に抑えており、ノートPCでも容易に使用できます。 ★無償で提供中。ご希望の方は「お問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： ダイナトロン株式会社

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ） 工程　Process：　カセットを手動で設置→扉...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

半導体PKG試作マニュアルモールド装置　Fusion-MEP30

減圧成形にも対応！既存金型部品を流用した設計により加工時期を短縮

『Fusion-MEP30』は、試作/実験に特化したモールド装置です。 トランスファー低圧制御により細かな設定が可能。 対話型の条件設定画面を設置し、10インチタッチパネルで ユーザー視点の簡単操作ができます。 オプションで、減圧成型仕様の対応が可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■プランジャクリーニング、ワンタッチ操作 ■ショート...

メーカー・取り扱い企業： ローム・メカテック株式会社

薬液供給装置（キャニスタユニット）　P82

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しＮ２による加圧圧送に…

ＣＭＰ装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■ＰＴＦＥ製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300（mm） ○薬液 　・酸系　H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

超小型スピンコーター　SC-155G

グローブボックス内でも邪魔にならない 超小型のスピンコーター

外形寸法　W195mmｘD195mmｘH195mmで グローブボックスのパスボックスも通るサイズです。 スピンコーターの基本性能は維持しており、 カップ内径も150mmあるので、□70mmまでの試料を処理できます。 ...*試料サイズ ：10～70mm角 *試料台 　　 ：１個付属　デルリン製（その他希望に応じます） *回転制御 ：DCモーター使用 *回転段数 ：2段階、タイマーデジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

THK LMガイド3日目出荷 特集ページ

THK LMガイドが3日目出荷！納期でお困りのお客さま必見！

事例を掲載し、選定をお手伝いします。 https://jp.misumi-ec.com/product/ ■商品カタログ情報 各商品ページに商品規格情報、メーカーカタログを掲載！ ■2D/3D-CAD 商品ページで型番確定後、指定のファイル形式でCADデータをダウンロード可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミスミ

埼玉プレーナー工業所 半導体製造装置の部品加工

難削材での厳しい寸法公差にも対応可能!高能率切削で大物機械加工が可能で…

1500mm×3000mm(佐竹) 　・2300mm×6000mm(丸福) ■横中ぐり盤：BFT-11C(東芝) ■ラジアルボール盤：1600mm(オークマ) 【CAD/CAM】 　・2D naska 　・3D cimatron 【測定器】 　・画像寸法測定器　KEYENCE　IM7500 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社埼玉プレーナー工業所 本社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動テーピング装置　AT468

半導体、ダイ、パッケージソーター。チューブ、トレイ、テーピング/リール…

AT468は様々な入出力に対応した半導体、ダイ、パッケージソーターになります。チューブ、トレイ、テーピング/リールから取り出し外観検査を行ったのちに、チューブ、トレイ、テーピング/リール梱包する装置になります。 ...● チューブ、JEDECトレー、ボールフィーダー、テーピング/リール対応 ● 対応パッケージ：SOIC,QFN、TSSOP、MEMS等 ● 検査項目 　〇 銅などがむき出...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応（オプション） 洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水 対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...【特徴】 ■装置寸法 　 2000W×1200D×2000H　(200WCBT) 　 2000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

CFRPなど複合材の成形・加工　適用例資料あり

半導体製造装置部品への採用実績あり。製品の軽量化や強度向上などに貢献。

当社は、2022年12月14日～16日に開催される「SEMICON JAPAN」へ出展いたします。 総合ゾーンでは、当社がCFRPで制作可能な部品形状や、 トリム加工・穴あけ加工・3D切削加工といった加工技術などをご紹介。 前工程ゾーンでは、軽量で硬度が高く、熱膨張係数が小さいといったCFRPの特性や 半導体製造装置の部品として採用するメリットなどを解説します。 ぜひ、当社のブー...

メーカー・取り扱い企業： TIPcomposite株式会社

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃え...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

既存空室のクリーンルーム転用に　フロアーコーチTz　興研代理店

■既存建屋の一般的な天井高さ2400mmの部屋をクリーンルームに転用可…

■一般建屋内の天井高さ2400mmの部屋に設置するだけで、人が立って作業できる2100mm高さのスーパークリーンルーム(清浄度ISOクラス１)に転用可能。 プッシュフードとガイドスクリーンだけの簡単な構成でISOクラス1を実現できます。 既存建屋に多い室内天井高2,400mmの一般的な建物を改築することなく、室内に設置するだけで人が立てる十分な高さの2,100mmで空聞を確保することができま...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

『AFALD-8』は、複雑な三次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜が できる原子層堆積装置です。 ミリ秒単位で高品質な薄膜成膜が可能なため、低ダメージで安定した成膜を 実現。 操作性に優れたソフトウェアや、自由度の高いオプション構成ができます。 【特長】 ■段差被覆性 ■高精密な膜厚制御 ■ピンホールフリー ■低ダメージ ■原料コスト削減 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

マスクレス露光装置『 ME-120F』

最大12インチウエハに対応！汎用CAD対応の直接描画なので、フォトマス…

◆直接描画でフォトリソの課題を解消 マスクレス露光装置は、DMD(Digital Micromirror Device)により、ワークに直接描画を行う装置です。 フォトマスクの製作に必要とされていた莫大な費用と多くの時間が不要になることで、従来のフォトリソグラフィプロセスにおける課題が解消され、半導体デバイスの試作がより身近なものとなります。 ◆選べる露光モード 2016年よりピクセル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピーエムティー 本社・工場

自動両面露光装置

フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

自動両面露光装置は、高精度両面自動整合機を搭載しています。 平行光ランプで高精度画像が得られます。 【特長】 ■タッチパネル PET フィルム用 Roll To Roll 露光装置 ■フィルム搬送を熟知した材料搬送技術 ■露光機専用に開発された画像処理装置搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【主な仕様】 [露光部] ■露光方式：ハードコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」

ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を…

【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。 本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置／UV 照射装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

産業機器を使用した半導体製造プロセスの最適化方法

半導体製造の効率を従来より60%アップ！消耗品の産業機器を最適化かつ長…

半導体製造における後工程処理において、長年の設計経験と改善経験をもとに、最適なピックアップツール等を提供します。 あなただけの、あなた専用の機器が誕生します。...産業機器取り扱いリスト ・コレット（ゴム、樹脂、超硬制、その他） ・サクションカップ ・突き上げニードル ・吸着ステージ ・ニードルホルダー ・エポキシディスペンスノズル ・ディスペンスノズルカスタム品 ・スパンカ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー 　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 　・微細パターンへ対応可能 　・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...IPA蒸気を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行