MCA4A 4チャンネルMCA（マルチチャンネル・アナライザ ）

PRPHA（パルス波高分析）モードとMCS（マルチチャンネル・スケーラ）モ…

PHAモードでは、16ビットADCを8nsごとに4チャンネル連続して収集し、32kの分解能を実現しています。 ポールゼロ・フィルタと台形波シェーピングを備え、典型的なプリアンプ信号も処理できます。 MCSモードでは、右側の４つのBNCコネクタを用いて、Start, Stop1, Stop2, CHADVの各入力信号を処理します。 内部メモリに、最大16Mbinのスペクトルを蓄積することが...

メーカー・取り扱い企業： 大栄無線電機株式会社

ポータブル脳波・多点筋電計測装置「TMSi」

PRERP、運動時、睡眠時の計測に好適！バッテリ残量など、本体全面をLED…

『APEX』は、ERP、運動時、睡眠時の計測に好適な超小型24ch/32ch対応の 脳波計測装置です。 アナログ帯域はDCから350Hz。リファレンスチャンネルはカスタム可能です。 また、32ch/64chの脳波＆多点筋電対応のモバイルタイプの計測装置 「SAGA」もご用意しております。 【APEX仕様(抜粋)】 ■チャンネル数：24ch/32ch ■解像度：24bit ...

メーカー・取り扱い企業： ゼロシーセブン株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いて...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロック...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ◉ 抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ◉ 有機蒸着源 x 最大4 ◉ マグネトロンスパッタリングカソード x 4 ◉ 電子ビーム蒸着 ◉ ドライエッチング ◉ アニール...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

【主仕様】 ・基板サイズ：Max12inch対応 ・チャンバー：SUS304 UHV対応、500 x 500 x500mm ・到達真空度：5 x 10-5pascal ・スパッタカソード：Φ24;（最大6）、Φ34;（最大4） ・プラズマ電源：RF150W, 300W, ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】 ◉ 基板サイズ：最大Φ64;(026）、最大Φ104;（090） ◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア） ◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納 ◉ MLチャンバー内成膜モジュール： ・抵抗加熱蒸着源（最大4源） ・有機...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

【仕様】 ■基板サイズ(インチ)：4(MAX) ■真空排気系(主排気)：クライオポンプ(8インチ 1700L/s：N2) ■真空排気系(補助排気)：ドライポンプ(500L/s：N2) ■金属蒸着源(ボート式)：3 ■金属蒸着源...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TEL...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

【仕様】 ○到達圧力 6.7×-5Pa以下 ○排気速度 大気圧より4.0×10-4Pa迄20分以内 ○蒸発源 電子銃270°偏向、電源16kW ○基板加熱 MAX150℃　常用100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ間)　T/S＝900mm ○排...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

カフマン型グリッドイオンガン 　RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm 　DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versatile gridded serie...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

【仕様(抜粋)】 ■到達圧力：4×10^-5Pa ■排気時間：5×10^-4Paまで10分以内 ■ベルジャー：SUS304　Φ507×H422 ■蒸発源：抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系：T...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

半導体用トランスデューサー

半導体用トランスデューサー

コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

【仕様】 ■表示：デジタル表示（仮数部3桁、指数部2桁） ■フィラメント材質：イットリアコートイリジウム ■デガス：4W ボンバード方式 ■ガス種設定：FIL　ON/OFF、デガス ON/OFF、エミッション切替 ■アナログ出力：0?9VDC（ログリニア）：1V/1桁 ■使用温湿度：0?40℃、?95％（結露...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

【事業紹介】真空蒸着加工、および塗装

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

【機械・設備・ライン状況】 ○真空蒸着装着　5台 ○スピンドル塗装機　2台 ○乾燥機　5台 ○ロボット塗装機　4台 ○ＵＶ乾燥機　4ライン その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横浜真空

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型 ■お手持ちの排気系、膜厚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

【仕様】 BS-60610BDS:ボンバード蒸着源　本体 6点ライナータイプ 出力：最大 4.8 kW 冷却水：4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C 動作圧力：5×10-5 ～ 1×10-2 Pa ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

ジ 酸素濃度計と連動し任意の酸素濃度に到達するまでグローブボックス内を完全自動パージ ●セーフパージ グローブボックス内酸素濃度が設定値を超えた場合、設定値到達まで完全自動パージを開始 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。酸素濃度計・水分濃度計と連動し設定濃度を保持...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着 x 2 ・有機蒸着限 x 2 2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置） ・基板サイズ：Φ8inch ・Φ24;マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ ・DC, RF両電源対応 3. Load Lockチャンバー ・プラズマエッチングステージ ロードロック室では「RF/DC基板バイアスステージ」による基板表面のプラズマクリー...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬送が可能 ・搬送室において、基板ホルダー真空封止機構搭載 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元） ・有機材料が8種類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部屋装備の為、有機蒸着源が16元設置可能 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

あります。 3.洗練されたシンプルな装備は、取り扱いもしやすく使う人を選ばない。 　導入時の優れたコストパフォーマンスはもちろん。 　メンテナンス簡易性、メンテナンスコストも割安。 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面粗度：Rmax0.5μm以下 フィルターメディア：PTFE　　サポート：PFA 継手 1/44;、3/84;、1/24;VCR(標準)、Swagelok、その他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3％ の範囲内で膜厚分布を実現いた...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

◆成膜源◆ ・Φ2inchマグネトロンスパッタカソード x 1 ・抵抗加熱蒸着源（最大2） ・有機蒸着源（最大2） ◆基板サイズ◆ ・〜Φ4inch/Φ100mm基板ホルダー（特注ホルダー 応相談） ◆膜厚センサー◆】 ・水晶振動子膜厚センサー x 1 ◆真空排気◆ ・ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ ◆付属ソフトウエア◆ ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

RK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 2. 独特なイオン源デザイン（特許）で非常に小さなサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

・冷却温度：－100℃～－140℃ ・最大負荷：2,000W～3,500W ・排気速度：100,000～220,000L/sec ・同様の装置に比べて、消費電力の削減、スタンバイ時間が 　短縮されております。 ・冷媒ガ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

【仕様】 ■到達圧力：×10^-5Pa台 ※常温・無負荷・脱ガス時 ■排気速度：大気圧から30分で2.0×10^-4Pa ※常温・無負荷・脱ガス時 ■真空室径：φ230mm×240mmH 硬質ガラス ■蒸着機構：抵抗加熱方式 ・AC電源2極（切替式）：金属用 ・AC電源：12V0～45A/7V0～80A ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

品質担保の一貫生産！プラスチック成型品の印刷・塗装・蒸着サービス

プラスチック成型品での蒸着、塗装、印刷でお困りの方いませんか？印刷・塗…

多くの実績を生み出すことができるノウハウは工場設備にあります。 真空蒸着・塗装・印刷を工場内でワンストップサービスできるよう設備を配置することで リードタイムの短縮が可能です。 また運搬車両を4トン車2台も確保。発注コスト・輸送コストを削減も実現します。 ・海外製造拠点も持ちながら国内での拠点を確保したい ・生産が追い付いていないので、短納期​で印刷、塗装した状態で納品をしてほしい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ○優れた量産性能 →基板搭載数：φ2inchウェハー約400枚/batch 　　　　　　　φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト：3h/batch　以内　　　　　 →必要設置エリア：W4.6m×D6.3m×H3.2m 　※SGC-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■有機分子の蒸着への応用が可能 ■豊富なラインアップ ■UHV条件での超高純度サブモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

Coolteq ZERO 真空装置用冷凍機 Supcold社

HFC冷媒ガス無使用

・冷却温度：－100℃～－140℃ ・最大負荷：2,000W ~ 4,800W ・排気速度：100,000～330,000L/sec ・従来品と同等の性能。 ・冷媒ガス：グリーン冷媒。※HFCは不使用。 ・使用部材：日...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質は、シェイパル・...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

電子ビーム蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡…

写真の基本仕様 4元電子ビーム蒸着装置 電源　3KW 排気系　ターボ分子ポンプ＋ロータリポンプ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

シエンタオミクロン　蒸着源

様々なタイプの蒸着源をご用意しております

着面積：φ5～φ20mm →温度領域：160～3300℃ ○イオンアシスト小面積用蒸着源　EFM3i →蒸着面積：φ5～φ20mm →温度領域：160～3300℃ ○大面積用蒸着源　EFM4 →蒸着面積：φ10～φ50mm →温度領域：160～3300℃ ○3源蒸着源　Triple-EFM →蒸着面積：φ8.5、11、15mm →動作距離：約93±10mm ○大面積用蒸着源...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

お受けしております。 試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。 【成膜スペック】 ワークサイズ：Φ100～300mm（不定形・円筒も可能） 層形成：単層膜、多層膜可（MAX4層） パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション） 【適応膜】 高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

インフレータブル蒸発器の世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2年まで、予測データは2023年から2029年までです。 ■レポートの詳細内容・無料サンプルお申込みはこちら https://www.yhresearch.co.jp/reports/292435/roll-bond-evaporator グローバルインフレータブル蒸発器の市場は2022年の464.8百万米ドルから2029年には626.4百万米ドルに成長し、2023年から2029年...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

ラボラトリー滴定装置の世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2章：グローバルの主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2018～2023） 第3章：中国の主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2018～2023） 第4章：世界の主要生産地域、パーセントとCAGR（2018～2029） 第5章：産業チェーン、上流産業、中流産業、下流産業 第6章：製品別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2018～2...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社