真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止！

PR捕捉フィルターがカギ！樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…

当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

長寿命水殺菌ランプ

PR電源のON/OFFに強い水殺菌ランプ。15,000hの長寿命。

冷陰極の長寿命水殺菌ランプ。 冷陰極ランプは点滅に強く、電源のON/OFFによる寿命の減少がほとんどありません。 CCFLランプのコンパクトな特徴を活かし、石英ガラス管内にランプとインバータを内蔵。１つのアダプターに対し省スペースで複数のランプを連結し点灯することが可能です。 波長：254nm 寿命：15,000h 詳しくはお問い合わせください。...冷陰極蛍光ランプ(CCFL)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社納屋商事

真空用フレキシブルチューブ　CF付き(VF 2000)

真空用フレキシブルチューブ　CF FLANGES type(VF 20…

長さ：500,1000,1500,2000mm チューブ：SUS316L フランジ：SUS304L ...IKCでは真空用機器（加速器及び半導体機器等）の配管接続に便利で、かつ柔軟な耐腐蝕性の4種類の真空フレキシブルチューブを規格化しました。なお規格品以外の長さ及びフランジの製作も行っています。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

トランスファーロッド　TRシリーズ

トランスファーロッド　TRシリーズ

強力な磁気回路により回転、直線運動を 高トルクで真空内に導入できる、トランスファーロッド 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○CF仕様により、MBE 装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取り付けはφ70CF仕様 ○強力磁気回路のマグネットカップリングにより高トルク ○XY機構等との組み合わせにより真空内への4軸運動伝達...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

チタン合金製真空コンポーネント

既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか？

べ2桁ないし3桁減少させることができました。これにより、非常に高速に超高真空への排気が可能です。 特殊なチタン合金の開発により、ステンレスに比較して強度、硬度ともに高く、超高真空に不可欠なCFフランジが可能になりました。 製造技術の開発により、従来困難であったチタンの溶接やロー付けが信頼性良く可能となりました。これにより、様々な複雑形状の真空チャンバーや真空部品の製造が可能にな...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

チャッキングトランスファー　2TRW

チャッキングトランスファー　2TRW

により チャッキング操作が行えるトランスファーロッド 【特徴】 ○強力な磁気回路により回転、直線運動を 　高トルクで真空内に導入できる ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○CF仕様により、MBE 装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取り付けはφ70CF仕様 ○最適な磁気回路設計により高トルクを実現 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の…

ライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

UHVアングルバルブ　Series 28.4

腐食性ガスにも対応！

-極めて少ないアウトガス量 -大きな差圧対応 -CF回転フランジ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

イラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEG...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空貼合装置によるCFRPプリプレグの成形加工

装置仕様の最適化が必要ではありますが、真空貼合装置によるCFRPプリプ…

DIC株式会社の「新型CFRPプリプレグシートDICARBOⓇLF」を使用して、真空貼合装置によるプリプレグの成形加工は可能であるのか、社内評価を行って確認してみました。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: DN63...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

レススチール 軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール 標準フランジ: 15.0/15.1 ISO-F, ASA-LP, JIS 15.2 ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シール技術: MONOVAT...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技術: VATLOCK...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ビームストッパー/ビームストッパー インサート

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

イズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F シーリング技術: MONOVAT ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: VATRING "hard on hard"...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

緊急遮断シャッターシステム　Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

イズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

【コンパクト×高拡張性】モジュール式真空成膜装置の優位性

シンプルな操作性！短時間かつ低コストで全く異なる目的の真空システムに再…

当社が取り扱う『モジュール式真空成膜装置』についてご紹介します。 一般的な真空装置の場合、KFポートやCFポートが溶接されていて、 システム導入後はポート配置は固定され、チャンバー構成を 変更することはできません。 当製品の場合、すべてのパネルは取り外して交換可能。 まさにブロックを組み立て...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

サファイア真空覗き窓(ビュ-ポート）

特許的な異質材質溶接技術で溶接しているサファイア真空覗き窓

orr 2.許容温度: -100℃～500℃ 3.透過率:80％以上 4.波長範囲:200nm～4800nm 5.フランジ材質:304S.S.或は316S.S. 6.フランジ接続:KF或はCF 7.磁性:無 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

成形ベローズ（CF規格品）

成形ベローズ（CF規格品）

コンフラットフランジ付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L 固定通し穴型 or 回転通し穴型 ...コンフラットフランジ付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L 固定通し穴型 or 回転通し穴型 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

直線型多連電子銃

TELEMARK電子銃シリーズ

直線型フランジマウントタイプ（CF254またはCF304）の超高真空対応の多連電子銃です。3kW～10kW、2～9連まで可能です。それ以外カスタムも応相談。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の…

ライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

成形ベローズ（IC規格品）

成形ベローズ（IC規格品）

CFフランジ接続及び 　端管接続用成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社