『PTFEライナーフレキシブルホース』

PR優れた耐薬品性で医薬品や工業用など幅広い分野で活躍。豊富なシリーズから…

Aflexブランドの『PTFEライナーフレキシブルホース』は、 流体接触面を化学反応が少ないPTFE樹脂でライニングした製品です。 優れた耐薬品性を備え、高圧および最大260℃の高温に耐性を発揮。 滑らかな内面構造により、液体の流速を確保できます。 CIP/SIPに対応したシリーズもあり、高い衛生性が求められる分野でも活躍。 ホースに接着剤を使用しないため、剥離によるコンタミリス...

メーカー・取り扱い企業： Watson-Marlow（ワトソンマーロー）株式会社 東京本社、大阪支社

工業用高精細レンズシリーズ『ZEISS Dimension』

PR4/3型の大型エリアセンサに対応。超高分解能で細部まで高精細な画像を撮…

工業用高精細レンズシリーズ『ZEISS Dimension』は、 最大4/3型のイメージセンサー用に設計されており、2μmの分解能を実現。 広角レンズでもディストーションの発生が極小で、 基板実装や大判印刷物の検査・画像計測などに活躍します。 「Pregius S」技術を搭載した、第4世代SONY CMOSセンサ （ピクセルピッチ2.74μmの1.2型25MPセンサ）にも対応して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンコー・トキナー 本社

CMPパッドコンディショナー

ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプ…

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。 しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。 その各工程に自動化した検査装置を入...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する 微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの 歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、 レーザー顕微鏡による...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

検査ツール『BMW-1200R』

デバイスプロセスの安定化を強力にサポートする必須の検査ツール！

『BMW-1200R』は、デバイス工程中、ウェーハ裏面に発生する微小凹凸 欠陥（チャック痕・放電痕・打痕・接触痕等）を高感度・高速に検出する 検査ツールです。 露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかに マップ化します。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補ウェーハ内 の個別欠陥に対し、レーザー顕微鏡による...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/