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PR大型アルミナ部品でお困りのお客様へ - その問題、セラミックス複合材料…
半導体製造装置関連の市場拡大に伴い、セラミックスの調達問題が発生しております。特に大型アルミナ部品は供給元が限られ、長納期化により装置開発スケジュールに影響がでております。 セラミックス金属複合材料SA701は、アルミナに比べヤング率や曲げ強度は若干劣りますが、破壊靭性値が高く割れにくい材料であり、ハンドリングが容易です。密度はアルミナの約3/4と軽く、直ネジを加工できるため、金属ブッシュを必要...
メーカー・取り扱い企業: 日本ファインセラミックス株式会社
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日本ピラー工業のロータリージョイント(回転継手)は、メカニカルシールで…
能】 ・シール流体圧力:F.V.~1MPaG ・回転速度:0~1,000rpm (特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます) ・適用流体:加圧空気,真空,超純水,CMPスラリ液 など ※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、 日本ピラー工業の登録商標です。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ピラー工業株式会社
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フレアーシール方式を採用!液置換特性が大幅アップします
『60シリーズ』は、CMPスラリーの凝集対策や、フォトレジストの発泡・ ゲル対策、エッチング・剥離液などの涙漏れ対策に適したフッ素樹脂 継手です。 ボディ、ナット形状のどちらもが独特の構造(U.S. PAT.)に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フロウエル
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