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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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独自技術の分散方法を利用して、高機能複合素材の開発を行っています
ナノフロンティアテクノロジーの『超微粒化技術』についてご紹介します。 CVD法やアーク放電法で製造されたカーボンナノチューブ(CNT)は、絡み合い 凝集した状態となっています。複合素材等に使用する場合には、凝集体を ほぐし、用途に応じた形状に分散させることが優れた性能を引き出す鍵と なります。 当社では、独自の技術と蓄積されたCNTのノウハウで、CNTを効率よく分散 することが...
メーカー・取り扱い企業: ナノフロンティアテクノロジー株式会社 本社
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