• 導入事例集を進呈!『ロボット・メカニカル専用ハードンプレート』 製品画像

    PR強度・耐食・耐熱にも優れた機能性要素部材!一般鋼材の7倍の強度で0.1…

    『ロボット・メカニカル専用ハードンプレート』は、 半導体関連などの自動機・専用機など、高強度・軽量部材や、 耐食性・耐熱性を必要とする医療、食品分野などで採用されています。 現在、当社の『ロボット・メカニカル専用ハードンプレート』により サイドレールの延命や、ステンレスの代替として、平面度0.02/100mの板厚に抑え 成功した企業を紹介した「導入事例集」を進呈中!! ※試験データ...(つづきを見る

  • グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ 製品画像カタログあり

    大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

    少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5~100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...(つづきを見る

  • 成膜装置『CAT-CVD装置』 製品画像カタログあり

    100℃以下の低温での膜形成が可能!太陽電池の製造を目的とした成膜装置

    『CAT-CVD装置』は、太陽電池の製造を目的とした成膜装置です。 CVD(触媒化学気相堆積法)は原料ガスを加熱触媒体線に吹き付け、 接触分解反応により低温成膜が可能。 原料ガスと触媒体線材料の選定...(つづきを見る

  • ドライな潤滑被膜 DLC/NEO-Cコーティング 製品画像カタログあり

    プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…

    「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品で...(つづきを見る

  • 半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング 製品画像カタログあり

    PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…

    半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を...(つづきを見る

  • バルブ 「高真空L型バルブ」 製品画像カタログあり

    エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ラインに高真空L型バルブ

    くて排気時間も短縮可能。 ○重金属汚染が少ない: →Ni (ニッケル)、Cr(クロム)などの重金属を含まないため、  ウエハなどワークへの重金属汚染が減少。 ○用途:エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ライン ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

  • 真空対応PZTアクチュエータ 製品画像カタログあり

    真空対応PZTアクチュエータ。アウトガスの発生がほとんどない

    当社の真空対応ピエゾアクチュエータは、化学蒸着法(CVD)による絶縁・防湿コーティングを使用しています。無酸素状態での対放射線性に優れ、アウトガスの発生がほとんどありません。低〜超高真空の各種装置で対応が可能です。 ■特長 ・低電圧で変位量が大きい ・エネルギー変換効率が大きい ・広い温度範囲で使用できる ・真空状態でのアウトガスの発生が少ない ・小型・軽量 ◆◇◆◇◆◇◆◇...(つづきを見る

  • パルスレーザパルス蒸着システム 製品画像カタログあり

    パルスレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • 真空技術とFAの要素技術を融合!設計・製造からサポートまで対応 製品画像カタログあり

    重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

    半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【製品】 蒸着膜形成装置 ...(つづきを見る

  • ガス配管製作 製品画像カタログあり

    ガス配管製作

    自動溶接作業は、クラス10,000相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の  設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な  体制となっており...(つづきを見る

  • 真空配管、粗引配管設計及び制作 製品画像カタログあり

    真空配管、粗引配管設計及び制作

    真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を  行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...(つづきを見る

  • 光学用のボールレンズの全面コート 製品画像

    光学用のボールレンズの全面コート

    も小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。 コーティングはPVD(物理気相成長法)とCVD(化学気相成長法)を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-1300nm, 1270-1310nm, 1500-1600nmが主流となっています。 全面コ...(つづきを見る

  • バタフライコントロールシステム Series 61.2 製品画像カタログあり

    CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

    -優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...(つづきを見る

  • 株式会社IHI Ionbond JAPAN『金型』のご紹介 製品画像カタログあり

    低コスト化と生産性向上の最適なソリューションをご提案!

    【金型向けコーティングラインアップ】 ■PVD  ・膜種:Ionbond 90 Concept ■PVD  ・膜種:Ionbond 35 CrWN ■PACVD  ・膜種:Ionbond 42 Cr+CrN+a-C:H ■CVD  ・膜種:Bernex 29 AI2O3 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 製品案内 装置 製品画像カタログあり

    表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

    【使用例】 ■MBE装置 ■CVD装置 ■有機材料成膜装置 ■分析装置  他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 株式会社バックス 事業紹介 製品画像カタログあり

    シリコン・石英、アルミ+アナダイズ処理等の半導体製造装置部品の製造を行…

    。 シャワー面をはじめ、Eagle-10ヒータ、SUPPORT ROD、 Ni-BOLTS-L2などの実績を保持。 シリコン・石英等の硬脆材料製品やアルミ+アナダイズ処理等の P-CVD/ETCH製品なら当社にお任せください。 【事業内容】 ■半導体製造装置部品の製造及び付帯関連  ・シリコン・石英等の硬脆材料製品  ・アルミ+アナダイズ処理等のP-CVD/ETCH製...(つづきを見る

  • 角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION 製品画像カタログあり

    開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

    エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 ...(つづきを見る

  • 中古機械取扱実績一覧 製品画像カタログあり

    4000点の装置を掲載中!短納期・低価格!中古機械取扱実績例のご紹介

    上げるために必要な設備を揃えたい"など いろいろお悩みの方は是非、一度アクセスしてみてください! 【中古機械取扱実績例(抜粋)】 ■スパッタ装置  ・アネルバ「SPF-530H」 ■CVD装置  ・アルバック「CIH-130」 ■ターボ分子ポンプ(TMP) ・島津製作所「TMP-1003LM」 ■DC電源  ・アドバンスドエナジー「MDX-2.5K」 ■マスフローコント...(つづきを見る

  • 中古機械主要在庫情報 アイアールシー株式会社 製品画像カタログあり

    中古機械の主要在庫情報を多数掲載!EB蒸着装置、スクリーン印刷機など

    アネルバ社製のスパッタ装置などを豊富にラインアップ。 全国対応・査定無料です。 処分する前に、是非一度ご連絡ください。 【主要在庫一覧(抜粋)】 ■EB蒸着装置(アルバック) ■CVD装置(マイクロフェーズ) ■ドラフトチャンバー(島津理化) ■プラズマアッシング装置(ヤマト科学) ■分液ロート振とう機(東京理化器械) ■スクリーン印刷機(マイクロテック) ※詳し...(つづきを見る

  • 石英ガラス サーマルプロセス用製品 製品画像カタログあり

    新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供…

    当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等の サーマルプロセス用製品を取り扱っております。 大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の 大口径石英ガラス部材...(つづきを見る

  • セルテスDLCコーティング【従来より密着力・耐摩耗性に優位性!】 製品画像カタログあり

    従来よりも密着力・耐摩耗性に優れる複合多層DLCコーティングが登場!摺…

    セルテスDLCは、プラズマブースタースパッタリング(PBS)とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新世代複合多層DLCコーティングです。新プラズマ源の採用により、これまでより低温(180℃以下)で成膜でき、金型・部品の耐久寿命も従来DLCと比較して飛躍的に向上します...(つづきを見る

  • ブルックスインスツルメント 製品総合カタログ 製品画像カタログあり

    世界中で愛されるフロー、プレッシャ、レベル計測製品を掲載した総合カタロ…

    、面積流量計、圧力・真空製品を豊富なラインアップでご紹介しています。 【掲載製品の一例】 ■サーマルマスフローコントローラ/メーター GF40 / GF80シリーズ →ソーラー薄膜生成、CVD、その他工業用気体流量制御用途に最適 →エラストマまたはメタルシール →1秒台の高速セトリングタイム ■ガラス管面積式流量計 ショーレート流量計 1350/1355 →堅牢で高耐久性 →...(つづきを見る

  • セトラ社 工業用OEM圧力センサ モデル522シリーズ 製品画像カタログあり

    セトラ社 モデル522汎用圧力センサは、優れた安定性と高精度を必要とす…

    セトラシステムのモデル522汎用圧力トランスデューサーは、優れた安定性と高精度を必要とするOEM産業用アプリケーション向けに設計されています。 モデル522のCVDひずみゲージの設計は、長期間の使用による圧力サイクルや熱影響に対して安定して使用出来ます。この長期に渡る安定性は年間0.2%未満の低ドリフトを実現し、高い信頼性をユーザに保証します。すべての接液部...(つづきを見る

  • クライオポンプ総合カタログ 製品画像

    【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!

    【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプ...(つづきを見る

  • アルマイト再生 製品画像

    アルマイト再生

    CVD、エッチャー装置部品のアルマイト再生をお受けいたします。 当社のアルマイト再生は、ガス穴径を大きくすることなく作業いたします。 その結果数回のアルマイト再生が可能となり、部品のロングライフ化を実現しました。...(つづきを見る

  • 真空蒸着システム PECVD 製品画像カタログあり

    薄膜蒸着における低い工程温度

    高純度フィルムの形成が可能な、真空蒸着システム...プラズマを利用したCVDで、source gas などで分解させ、そこで発生する グロー放電を利用する薄膜合成法です。 Glow discharge を起こさせるために、0〜13.56MHzの多様な周波数領域の powerを利用します。 ■□■メリット■□■ ■高純度フィルムの形成が可能 ■Source Gas によって多...(つづきを見る

  • セルテス 低温PVDコーティング加工 製品画像カタログあり

    低温処理で安定した密着性コーティング!200℃以下の低温処理が可能

    ■低温処理で安定した密着性(200℃以下の低温処理が可能なためSCM浸炭鋼やSKS、SUJ鋼にも母材硬度低下なしに密着力にすぐれたコーティングが可能 ■高精度コーティングが可能(膜厚精度と再現性にすぐれるため公差の厳しい精密部品に適用可能) ■アークIPのようなドロップレットがなく表面が平滑(相手材への攻撃性が低く良好なトライボロジー特性)...特殊スパッタリングおよびプラズマCVDプ...(つづきを見る

  • DLCコーティング (ダイヤモンドライクカーボン) 製品画像カタログあり

    あらゆる用途で信頼性が高い、スタンダードDLC

    ・長尺物、重量物に対応します。  最大処理寸法:φ750×1,200mm  最大重量:360kg ・ラジカル窒化との複合処理も可能です。 ・材料手配、加工、表面処理、検査までの一貫加工も承ります。...DLCとはダイヤモンドライクカーボンの略であり、ダイヤモンドと似た物性をもつカーボン膜のことです。次世代コーティング膜として、各方面のユーザー様から評価していただいています。 弊社DLCは...(つづきを見る

  • 窒化・バイメタリック可能…射出成型機用シリンダー 製品画像カタログあり

    窒化・バイメタリック可能 お客様の求める仕様・条件に合わせて…

    でなく、スクリュー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。TiN(窒化チタン)などのPVD(物理蒸着)、CVD(化学蒸着)、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。 何でもお気軽にお問い合わせください! クイック見積り...(つづきを見る

  • 株式会社竹内型材研究所 事業紹介 製品画像カタログあり

    信頼の「MASTブランド」は40年以上の歴史より、精密金型分野をはじめ…

    ] ○STブシュ、GPガイド ○ダイセット用ガイドセットGTBP,GTBE ○インサイドガイドセットSDBP ○特注ガイト・ブシュの製作 [その他] ○熱処理及び各種表面処理(PVD,CVD,DLC) ○マシニング、ワイヤーカット他各種加工 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

  • 産業用ロボット用ハードンプレート ※事例紹介 製品画像カタログあり

    【特注相談受付中】耐摩耗性や耐食性、安価なものまで、高強度部材ハードン…

    ○STブシュ、GPガイド ○ダイセット用ガイドセットGTBP,GTBE ○インサイドガイドセットSDBP ○特注ガイト・ブシュの製作 <その他> ○熱処理及び各種表面処理(PVD,CVD,DLC) ○マシニング、ワイヤーカット他各種加工 ※製品の詳細は、PDF資料をダウンロード頂くかお問い合わせください。...(つづきを見る

  • 導入事例集を進呈!『ロボット・メカニカル専用ハードンプレート』 製品画像カタログあり

    強度・耐食・耐熱にも優れた機能性要素部材!一般鋼材の7倍の強度で0.1…

    ○STブシュ、GPガイド ○ダイセット用ガイドセットGTBP,GTBE ○インサイドガイドセットSDBP ○特注ガイト・ブシュの製作 <その他> ○熱処理及び各種表面処理(PVD,CVD,DLC) ○マシニング、ワイヤーカット他各種加工 ※製品の詳細は、PDF資料をダウンロード頂くかお問い合わせください。...(つづきを見る

  • 隔膜式真空計(バラトロン真空計) 製品画像

    150℃/200℃対応!バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

    物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フ...(つづきを見る

  • バルブ『3LTシリーズ』 製品画像カタログあり

    ウルトラクリーンバルブシリーズの最高グレードクラス製品となる高温モデル…

    ル高温型の メタルダイヤフラムバルブです。 接ガス部に樹脂を一切使用しておらず、最高250℃までの耐久性を 有する究極のメタルダイヤフラムに仕上げました。 また使用用途として、MOCVDの切り替え用バルブとして適しております。 【特長】 ■オールメタル高温型 ■樹脂不使用 ■最高250℃までの使用に耐える ■MOCVDの切り替え用バルブに最適 ※詳しくはカタロ...(つづきを見る

  • パック・テクノ・デバイス【会社案内・製品総合カタログ】 製品画像カタログあり

    カロリーメータ・冷温水循環装置・マイコン・その他試験装置をトータルにプ…

    冷凍能力試験装置 →PUC用小型風洞装置 →モータ冷却用ブライン供給ユニット →大型オーブン →高張力試験機 →(冷蔵庫用、自動車用、EV用)カロリーメータ →ガラス管加工機 →MOCVDグラフィックパネル →9連式現像機 →ステッピングモータコントローラ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

  • チャンピオン工業株式会社 プラスチック金型用部品総合カタログ 製品画像カタログあり

    チャンピオン工業株式会社の全てを網羅した総合カタログ

    により、市場にあるあらゆる材質の加工に対応しています。 ■熱処理・表面処理も用途に合わせて 真空・高周波などの熱処理はもちろん、サブゼロ処理やタフトライド・スルスルフ・イオン窒化・PVD・CVDなどの表面処理も用途に合わせて指示通り行ってまいります。 本カタログはチャンピオン工業株式会社の全てを網羅した総合カタログです。お手元に1冊どうぞ。...(つづきを見る

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