CVD | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA

PR産業用マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業：データコントロルズ株式会社

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆

ローコスト必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…

縦型実験炉大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

ング技術を応用し様々な3次元形状の金属、セラミック、樹脂製品に成膜する装置です。化粧品、電子部品、電池部品、高機能材料開発といった用途に使用可能です。このほかにも、小型化/大型化、CVD/各種プラズマ処理、バレル/ドラム型など様々な装置のご提案が可能です。【特長】 ■省スペース ■大容量 ■独自のスパッタカソードを搭載 ■スクリュー型攪拌機構 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

塑性加工用精密金型　製作サービス

熱・冷間鍛造、焼結鍛造、精密プレス成形用金型なら当社にお任せください

選定まで対応。また、加工技術では、高スキル保有のオペレーターが先進の設備を駆使し、複雑・高精度金型を超高速で製作いたします。【特長】 ■超硬合金製ピニオン成形金型を直彫 ■CVDコーティング金型を高精度化 ■超短納期金型対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アスデックス

パターニング加工

研究開発に！試作に！実験に！当社の加工技術をお役立て下さい

像が可能です。また、ポジ型、ネガ型、ドライフィルム、薄膜、厚膜用各種レジストを所有し、ポリイミドのパターニングも可能です。【代表的な加工プロセス】 ■スパッタ ■蒸着 ■CVD ■CMP研磨 ■Deep-RIE＆ICP　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ

ガラス基板などへの対応可　成膜加工（PVD）

１枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能

PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、 EB蒸着による成膜も行っております。大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。生産工程を飛躍的に向上させます！多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ　・スパッタ　・蒸着　・CVD 　・ALD 　・DLC ■ウェット　・ディップ　・スプレー　・印刷、転写　・ダイコーター　・ディスペンサー装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

スパッタリングコーティング(成膜)サービス

試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします！

『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロンスパッタを利用したアシストサービスです。試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。各種CVD・EB蒸着・イオンプレーティングも承ります。立会作業も別途ご相談下さい。【特長】 ■低音高速マグネトロンスパッタの利用が可能 ■３カソード方式で３層まで同一真空内で積層可能 ■基...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ

真空蒸着システム　総合カタログ

様々なニーズに対応

ourcdの　適切な組合せを通じて、お客様のneedsにお応えできる　最も優れたコーティング膜が合成できるようにした　複合コーディング装備 ○PECV 　プラズマを利用したCVD 　source gasなどで分解させ、そこで発生するグロー放電を利用する薄膜合成法 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

卓上CNT／グラフェン成膜装置

長尺粉体CNTや垂直配向CNTやグラフェン膜を簡単に合成できる卓上型C…

有機液体原料はもちろん、アセチレンガスやメタンガスなどの炭化水素原料ガスと、H2還元ガスの導入ポートも標準装備し、各種CNTの合成を簡単に実現できます。また、基板ヒーターの急冷が可能で、グラフェン膜も簡単に成膜できます。...【特徴】 ○触媒前駆体のフィラメント加熱機構を追加 ○配向CNTだけでなく、粉末タイプCNTの大量合成も可能〇基板や粉体表面へのグラフェンの成膜が可能 ●そ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

豆知識「めっきと塗装って何が違うの？」

めっきと塗装では材料も施工方法も全く違います。簡単に硬質クロムめっきを…

い無電解めっきにさらに分類されます。乾式めっきは真空中などで成膜するのですが溶液中に浸漬しないで行うため乾式めっきと呼ばれます。乾式めっきはさらに物理気相成長法（PVD）と化学気相成長法（CVD）に分けられます。 ○塗装（＝Painting、Coating）素材表面に塗料を塗ったり、吹き付けたりして塗膜を形成させる技術で、こちらも素材が錆びるのを防いだり、外観を良くしたり、機能を付...

メーカー・取り扱い企業：オテック株式会社

『WPC処理』

摺動抵抗低減・耐摩耗性向上！金属部品、金型、刃具、工具等の寿命が数倍に…

です。粉末合金製切削工具等において、耐摩耗性、構成刃先の抑制、耐チッピング性などの機械的特性を向上させ、切削加工した被切削物の寸法精度や表面粗さなどの品質も向上します。また、CVD又はPVDコーティングを施しても表面層での結合剤の析出現象を抑制するので、コーティングの効果を損なうことなく耐摩耗性及び耐久性をより一層高めます。【WPC処理の効果】 ■金属疲労寿命...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テックブラスト

光導波路・ウェハ加工ファンドリーサービス

光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス！世界トップクラス…

【主な保有技術】 ■成膜技術：　スパッタ、常圧CVD、蒸着、火炎加水分解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術：　縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術：　ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-De...

メーカー・取り扱い企業： NTTデバイスオプテック株式会社

大村技研株式会社　会社案内＆ウエーハファウンドリー

大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されていま…

発・評価、装置のパーツ、お客様の試作・研究開発などで多数のお客様にご利用いただいております。ウェーハファウンドリーサービスとして ○SOIウエーハ ○シリコンウェーハ販売 ○成膜加工（CVD） ○成膜加工（PVD） ○パターニング ○ナノパターン ○その他加工サービスをおこなっております。いつでもお気軽のお問い合わせください。詳しくはお問い合わせ、またはカタログを...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

レーザ加工機　レーザーラインプレシジョン

【エワーグ社】コンパクトなダイヤモンド工具向けレーザープロダクションセ…

『レーザーラインプレシジョン（Laser Line Precision）』は、PCD、CVD-Dなどの超硬合金材の研削、放電加工といったレーザーによる従来の処理手順を置き換えるレーザー精密加工機です。最大工具径200mm、最大工具長250mmの回転工具および最低内径3mm...

メーカー・取り扱い企業：ワルターエワーグジャパン株式会社

日本パーカライジング株式会社　事業紹介

明日の世界を創造する。金属表面処理・表面改質ならお任せください。

塑性潤滑、深絞り用塑性潤滑石鹸処理 ○ショットブラスト［その他当社全体での受注処理］ ○ガス軟窒化処理 ○ガス浸炭焼入れ焼き戻し ○コンポジットめっき ○カニゼンめっき ○PVD・CVD ［外注加工受注品］ ○各種めっき ○黒染処理 ○機械加工　他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：日本パーカライジング株式会社仙台工場

保守・メンテナンスサービス

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

＜対応実績＞ CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など詳しくは、お問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

薄膜加工技術の解説付きガイドブック『薄膜Q&A』を無料進呈中！

各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質…

・どんな膜ができるの？・こんなコーティングはできるの？・試作だけでもいいの？量産もできるの？東邦化研株式会社では、表面処理に好適なイオンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。イオンプレーティング部発足以来、約40年に渡って幅広い分野で実績を残してまいりました。その中で、特にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

コーティング装置　圧粉成形離型DLCコーティング　

特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用し…

【主な特徴】 ○高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化の新機能被膜。 ○特殊イオン源を使用したプラズマCVD装置で高耐久性ICFを成膜させる。 ○真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、　付加価値を高める装置を製造。 ○ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

半導体用発熱体

半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供　...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー

低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

部品の傷付き、摩耗にお困りの方必見。水素フリーDLC（ta-C）膜は高…

フィルタードアーク方式（FCVA）による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。また室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

ッタリングカソード ○短形スパッタリングカソード ○シリンダー型スパッタリングカソード ○スパッタ用各種ターゲット ○高インパルススパッタ電源 ○アークプラズマ用パルス電源 ○プラズマCVD用パルス電源 ○メンテナンス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

【資料】コーティングの処理方法によるメリット比較表

処理方法の選定に！乾式法と湿式法のメリット・デメリットを掲載しています

できます。また、反射防止膜(ARコート)による課題解決事例もご紹介しています。【比較処理方法】 ■乾式法・真空蒸着、スパッタリング、イオンアシスト(IAD)、化学的気相法(CVD) ■湿式法・ダイ、スプレー、ディッピング、フロー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニデックコート事業部

【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…

【その他の製作実績】 ■研究開発用バッチ式3元スパッタリング装置 ■研究開発用IBS装置【取扱製品】プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

消耗したフライトトップ…スクリュー摩耗状態

写真で分かりますでしょうか？　　　摩耗部に筋がつき、焼入れ層は取れてし…

く、シリンダー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。 TiN（窒化チタン）などのPVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。何でもお気軽にお問い合わせください！クイック見積り...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

加工「ラップ加工」

荒加工でワイヤー目の除去もおこない、きれいな面を成形！金型部品・機…

【加工内容】 ○金型、工具類の鏡面研磨 ○コーティング（DLC、CVD、PVD、等）前後の磨き ○切削、研磨後の微少バリ取りと同時研磨 ○艶出し全般 ○ワイヤー目の除去研磨 ●詳しくはお問い合わせ http://sankoseimitsu.co.j...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三晃精密

金型寿命向上のご提案

金型寿命向上のご提案はおまかせください！

　・各種鋳造品　・各種鍛造品 ■金型関連部品　・超硬品　・プレート　・ダイセット　・パンチ　・ダイス ■熱処理 / 表面処理　・各種熱処理　・PVD 　・CVD 　・各種鍍金　・アルマイト処理　・塗装 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タカギスチール本社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。特徴 ●最小フ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

株式会社IHI Ionbond JAPAN『金型』のご紹介

低コスト化と生産性向上の最適なソリューションをご提案！

【金型向けコーティングラインアップ】 ■PVD 　・膜種：Ionbond 90 Concept ■PVD 　・膜種：Ionbond 35 CrWN ■PACVD 　・膜種：Ionbond 42 Cr+CrN+a-C:H ■CVD 　・膜種：Bernex 29 AI2O3 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IHI Ionbond JAPAN 横浜エンジニアリングセンター（1・2号館）

多結晶サーマル

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結…

ダイヤモンドは銅の5倍の熱伝導率を持ち、電気絶縁体であるため、完璧なヒートシンクとなります。 CVDダイヤモンドは、サイズや形状の制限を受けることなく、単結晶ダイヤモンドのすべての特性を備えています。ダイヤモンドの卓越した熱伝導率と高い電気抵抗率は、マイクロプロセッサの周波数向上...

メーカー・取り扱い企業：合同会社SUPERHARD JAPAN

石英ガラス　サーマルプロセス用製品

新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供…

当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等のサーマルプロセス用製品を取り扱っております。大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の大口径石英ガラス部材...

メーカー・取り扱い企業：東ソー・クォーツ株式会社

株式会社エイディーディー　事業紹介

私たちは半導体業界に新しい風を起こします。

に応じた製品を設計、開発いたします。 →チラー →純水加熱器 →セカンドパーツ ○修理：チラー、Heコンプレッサー、カップ温湿調器、RF電源等の修理を　行っております。 ○成膜受託：CVD、インプレーティングにて、薄膜の真空蒸着を行っております。 ○チラー省エネ改造：各種メーカーのチラーを対象に、省エネ改造を　提案いたします。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイディーディー

『特注品』

刃先形状からシャンク形状までお客様のご希望に合わせた仕様でデザインしま…

当社では、CVDダイヤモンドを使った製品やミーリングなど、カスタム仕様の『特注品』の製作も対応しています。刃先形状からシャンク形状まで、お客様のご希望に合わせた仕様でデザインいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：コンツールファインツーリング株式会社

酸化物，窒化物成膜関連製品

MPSの酸化物，窒化物成膜関連製品を紹介します．

【特徴】 ○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用．光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置 ○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置．熱とプラズマの併用も可能 ○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用 ●詳しくはお問い合わせ，ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MPS

『再研磨＆コーティングサービス』のご案内

切れなくなった切削工具を甦らせます

【サービス内容】［納期］ ■再研磨：5日 ■コーティング：5日［各種皮膜の用途］ ■CVD 　・TiC：プレス深絞り用金型、冷間鍛造用金型　・Ti3：アルミダイカスト鋳抜きピン、プレス金型　・W2C：アルミダイカスト金型（溶損対策用） ■PVD 　・TiN：プレス用金型、...

メーカー・取り扱い企業：山和工機株式会社

薄膜形成

薄膜形成技術は、物理的気相法（PVD）・化学的気相法（CVD）・液相法で分ける事ができます。弊社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、フィルム等の素材に気相成長法の抵抗加熱・ＥＢ蒸着・スパッタリング・イオンプレーティ...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

技術資料：レーザ加工によるダイヤモンド工具の高品位刃先製作

高硬度材での切削工具製造に関する技術情報満載！レーザ加工のメリットがよ…

『レーザーラインウルトラ（LASER LINE ULTRA）』は、需要が高まっているPCD工具を始め、CBN/CVD-D/MCDなどの高硬度材に対する加工において、精度面や加工時間で従来の加工法に比べ大きなアドバンテージをもつ加工システムです。 ■技術資料『レーザ加工によるダイヤモンド工具の高品位刃先製作...

メーカー・取り扱い企業：ワルターエワーグジャパン株式会社

ALD成膜サービス

細くて深い溝にも綺麗に成膜できる！新しいMEMS受託加工サービスのご紹…

従来のCVD法で生じた成膜のムラをALD法を使って解消しませんか。 ALD（Atomic Layer Deposition）では原子レベルで一層ずつ成膜するため、細く深い溝にも緻密に成膜することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

当社は半導体製造装置メーカーとして、GaN系発光デバイス製造における ICPエッチング装置、CVD装置及びプロセス技術を提供してきた実績があります。また、4H-SiCパワーデバイスに対してもトレンチ加工、メサ加工等に対応できる装置を提供。当資料では、これまでの加工実績をベー...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

Local Scrubber

Local Scrubber Burn-wet ECS-3000S …

The abatement system is highly efficient, used in CVD- and etch applications for photovoltaic, semiconductor and other related industries. Advantage:...

メーカー・取り扱い企業：株式会社臺禹科機

CVD装置用MFCパネル

弊社の業務内容としては、半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事などです。【製品事例】・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作など様々な製造・制作も行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

CVD装置用ガスボックス

弊社の業務内容としては、半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事などです。【製品事例】・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作など様々な製造を行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

耐熱単結晶 CVD ダイヤモンド

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップ…

当社が取り扱う『単結晶ラボグロウンダイヤモンド』をご紹介します。横は+0.2/0-0mm、厚さは+/-0.05mm。材料特性は、ホウ素濃度[B] <0.05ppm、窒素濃度 <1ppmです。 3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをご用意しております。【仕様と公差（一部）】 ■横：+0.2/0-0mm ■厚さ：+/-0.05mm ■結晶方位(ミスカ...

メーカー・取り扱い企業：合同会社SUPERHARD JAPAN

１枚からの成膜が可能　成膜加工（CVD）

低温ＣＶＤは、１００℃以下での成膜や、異形サイズの基板へも、樹脂、フィ…

PE=CVDのSiO2、SiNを中心に成膜の受託加工を行っております。厚膜の熱酸化膜への対応、小数枚の熱酸化膜へのご要求にも在庫品で対応できる場合がありますので、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置構成モジュール】 ◉ 製作範囲抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box option：MaxΦ6inch ・0...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社