• 真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

    PRSiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性…

    更なる省エネルギー化やEVなどに不可欠なパワー半導体。 そのパワー半導体の製造プロセスに不可欠な機能部品は高温で腐食性雰囲気に耐える、 不純物を含まないなど厳しい条件を満足する必要があります。 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるTaC部品、ヒータ、静電チャック、 PBN部品は高い耐熱性や耐腐食性を有し、他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できま...(つづきを見る

  • 高流量の手動式/空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』 製品画像

    PR従来の約2倍のCv値 (25.8) を実現したオールフッ素樹脂製ダイア…

    樹脂バルブでは希少なウェアタイプのバルブ設計により、小型・高流量を実現するとともに流路を簡素化しデッドボリュームを解消しました。 クリーンでスムーズな流れが液交換時のフラッシング時間を短縮し、研磨用スラリーの凝集を防ぎます。 独自のダイアフラム構造は負圧にも対応しており、オプションのポジションセンサーとロックアウトカバーが安全な稼働に寄与します。 オリフィスは「3/4"」「1"」「1 1...(つづきを見る

  • MEMS試作ソリューション 製品画像カタログあり

    MEMS試作ソリューション

    適な材料・プロセスを選択 少量からのMEMS試作・マイクロチップに対応いたします 【特徴】 ○基板手配  シリコン・ガラス・樹脂など多様な材料に対応 ○成膜  スパッタ・蒸着・CVD・メッキなど、常時120種類以上の  材料を保有し、スピーディな対応が可能 ○リングラフィ  コンタクトアライナー・ステッパー・EB描画  ナノインプリントを利用した3Dパターンなど...(つづきを見る

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