• 【高周波洗浄ユニット用途例】半導体製造工程 製品画像

    PR出力が低い所でも安定した性能を維持!繊細な部品洗浄にも適しています。

    当社では、半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」を ご提案いたします。 スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生を メーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。 特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。 当社の超音波は、出力が低い所でも安定した性能を維持できるので そのような、繊細な部品洗浄にも適していま...(つづきを見る

  • 半導体製造工程を効率化する質量分析計 『infiTOF』 製品画像

    PR半導体成膜工程の反応を正確かつ迅速に、リアルタイムでモニタリングが可能…

    近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。 予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。 【特徴】 ■ 歩留...(つづきを見る

  • 導入事例集を進呈!『ロボット・メカニカル専用ハードンプレート』 製品画像カタログあり

    強度・耐食・耐熱にも優れた機能性要素部材!一般鋼材の7倍の強度で0.1…

    ○STブシュ、GPガイド ○ダイセット用ガイドセットGTBP,GTBE ○インサイドガイドセットSDBP ○特注ガイト・ブシュの製作 <その他> ○熱処理及び各種表面処理(PVD,CVD,DLC) ○マシニング、ワイヤーカット他各種加工 ※製品の詳細は、PDF資料をダウンロード頂くかお問い合わせください。...(つづきを見る

  • 酸化物,窒化物成膜関連製品 製品画像

    MPSの酸化物,窒化物成膜関連製品を紹介します.

    【特徴】 ○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用.光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置 ○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置.熱とプラズマの併用も可能 ○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用 ●詳しくはお問い合わせ,ま...(つづきを見る

  • 耐熱仕様:非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」 製品画像

    高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

    本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。  半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、CVD装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。  その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製...(つづきを見る

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