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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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卓上に置いて即実験!高温小型真空炉として使用可能!
PC通信対応16パターン×16ステップ デジタルコントローラー ・過昇温アラーム 【オプション】 ・ガス系フローコントロール ・真空排気系(R.Pポンプ他) ・排気ガス処理装置 ・CVD-TRAP ・高性能パソコンリンクプログラムコントローラー16×16パターン ・6chマルチ入力記録計(PC通信対応) ・MPCSコンピューター通信ソフトウェア 詳しくはお問合せ、...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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卓上に置いて即実験!小型真空炉として使用可能!ガス系等及び真空装置を接…
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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