• 次世代コーティング技術『FUPC処理』【密着性と熱歪みを克服!】 製品画像

    PR密着強度の不満・熱歪みに伴う寸法精度の限界を解決します!高品質でコスト…

    CVD処理とPVD処理の弱点を解消し、コーティングの常識を変えた フジタ技研のオリジナル技術『FUPC処理』。 自社開発の処理装置による独自のプロセスにより、CVD処理特有の熱歪みにともなう寸法変化を極力抑制し、同時にPVD処理では不可能だった強力な密着性を実現しています。 【特徴】 ■TiNの欠点である低硬度を改良してTiCに近い硬度を持たせたコーティング ■FUPC-TiCN膜よ...(つづきを見る

  • 真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

    PRSiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性…

    更なる省エネルギー化やEVなどに不可欠なパワー半導体。 そのパワー半導体の製造プロセスに不可欠な機能部品は高温で腐食性雰囲気に耐える、 不純物を含まないなど厳しい条件を満足する必要があります。 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるTaC部品、ヒータ、静電チャック、 PBN部品は高い耐熱性や耐腐食性を有し、他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できま...(つづきを見る

  • CVD装置 製品画像カタログあり

    CVD装置

    ●特徴 本装置はCVD法を用いた薄膜作製装置であり、原料ガス状物質(気体、液体、固体)としてCVD反応室に供給し、気相または基板材料表面において化学反応を起こさせ、所望の薄膜材料を基板上に堆積させる気相反応、表面反応を...(つづきを見る

  • CVD合成ダイヤモンド 製品画像

    CVD合成ダイヤモンド

    CVD法により合成された極めて高品質のダイヤモンド結晶が手頃な価格でご購入いただけます。単結晶、多結晶、ナノ結晶、フィルム、ディスク、薄膜等、ご希望に応じた形態で提供させていただきます。...(つづきを見る

  • 太陽電池作製装置(Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置) 製品画像カタログあり

    高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…

    本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試...(つづきを見る

  • CVDプロセスガス分析装置 MPQMS] 製品画像

    CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです…

    当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで 使用できるように設計してあります。作動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。...(つづきを見る

  • リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302 製品画像カタログあり

    エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

    Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○...(つづきを見る

  • 『GDMSによる各種材料の検出下限値表』 製品画像カタログあり

    各種材料40種類以上!GDMSによる各種材料の検出下限値表をご紹介!

    サービスを 行っております。 当資料は、『GDMSによる各種材料』の検出下限値表です。 【掲載内容】 <matrix> ■Cu ■Fe ■4N-6N+purity Ga ■CVD-SiC ■Graphite ■GaAs plate ■ZnO ■Sapphire ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 【用途別一覧表】ジルコニア式酸素濃度計『TBシリーズ』 製品画像カタログあり

    デザインにより、非常に幅広い用途でご使用頂いています。

    ザインにより、高純度ガス中の微量酸素 から真空雰囲気、燃焼排ガス中の酸素測定まで非常に幅広い用途でご使用 頂いています。 【掲載用途(抜粋)】 ■高純度ガス、N2 PSA ■拡散炉、CVD 等 ■N2 リフロー炉、ディップ炉 ■不活性ガス、H2+N2 ■CO+H2 雰囲気 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 事業紹介 製品画像カタログあり

    科学技術を通じて、責任ある開発と本質を追求することを目指しています。

    ○分析機器事業部 →EDS、WDS、EBSD →電子顕微鏡用各種付属装置 ○アサイラム リサーチ事業部 →AFM/SPM(原子間力顕微鏡) ○半導体製造装置事業部 →プラズマエッチングCVD装置 →イオンビームエッチング/デポジション装置 →原子層堆積装置(ALD) ○インダストリアル・アナリシス事業部 →XRF(蛍光X線分析計) →OES(スパーク放電固体発光分光計) ...(つづきを見る

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