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PR素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中!各種…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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PRソーラーを接続するだけで使える蓄電システム!最大9.6kWhの蓄電池容…
単相3kW出力のパワコンと7.2kWhの蓄電池を内蔵した据置型のオフグリッド蓄電システムです。 4kWまでのソーラーパネルを接続可能。 配線はソーラーと出力部のみのため容易に設置可能。 【設置用途例】 ・山小屋 ・作業小屋 ・小規模店舗 ・小規模事務所 ・小規模工事現場 ・ユニットハウス ・トレーラーハウスなどに好適です。 ※詳細はPDFをダウンロード頂くか直接お問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セイキ
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太陽電池作製装置(Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置)
高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…
本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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CVD合成ダイヤモンド
CVD法により合成された極めて高品質のダイヤモンド結晶が手頃な価格でご購入いただけます。単結晶、多結晶、ナノ結晶、フィルム、ディスク、薄膜等、ご希望に応じた形態で提供させていただきます。...
メーカー・取り扱い企業: プネウム株式会社 本社
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CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです…
当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで 使用できるように設計してあります。作動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロフェーズ
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リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302
エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…
Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適!
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...
メーカー・取り扱い企業: オーシャンフォトニクス株式会社
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【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション
飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…
半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分...
メーカー・取り扱い企業: カノマックスアナリティカル株式会社
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電子顕微鏡観察のお悩みを解決!チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽…
『オスミウム・プラズマコーター』は、「直流グロー放電による 負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた電子顕微鏡試料用の 導電性薄膜作製装置です。 プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を 短時間に形成することができます。 非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージを 与えることなく得られます...
メーカー・取り扱い企業: フィルジェン株式会社
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デザインにより、非常に幅広い用途でご使用頂いています。
ザインにより、高純度ガス中の微量酸素 から真空雰囲気、燃焼排ガス中の酸素測定まで非常に幅広い用途でご使用 頂いています。 【掲載用途(抜粋)】 ■高純度ガス、N2 PSA ■拡散炉、CVD 等 ■N2 リフロー炉、ディップ炉 ■不活性ガス、H2+N2 ■CO+H2 雰囲気 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 第一熱研株式会社
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