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  • 静電チャックの製品画像です

    金属不純物の少ない、高純度材料静電チャック

    ◆金属不純物の少ない、高純度材料を使用し、  空孔が少なく、良好な表面状態を有しています。 ◆また、従来のアルミナ系静電チャックに比較して  高い熱伝導を有しています。 ...プラズマCVD法で作るSiC(炭化ケイ素)超微粉末を応用した 製品で 半導体製造関連の搬送ツールなどに使用できる。...(つづきを見る

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