• DLCコーティングの基礎知識・事例・選定基準をまとめた資料進呈中 製品画像

    PR切削工具、金型、機械部品の磨耗・傷つき防止に!樹脂・ゴムに対応したタイ…

    当社の『DLCコーティング』は、高い耐摩耗性はもちろんのこと 回転・滑り・往復などの機械的相対運動に要求される特性を兼ね備え、 切削工具や金型、自動車部品、シール材などに幅広く適用可能。 摩擦抵抗を低減できる水素フリーの「ジニアスコートHA」や 樹脂やゴム材料の変形に追従する「ジニアスコートF」など、 課題に合わせて選択できる様々な膜種をラインアップしています。 【用途例】 ...(つづきを見る

  • 解説資料 金型コーティング膜の特性と選定【被覆処理・下地処理編】 製品画像

    PR硬質膜の被覆処理時の注意点と、金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法!…

    硬質膜の被覆処理時の注意点とは?金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法とは? 本資料(その3、その4)では事例を用いて被覆処理時の注意点と当社独自の処理方法を詳しく説明しています。 ・資料(その3)では金型に必須なコーティング膜について、さまざまな実際の損傷を交え特性と選定方法について解説しています。 ・資料(その4)では金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法、当社が行う下地処理であるD...(つづきを見る

  • シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

    シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列...(つづきを見る

  • CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

    して 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子...(つづきを見る

  • 【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索 製品画像

    最適条件の探索に!多次元表示チャートの活用事例をご紹介!

    詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小)となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確とな...(つづきを見る

  • 粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

    Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...(つづきを見る

  • 3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

    験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな...(つづきを見る

  • 真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

    験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな...(つづきを見る

  • 粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

    験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな...(つづきを見る

  • 3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

    標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布...(つづきを見る

  • 真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

    験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反...(つづきを見る

  • ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

    験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反...(つづきを見る

  • 【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈 製品画像カタログあり

    工数・コスト削減に!薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

    【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、  真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを  計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が...(つづきを見る

  • 【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション 製品画像カタログあり

    粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

    Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール(下段の製品説明参照)のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッ...(つづきを見る

  • プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

    標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布...(つづきを見る

  • 半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト 製品画像カタログあり

    ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

    【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、  真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを  計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が...(つづきを見る

  • マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

    標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布...(つづきを見る

  • CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像カタログあり

    『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

    して 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子...(つづきを見る

16件中1〜16件を表示中

表示件数
45件
  • 1
分類で絞り込む

分類で絞り込む

[-]