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    半導体装置に最も適した材料!様々な用途で発揮されるソリッド SiC

    ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。 ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD...(つづきを見る

  • カタログあり

    金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介!

    『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD(化学蒸着)プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD(物理蒸着)プロセスは...(つづきを見る

  • 光学用のボールレンズの全面コートの製品画像です

    光学用のボールレンズの全面コート

    も小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。 コーティングはPVD(物理気相成長法)とCVD(化学気相成長法)を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-1300nm, 1270-1310nm, 1500-1600nmが主流となっています。 全面コ...(つづきを見る

  • 高温サセプター用非接触ピンセットの製品画像です

    高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

    CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...気体を噴出することにより非接触に...(つづきを見る

  • アルマイト再生の製品画像です

    アルマイト再生

    CVD、エッチャー装置部品のアルマイト再生をお受けいたします。 当社のアルマイト再生は、ガス穴径を大きくすることなく作業いたします。 その結果数回のアルマイト再生が可能となり、部品のロングライフ化を実現しました。...(つづきを見る

  • ビューポートシャッター SFシリーズの製品画像ですカタログあり

    ビューポートシャッター SFシリーズ

    蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等  各種超高真空装置に使用可能 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    各種熱処理用パーツの加工などに対応!先端産業向けに広く貢献しております…

    【加工部品】 ■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品 →ヒーター・坩堝・カーボン断熱材  カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品 他各種部品 ■プラズマCVD用部品 【特殊炭素製品ラインナップ】 ○半導体向け ○熱処理用 ○溶解炉用 ○ガラス向け ○冶金向け ○歯科用 ○ホットプレス ○燃料電池向け ○電解用 ○放電加工用 ...(つづきを見る

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    各種産業機械部品に関する特長や利点などを詳しく解説!

    【産業機械向けコーティングラインアップ】 ■PVD窒化膜 ・硬度 HV0.05:2000-3500 ■PVD炭素膜 ・硬度 HV0.05:1200-5000 ■PVD/PACVD ・硬度 HV0.05:1200-2800 ■CVD ・硬度 HV0.05:2000-4000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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    軽快なフットワークで迅速にお応えします。

    ] ○STブシュ、GPガイド ○ダイセット用ガイドセットGTBP,GTBE ○インサイドガイドセットSDBP ○特注ガイト・ブシュの製作 [その他] ○熱処理及び各種表面処理(PVD,CVD,DLC) ○マシニング、ワイヤーカット他各種加工 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

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    自動車部品に関するコーティング技術などを詳しく解説します!

    【自動車部品向けコーティングラインアップ】 ■PVD シルバー ・硬度 HV0.05:2000-2600 ■PVD ブラック ・硬度 HV0.05:1000-1800 ■PVD/PACVD ブラック ・硬度 HV0.05:2000-2800 ■PVD グレー ・硬度 HV0.05:1000-1400 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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