• 半導体製造工程を効率化する質量分析計 『infiTOF』 製品画像

    PR半導体成膜工程の反応を正確かつ迅速に、リアルタイムでモニタリングが可能…

    近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。 予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。 【特徴】 ■ 歩留...(つづきを見る

  • 【高周波洗浄ユニット用途例】半導体製造工程 製品画像

    PR出力が低い所でも安定した性能を維持!繊細な部品洗浄にも適しています。

    当社では、半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」を ご提案いたします。 スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生を メーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。 特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。 当社の超音波は、出力が低い所でも安定した性能を維持できるので そのような、繊細な部品洗浄にも適していま...(つづきを見る

  • ウエハ 開発サービス 製品画像カタログあり

    ELO(epitaxial lateral overgrowth)にも…

    当社では、GaN、Sapphire、SiC基板上へのMOCVDによるエピ成長に 対応できるウエハを開発しております。 高周波デバイスをはじめ、パワーデバイス、照明など 様々な用途にご利用頂けます。 ご要望の際はお気軽にご連絡ください。 【特...(つづきを見る

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