チェックしたものをまとめて:

  • PR【総合カタログ無料進呈中】一般用水から高粘度流体まで送液可能!エア駆動…

    「DELLMECO」のダイアフラムポンプは、一般用水から磨耗性・刺激性流体、粒子が混入している高粘度流体まで送液可能です。 また、エア駆動式でドライ運転も可能です。 駆動エアの調整により流量・吐出圧のコントロールも簡単に出来ます。 【掲載内容】 ■ポンプの構造特長 ■ポンプの取付方法 ■ポンプサイズの選定・取付推奨例 ■ダイアフラムポンプ ■サニタリポンプ ほか 詳し...(つづきを見る

  • PRまずはカタログのダウンロードを!配電盤の配線孔からのホコリや水の侵入を…

    まず、この広告ページ下段の動画をご覧下さい。 シングルゲートは、欧州では20年以上の使用実績を持ち通信基地局配電盤(NOKIA)や配電盤(Rittal)、船舶制御盤(ABB)などで採用されました。 日本では船舶制御盤電気配線工事にお使い頂いております。 IP等級に基づく中低圧域用電気ケーブル配線の工事施工向けに設計された Trelleborg(トレルボルグ)社製の高防塵グロメットです。 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

    超硬チップや金型のコーティングに使用するCVD装置向けのモジュールヒーターです。 ご希望の炉寸法、仕様に容易にカスタマイズ可能ですのでお気軽にご相談下さい。...(つづきを見る

  • 液体ソースCVD装置の製品画像です

    液体ソースCVD装置

    室温〜350℃程度の低温成膜が可能。また、プラスチック上への成膜が可能。 ● 反応室に独自の工夫を施しているためパーティクルの発生を抑制。 ● 液体ソースのTEOSを用いるLS-CVD法によりステップカバレージと埋め込み効果に優れた成膜が可能。...(つづきを見る

  • カタログあり

    優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

    常圧CVD装置「AMAX800V」は、φ200mmウェーハ対応、モノシランガスの反応特性を応用したUSG、PSG、BPSG等の絶縁膜およびシリコン基板の裏面保護膜を形成する連続式常圧CVD装置です。 搬送...(つづきを見る

  • SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置の製品画像です

    厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス(特許出願中)

    室温〜350℃程度の低温成膜が可能。また、プラスチック上への成膜が可能。 ● 反応室に独自の工夫を施しているためパーティクルの発生を抑制。 ● 液体ソースのTEOSを用いるLS-CVD法によりステップカバレージと埋め込み効果に優れた成膜が可能。 ● Ge、P、Bの液体ソースを用いて屈折率の任意の制御が可能。標準1系列に加え、オプションでさらに2系列のドーパント導入系の追...(つづきを見る

  • CVDコーティング装置の製品画像ですカタログあり

    どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装…

    中日本炉工業社が取扱う CVDコーティング装置のご紹介です。...(つづきを見る

  • Nanofurnace BWS-NANO 卓上型熱CVD装置カタログあり

    多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装…

    ◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応...(つづきを見る

  • 三次元LSIへの応用画像です

    高速、低温で高品質の厚膜シリコン酸化膜の形成が可能!

    12インチウエハー対応量産用トレーカセット式...【特徴】 〇室温~350度程度の低温で高品質の厚膜シリコン酸化膜の形成が可能 〇高速成膜 〇アスペクト比の大きな段差への成膜が可能 〇液体原料TEOSの使用により、ステップカバレージと埋め込み効果に優れた成膜が可能...(つづきを見る

  • プラズマ成膜装置の製品画像ですカタログあり

    プラズマ成膜装置。MEMSデバイスにて、酸化膜の高速厚膜形成可!

    PE-CVD装置 ●各種MEMSデバイスにおける酸化膜の高速厚膜形成が可能 ●優れたステップカバレッジを実現 ●低水素含有の高品位SiN成膜が可能 ●SiN成膜プロセスで応力制御が可能...(つづきを見る

  • 密閉型チャンバー 枚葉式(1枚処理)Face down成膜 2チャンバータイプカタログあり

    小ロット生産・試作・開発向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成…

    「A200V」は、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)等の成膜を目的とした、枚葉式常圧CVD(APCVD)装置です。 密閉型チャンバーでの枚葉式Face down成膜により、限られた設置スペースの中でも、安全で、膜厚・不純物濃度のバラツキが小さく、パーティクルが少ない成膜が可能です。 装置タイプは、2チャンバータイプ・1チャンバータイプから選択可能で、多品種小...(つづきを見る

  • 高スループット 連続式(2レーン)APCVD装置「A6300S」カタログあり

    量産対応 NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 連続式…

     「A6300S」は、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピウェハ用バックシール等の成膜を目的とした、高スループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。  コンパクトな筺体ながら、2レーンでの連続成膜により、高生産性を確保し、CVDコートSiCトレーの採用によりメタルコンタミ(金属汚染)の低減を実現しています。  その他、目的別に装置ラインナップを揃えており、デモ装...(つづきを見る

  • 連続式APCVD装置「AMAX」シリーズ-AMAX200カタログあり

    量産対応 NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 連続式…

     「AMAX」シリーズは、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピウェハ用バックシール等の成膜を目的とした、連続式常圧CVD(APCVD)装置です。  8”・12”のウェハにも対応しており、連続式のメリットである量産性を確保しつつ、高品質な成膜が可能です。  その他、目的別に装置ラインナップを揃えており、デモ装置によるサンプル成膜も可能です。詳しくはお問合せください。.....(つづきを見る

  • プラズマ成膜装置の製品画像です

    Plasma Enhanced Chemical Vapor Depo…

    300mmウェーハ対応の低ストレスシリコン窒化膜や、TSVライナー絶縁酸化膜の形成に最適なプラズマ成膜装置です。...-TSV用途で小径、高アスペクト構造への優れたステップカバレッジのSiO2膜低温成膜が可能 -化合物半導体用途でキャパシタ構造への高い耐電圧/信頼性SiN成膜が可能 -化合物半導体用途で保護膜への低水素濃度SiN成膜が可能 -SiN成膜プロセスでストレスコントロールが可能 ...(つづきを見る

  • 炉のスライド移動による急冷機構を搭載

    グラェン膜を合成するための管状炉熱CVD装置です 炉のスライド移動機構を搭載、サンプルの急加熱/急冷が可能    オプションで、モータ駆動による自動スライド機能も追加可能   オプションで、ターボ排気ポンプの追加により、さらに高品...(つづきを見る

  • バッチ式APCVD装置「D501」カタログあり

    試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

     「D501」は、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)等の成膜を目的とした、研究施設・試作/開発ライン向けのバッチ式常圧CVD(APCVD)装置です。  コンパクトな筺体ながら、異なる形状・サイズの基板への成膜が一回の処理ででき、また、量産用装置「A6300S」と同タイプの成膜ヘッドを使用している為、量産装置導入前の試作ラインでの使用や、R&Dに適しています。  その他、目...(つづきを見る

  • 単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51Aの製品画像ですカタログあり

    単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A

    ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能な 高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置 【特徴】 ○コンパクトで省電力 ○超高真空技術を駆使しており、プラズマが室壁に接触しないため  デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験が可能 ○球状コンパクトチャン...(つづきを見る

  • 結晶系太陽電池セル製造用 高スループット 連続式APCVD装置「AMAX1000S」カタログあり

    量産対応 太陽電池向け NSG(SiO2)/BSG/PSG膜成膜用 連…

     「AMAX1000S」は、結晶系太陽電池(セル)製造用固相拡散ソース膜・ハードマスク/拡散バリア膜・パッシベーション膜(保護膜)等の成膜を目的とした、高スループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。  拡散層(p+/++層、n+/++層、BSF層、FSF層等)形成において、形状(拡散濃度/深さ)、シート抵抗を容易に制御する事が可能です。また、拡散源として使用した膜をそのまま次の拡散の...(つづきを見る

  • カタログあり

    結晶太陽電池セル用量産装置を新たにリリースしました

    太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置「AMAX1000S」は、太陽電池(セル)製造用に開発されたハイスループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。拡散用ハードマスクやパッシベーション用のSiO2膜、固相拡散源...(つづきを見る

  • VDS-5800シリーズ

    パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。

    膜質の制御範囲が非常に広く、様々なお客様の求める膜質に対応します。また、化合物ウエハや特殊ウエハなど、従来の装置では問題があった安定した自動搬送を実現し、歩留まり向上に貢献します。当社では、お客様のご要望を出来るだけ装置に反映するため、装置毎のカスタマイズを積極的に行います。社内にデモ機を常設していますので、お気軽にご相談ください。...当社の装置は1回の処理で複数枚のウエハに成膜を実施する、バッ...(つづきを見る

  • カタログあり

    高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

    業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくは...(つづきを見る

  • カタログあり

    弊社にてデモ可能! 市場初投入の新技術。大気圧プラズマでCVD。 …

    今まで減圧下で行っていたプラズマCVDによるSiO2製膜を大気圧下で行えます。 また供給ガスを変更することでSiOCの製膜も可能。 厚みは処理条件によりコントロール可能。 今までの大型CVD装置では対応しきれない少量生産や、...(つづきを見る

  • カタログあり

    独自開発のシステムでFeRAM-LSIの大量生産を実現

    MOCVD装置「DoctorT」は、産学協同により世界で初めて製品化に成功しました。特許取得済み独自コンセプトの気化器を搭載し、多様な有機金属化合物の成膜が可能です。今まで困難とされていたCVD法によるPZ...(つづきを見る

  • カタログあり

    新製品!CVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なタンタルカーバイドを被…

    EVEREDKOTE(R)とは、専用に開発した高純度等方性黒鉛基材に東洋炭素独自のCVD法にて緻密なタンタルカーバイド膜を被覆した製品です。 高温で安定なタンタルカーバイド膜で、耐熱性に優れ、急速な加熱冷却にも強く耐熱衝撃にも優れています。 ガス透過の低減に効果があり、さらに、品...(つづきを見る

  • MiniLab(ミニラボ)シリーズ フレキシブル実験装置カタログあり

    モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

    【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、T-CVD、PE-CVD、ドライエッチング、超高温カーボン炉(*MiniLab-CF/MF, WCF/WMF参照) ◉ チャンバー ・026(26Litter)-LTE/*Globe Box optio...(つづきを見る

  • PLAD-221-Y PLDシステムの製品画像です

    PLAD-221-Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-161 PLDシステムの製品画像です

    PLAD-161 PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-150Y PLDシステムの製品画像です

    PLAD-150Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-250R PLDシステムの製品画像です

    PLAD-250R PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-271PE PLDシステムの製品画像です

    PLAD-271PE PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • エキシマレーザパルス蒸着システムの製品画像です

    エキシマレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • Nd:YAGレーザパルス蒸着システムの製品画像です

    Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-261PG PLDシステムの製品画像です

    PLAD-261PG PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • R&D/小型実験用横型炉の製品画像ですカタログあり

    小型ながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉

    小型でありながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉です。お客様の仕様に合わせ、低温から1400℃の高温処理、また、真空システムとの組合せにより、CVDや真空アニ−ル炉としてもご使用いただけます。 ●ヒータはカンタルA-1からス−パ−カンタルまで、温度仕様により選定可能 ●小型ながら3ゾ−ン制御により、均熱安定性が高い ●各種ガスユニットを用意。様々なプロセスに対応します...(つづきを見る

  • PLAD-250E PLDシステムの製品画像です

    PLAD-250E PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • SiC3コーティング

    立方晶窒化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カー…

    短納期! 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材 高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC(立方晶窒化珪素)コーティングカーボン部品。 MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。 ※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレー...(つづきを見る

  • 高温サセプター用非接触ピンセットの製品画像です

    高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

    CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...気体を噴出することにより非接触に...(つづきを見る

  • 半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

    <対応実績> CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下...(つづきを見る

  • 真空蒸着システム 総合カタログの製品画像ですカタログあり

    様々なニーズに対応

    ourcdの  適切な組合せを通じて、お客様のneedsにお応えできる  最も優れたコーティング膜が合成できるようにした  複合コーディング装備 ○PECV  プラズマを利用したCVD  source gasなどで分解させ、そこで発生するグロー放電を利用する薄膜合成法 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...(つづきを見る

  • TCS Series(オプション仕様)カタログあり

    排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

    ● 反応副生成ガスにも対応  カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される NH3(アンモニア)の他  副生成される可能性が ある毒性の強いHCN(シアン化水素)にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン  集合表示灯及びタッチパネル(オプショ...(つづきを見る

  • in situもしくはin-lineでの膜厚計測を実現するために開発さ…

    半導体製造装置とのインタフェースもLAN/RS232C/デジタルIOに対応する多様なインタフェースを提供しています。 エッチャー、CVD等のアプリケーションに使用され、次世代パワーデバイスの界面を高精度に深さ制御が可能です。...(つづきを見る

  • 中古半導体製造装置の製品画像です

    中古半導体製造装置

    弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 中古装置のハイテック・システムズ! 半導体製造装置のご相談は、ハイテック・システムズへ!...ハイテックシステムズは、以下の業務を行っています。 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 ・主な取り扱い中古装置  露光機(Stepper、Aligner)  CVD装置、PVD装置 ...(つづきを見る

  • ALD-ECR複合成膜装置

    装置の動作デモをご覧いただき、サンプル成膜を実施し、そして評価へと一連…

    ■ALD-ECR Hybrid System ALD-ECR複合成膜装置 高密度・高活性な気相反応による究極のECRプラズマと表面反応を追求した極限的なCVDともいえるALDを、1つのシステムとすることで、どちらか一方または両方の機能を使用したプロセスが可能となりました。 ■固体ソースECRプラズマ成膜装置 固体ソースECRプラズマ成膜装置は、低温...(つづきを見る

  • 真空蒸着装置カタログあり

    真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを!

    各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究・開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸...(つづきを見る

  • 配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

    半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用N2ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...CVD装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バ...(つづきを見る

  • 日新技研社 単結晶育成装置 総合カタログの製品画像ですカタログあり

    日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ 無料配布中!

    ております ◆◆掲載製品◆◆   ○トランジスタインバータ   ○酸化物単結晶引上装置   ○自動直径制御装置   ○μ-PD装置   ○超小型単結晶引上装置   ○SiC-CVD装置   ○Gap.InP高圧合成装置   ○高温アニール装置   ○SiC単結晶成長装置 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい◆...(つづきを見る

  • 半導体製造装置(中古装置)の売買の製品画像です

    中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサ…

    中古装置の提供においてMTBFというキーワードを使用するのは弊社くらいであるという自負があります。品質とコストにおいては自信があります。...半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、CVD装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご提案が可能です。国内でも多数の実績がございますの...(つづきを見る

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