チェックしたものをまとめて:

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    半導体や太陽電池の生産・研究開発設備!独自の高温処理技術による高温熱処…

    大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもライン...(つづきを見る

  • カタログあり

    RIE、ICP-RIE、PECVD、ICP-CVD装置

    キャリアプレートによる搬送から200mm及び300mmまでのプラズマCVDやドライエッチングプロセスに対応。...特長】 ○プラズマソースとして平行平板、ICP(内径180mm/380mm)が選択加工  ○ICP-RIEではクライオプロセスも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版のカタログをダウンロード頂けます。...(つづきを見る

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    RIE、ICP-RIE、PECVD、ICP-CVD装置

    キャリアプレートによる搬送から200mm及び300mmまでのプラズマCVDやドライエッチングプロセスに対応...特長】 ○プラズマソースとして平行平板、ICP(内径180mm/380mm)が選択加工 ○ICP-RIEではクライオプロセスも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版のカタログをダウンロード頂けます。 ...(つづきを見る

  • 炭化ケイ素(SiC) ロイセラム-HSカタログあり

    高純度・高強度・低熱膨張のセラミックス

    主に高温で使用される半導体製造装置の部材として、30年以上の実績があり、そこで培われた様々な技術[1.複雑な構造を実現する接合技術 2.ミクロンオーダーの精度を実現する精密加工技術 3.気相成長(CVD)法によるSiC成膜技術]を活かして、近年は、LED・太陽電池・SiCパワーデバイス用途でも採用されています。また、SiCは原子力や核融合、航空宇宙分野などでの応用が期待されています。AGCはこれ...(つづきを見る

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    あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスのIn-…

    可能です。幅広い圧力範囲とそのモニターガスに与える影響を最小限に抑えながら迅速にデータ収集ができるように、INFICONは高い汎用性を備えたHexBlockインレットを開発しました。 エッチングやCVDなど、一部の複合アプリケーションで使用される高腐食性ガスに対応するため、HexBlockのインレットは316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。また、過酷な環...(つづきを見る

  • エッチング・成膜装置 EISシリーズの製品画像です

    コンパクトな6インチ対応、エッチング・成膜装置EISシリーズ

    の速度で6インチに対して5%の均一度を実現。最新のデバイスに対応し、優れた異方性エッチング特性をもち、深いパターンでも垂直性を維持します。 ○各種成膜ユニット(オプション)を使用することにより、CVD成膜装置として、酸化膜やDLC膜等の成膜を効率よく行うことが出来ます。 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...(つづきを見る

  • 石英ガラス用エッチング剤 (日米特許取得)の製品画像ですカタログあり

    石英ガラス用エッチング剤 (日米特許取得)

    地球にやさしい、人にやさしい フロステックのガラス表面処理剤および金属表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した3R(Reduce、Reuse、Recycle:リデュース、リユース、リサイクル)薬剤です。 フロステックのガラス表面処理剤および金属表面処理剤は、フッ酸は使用していません。フッ化物の使用量も低減しています。...光学用レンズ、各種理化学実験用器具、CVD...(つづきを見る

  • 半導体製造装置(中古装置)の売買の製品画像です

    中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサ…

    中古装置の提供においてMTBFというキーワードを使用するのは弊社くらいであるという自負があります。品質とコストにおいては自信があります。...半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、CVD装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご提案が可能です。国内でも多数の実績がございますの...(つづきを見る

  • 『総合カタログ』を無料進呈中ですカタログあり

    独自技術や世界レベルの性能を持つシリコン深掘り装置、エッチング装置など…

    』をダウンロードにて進呈中です。 【掲載製品】 ■シリコン深掘り装置 ■シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 ■SiC/化合物/酸化膜エッチング装置 ■酸化膜/窒化膜成膜装置(プラズマCVD装置) ■金属膜成膜装置(PVD装置)...(つづきを見る

  • 半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

    <対応実績> CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下...(つづきを見る

  • in situもしくはin-lineでの膜厚計測を実現するために開発さ…

    半導体製造装置とのインタフェースもLAN/RS232C/デジタルIOに対応する多様なインタフェースを提供しています。 エッチャー、CVD等のアプリケーションに使用され、次世代パワーデバイスの界面を高精度に深さ制御が可能です。...(つづきを見る

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    経済性に優れた高精度ラバーシール

    半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されてい...(つづきを見る

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    コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

    CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ(MFC)とデジタルマスフローメーター(MFM)は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を...(つづきを見る

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    ドライエッチング装置(オープンロード式)

    コンパクトなボディにRIE、RIE/PE、PECVDを選択可能なモデル 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 英語版のカタログをダウンロード頂けます。 ...(つづきを見る

  • LED生産用大型バッチ装置(PECVD/RIE)(ロードロック式)

    【特長】 ○PECVD: 6インチ×7枚, 4インチ×15枚 ○ETCH: 6インチ×5枚, 4インチ×12又は13枚 ○ウエハーの搬送は大型キャリアを使用。4面搬送チャンバーと組み合わせてカセットtoカセ...(つづきを見る

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