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  • MiniLab(ミニラボ)シリーズ フレキシブル実験装置カタログあり

    モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

    【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、T-CVD、PE-CVD、ドライエッチング、超高温カーボン炉(*MiniLab-CF/MF, WCF/WMF参照) ◉ チャンバー ・026(26Litter)-LTE/*Globe Box optio...(つづきを見る

  • PLAD-250E PLDシステムの製品画像です

    PLAD-250E PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-261PG PLDシステムの製品画像です

    PLAD-261PG PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • パルスレーザパルス蒸着システムの製品画像ですカタログあり

    パルスレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • Nd:YAGレーザパルス蒸着システムの製品画像です

    Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • エキシマレーザパルス蒸着システムの製品画像です

    エキシマレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-271PE PLDシステムの製品画像です

    PLAD-271PE PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-250R PLDシステムの製品画像です

    PLAD-250R PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-150Y PLDシステムの製品画像です

    PLAD-150Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-161 PLDシステムの製品画像です

    PLAD-161 PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • PLAD-221-Y PLDシステムの製品画像です

    PLAD-221-Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • 真空蒸着装置カタログあり

    真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを!

    各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究・開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸...(つづきを見る

  • 薄膜形成の製品画像です

    薄膜形成

    薄膜形成技術は、物理的気相法(PVD)・化学的気相法(CVD)・液相法で分ける事ができます。 弊社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、 フィルム等の素材に気相成長法の抵抗加熱・EB蒸着・スパッタリング・ イオンプレーティ...(つづきを見る

  • 中古半導体製造装置の製品画像です

    中古半導体製造装置

    弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 中古装置のハイテック・システムズ! 半導体製造装置のご相談は、ハイテック・システムズへ!...ハイテックシステムズは、以下の業務を行っています。 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 ・主な取り扱い中古装置  露光機(Stepper、Aligner)  CVD装置、PVD装置 ...(つづきを見る

  • 抵抗加熱蒸着装置構成例:MiniLab-LT026A(26ℓチャンバ)カタログあり

    小型、省スペース! 研究開発に最適 基礎研究開発専用、抵抗加熱蒸着装置…

    ション 要協議) ◉ 豊富なオプション:基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, シャッタ, ロードロック, オートマスクチェンジャ, etc.. *その他のE-Beam蒸着、スパッタ、CVD用MiniLabシリーズ詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • カタログあり

    仕様製作から条件決定まで、膜の質を追求します!

    実績あり。 企業支援、大学研究室支援、公的研究機関での各種成膜試験に対応します。 【開発実績】 ■真空一貫スパッタ・蒸着装置の開発 ■チタン/アルミ陽極酸化による不導体膜形成 ■CVDによる低誘電率膜の成膜及び微細加工 ■高速エピタキシーによるシリコンエピタキシャル成長及び太陽電池応用に関する研究 ■新規半導体材料(CIGS)を用いた太陽電池に関するプロセス開発 ■新規金...(つづきを見る

  • 光学用DLC製造装置 DLC

    ビューラー・ライボルトオプティクスの光学用DLC製造装置

    光学式モニターにより製膜中に膜厚を制御するプロセスを採用。GeやSiその他の基盤にPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) の技術で片面約50分でDLC膜の赤外波長域ARコートを成膜可能です。 その他詳細はお気軽にお問合せく...(つづきを見る

  • カタログあり

    FCVA方式により、スーパーDLC(水素基フリーのta-C膜)、Mic…

    FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、PVD・CVD等既存のものとは全く異なる次元の高品質のコーティングを提供します。また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、 また、樹脂部品へのコーティングも可能です。特にDLC膜(ta-...(つづきを見る

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