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  • SEMI F47-0706準拠

    瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

    ッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に対し「SEMI-F47」の規格では 電圧低下50%継続時間0.2秒以下...(つづきを見る

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