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    半導体製造装置とのインタフェースもLAN/RS232C/デジタルIOに対応する多様なインタフェースを提供しています。 エッチャー、CVD等のアプリケーションに使用され、次世代パワーデバイスの界面を高精度に深さ制御が可能です。...(つづきを見る

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