• 【高周波洗浄ユニット用途例】半導体製造工程 製品画像

    PR出力が低い所でも安定した性能を維持!繊細な部品洗浄にも適しています。

    当社では、半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」を ご提案いたします。 スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生を メーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。 特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。 当社の超音波は、出力が低い所でも安定した性能を維持できるので そのような、繊細な部品洗浄にも適していま...(つづきを見る

  • 半導体製造工程を効率化する質量分析計 『infiTOF』 製品画像

    PR半導体成膜工程の反応を正確かつ迅速に、リアルタイムでモニタリングが可能…

    近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。 予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。 【特徴】 ■ 歩留...(つづきを見る

  • CVD装置向けモジュールヒーター 製品画像カタログあり

    CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

    超硬チップや金型のコーティングに使用するCVD装置向けのモジュールヒーターです。 ご希望の炉寸法、仕様に容易にカスタマイズ可能ですのでお気軽にご相談下さい。...(つづきを見る

  • 【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃ 製品画像カタログあり

    CVD, PVD(蒸着, スパッタ, PLD, ALD等)均熱性・再現…

    ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN(インコネルプレート):φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN(BNプレート, Moカバー):φ1.0〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...(つづきを見る

  • 研究用から一般工業炉まで使えるマルチヒータ 製品画像カタログあり

    各種金属熱処理炉(焼入・焼鈍・均質・浸炭)やパイプ連続炉処理炉(ステン…

    。 ・各種金属熱処理炉(焼入・焼鈍・均質・浸炭) ・パイプ連続炉処理炉(ステンレス・銅・アルミ等) ・アルミ溶解炉・保持炉 ・ロー付け炉 ・セラミック焼成炉 ・半導体用拡散炉 ・CVD炉 ・弱電・電子関連連続処理炉 ・陶磁器焼成炉 ・ガラス熱処理炉 多くは丸線発熱体をコイル状に巻いて作ったものを使用しますが、 貞徳舎では帯状発熱体を使ったヒータも製作しております。...(つづきを見る

  • 【用途・適用炉形式】金属フレームヒータ 製品画像カタログあり

    炉内900℃まで対応!クリーンな環境で使用できる工業用電熱ヒータ

    【用途】 ■各種金属熱処理炉(焼入・焼鈍・均質・浸炭) ■各種線材 ■パイプ連続炉処理炉(ステンレス・銅・アルミ等) ■アルミ溶解炉・保持炉 ■ロー付け炉 ■半導体用拡散炉 ■CVD炉 ■弱電・電子関連連続処理炉 ■ガラス熱処理炉 ■各種実験炉 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • ヒーター 各種設計・製造・改造 製品画像

    配管ヒーターもお任せください!

    【各種設計・製造】 ○半導体向けCVDヒーター ○LCD向けヒーター ○ホットプレート ○基板加熱ヒーター 【ヒーター改造】 ○一体化、分割化等 ○配管ヒーター 【配管ヒーターの設計・施工】 ○各装置用配管ヒー...(つづきを見る

  • 真空成膜用ヒータ 製品画像カタログあり

    低ノイズプレートヒータなどの真空成膜用ヒータを多数ラインアップ!

    オーナルテックでは『真空成膜用ヒータ』を多数取り揃えております。 スパッタ/CVD用の「真空用丸型高温ヒータ」をはじめ、 「多目的用輻射型ホットプレート」などをラインアップ。 当社は熱に関する課題に対して、ヒータシステムの設計・製作を行っております。 1点の試作からで...(つづきを見る

  • 排気配管内N2ヒーター(コントローラ内蔵型) 製品画像

    配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

    半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用N2ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...CVD装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バ...(つづきを見る

  • 印刷ヒーター 製品画像カタログあり

    スクリーン印刷技術や薄膜形成技術を用い、基材と発熱体を自由に組み合わせ…

    スクリーン印刷技術や薄膜形成技術を用い、用途やご希望基本スペックに合わせ、各種基材と各種発熱体を組み合わせたヒーターを開発します。 ※組み合わせられる基材や発熱体、形状は下記をご参照ください。    【基材】     【基材形状】     【発熱体】 ■超耐熱結晶化ガラス  ■板、シート  ■厚膜(スクリーン印刷) ■セラミック各種    ■筒状     ■薄膜(スクリーン印刷) ■...(つづきを見る

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