• 次世代コーティング技術『FUPC処理』【密着性と熱歪みを克服!】 製品画像

    PR密着強度の不満・熱歪みに伴う寸法精度の限界を解決します!高品質でコスト…

    CVD処理とPVD処理の弱点を解消し、コーティングの常識を変えた フジタ技研のオリジナル技術『FUPC処理』。 自社開発の処理装置による独自のプロセスにより、CVD処理特有の熱歪みにともなう寸法変化を極力抑制し、同時にPVD処理では不可能だった強力な密着性を実現しています。 【特徴】 ■TiNの欠点である低硬度を改良してTiCに近い硬度を持たせたコーティング ■FUPC-TiCN膜よ...(つづきを見る

  • 真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

    PRSiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性…

    更なる省エネルギー化やEVなどに不可欠なパワー半導体。 そのパワー半導体の製造プロセスに不可欠な機能部品は高温で腐食性雰囲気に耐える、 不純物を含まないなど厳しい条件を満足する必要があります。 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるTaC部品、ヒータ、静電チャック、 PBN部品は高い耐熱性や耐腐食性を有し、他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できま...(つづきを見る

  • ヒーター 各種設計・製造・改造 製品画像

    配管ヒーターもお任せください!

    【各種設計・製造】 ○半導体向けCVDヒーター ○LCD向けヒーター ○ホットプレート ○基板加熱ヒーター 【ヒーター改造】 ○一体化、分割化等 ○配管ヒーター 【配管ヒーターの設計・施工】 ○各装置用配管ヒー...(つづきを見る

  • 真空成膜用ヒータ 製品画像カタログあり

    低ノイズプレートヒータなどの真空成膜用ヒータを多数ラインアップ!

    オーナルテックでは『真空成膜用ヒータ』を多数取り揃えております。 スパッタ/CVD用の「真空用丸型高温ヒータ」をはじめ、 「多目的用輻射型ホットプレート」などをラインアップ。 当社は熱に関する課題に対して、ヒータシステムの設計・製作を行っております。 1点の試作からで...(つづきを見る

  • 【用途・適用炉形式】金属フレームヒータ 製品画像カタログあり

    炉内900℃まで対応!クリーンな環境で使用できる工業用電熱ヒータ

    【用途】 ■各種金属熱処理炉(焼入・焼鈍・均質・浸炭) ■各種線材 ■パイプ連続炉処理炉(ステンレス・銅・アルミ等) ■アルミ溶解炉・保持炉 ■ロー付け炉 ■半導体用拡散炉 ■CVD炉 ■弱電・電子関連連続処理炉 ■ガラス熱処理炉 ■各種実験炉 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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