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23件 - メーカー・取り扱い企業
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59件 - カタログ
200件
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA
PR産業用 マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…
IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...
メーカー・取り扱い企業： データコントロルズ株式会社
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【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 様々なご提案！
【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案！】
こんなお困りごとはありませんか？ 課題、用途に適した膜種、方式を提案 【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがあ...
メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能
縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス
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ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置
大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計・製作 ■成膜装置やランプ加熱によるアニール装置 ■多様なライ...
メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…
ITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…
半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜（～ 5μm）が可能なため、抜群の耐久性を...
メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
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デジタル入出力信号やアナログ入出信号をＬＡＮにより制御することにより高…
各種半導体薄膜製造装置の制御をパソコンにて行うシステムです。 デジタル入出力信号やアナログ入出信号をＬＡＮにより制御することにより高速制御とデータの保存を可能にしました。...【特徴】 ○LANによるアナログ入出信号制御 ○LANによるデジタル入出力信号制御 ○高速制御とデータの保存を可能 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ミューコム
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【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃
CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…
ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…
ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...
メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社
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ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策 無料進呈中
真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…
製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー
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最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。
【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク
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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』
均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置
密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜を実現しています。 CVDのような危険なガスを用いる必要がないため排ガス処理の必要もなく、地球環境に優しい成膜技術です。 【特長】 ■高絶縁膜特性 ■多層膜 ■緻密・平坦膜 ■低ダメージ ■長期安定稼働 ...
メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社
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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…
薄膜材料の磁気特性 6章 薄膜材料の光学特性 7章 薄膜材料の力学特性 8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 1章 基板と表面処理 2章 PVD法 3章 CVD法 4章 液相薄膜堆積法 5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法 6章 パターン化技術 7章 薄膜の加工／改質技術 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価 1章 薄膜・表面・界...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス
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マグネトロン、イオンビームなど！さまざまな薄膜蒸着ソリューションから選…
れた信頼性、および グローバルなサービスとサポートを通じて、一貫した再現性のある 結果を提供する「薄膜蒸着装置」を取り扱っております。 蒸着、熱蒸着、マグネトロン、スパッタリング、PE-CVD、イオンビームなど、 幅広い材料とアプリケーションに対応するさまざまな薄膜蒸着ソリューション から選択可能。 また、海外半導体製造装置メーカーの代理店として、新品半導体製造装置 売買お...
メーカー・取り扱い企業： TST SEMICONDUCTOR株式会社
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半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい
＜対応実績＞ CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研
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150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フ...
メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社
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私たちは半導体業界に新しい風を起こします。
に応じた製品を設計、開発いたします。 →チラー →純水加熱器 →セカンドパーツ ○修理：チラー、Heコンプレッサー、カップ温湿調器、RF電源等の修理を 行っております。 ○成膜受託：CVD、インプレーティングにて、薄膜の真空蒸着を行っております。 ○チラー省エネ改造：各種メーカーのチラーを対象に、省エネ改造を 提案いたします。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイディーディー
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Local Scrubber Burn-wet ECS-3000S …
The abatement system is highly efficient, used in CVD- and etch applications for photovoltaic, semiconductor and other related industries. Advantage:...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社臺禹科機
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CVD装置用ガスボックス
弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造を行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ
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