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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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どこよりも早く『電圧降下(F47/F42)試験』に対応し、対策からレポ…
QSESの安全評価について「F47/F42評価サービス」は、装置納入時の必須項目となりつつある『電圧降下(F47/F42)試験』に、どこよりも早く対応した試験評価サービスです。 半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キューセス
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是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポ…
QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目と なりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、 いち早く対応し試験評価サービスを行っております。 「SEMI F47」はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でも イミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定。 EMC法規制がない...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キューセス
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