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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。...外皮;シリコンコーテッドガラスクロス(白) 内皮;焼成済みガラスクロス(白) 発熱線;二重絶縁ニクロム線 細配管用K熱電対;SUSクリップ止め 温調もご要望により行います。PID制御可...
メーカー・取り扱い企業: ラックデザイン株式会社
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