半導体業界向け特殊セラミック部品＜カタログ無料進呈中＞

PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

コーティング装置　圧粉成形離型DLCコーティング　

特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用し…

【主な特徴】 ○高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化の新機能被膜。 ○特殊イオン源を使用したプラズマCVD装置で高耐久性ICFを成膜させる。 ○真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、 　付加価値を高める装置を製造。 ○ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作 ...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社