EFEM | イプロスものづくり

PR産業用マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…

IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...

メーカー・取り扱い企業：データコントロルズ株式会社

EFEMシステム全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソ…

EFEMシステムは、お客様の要求に応じ、柔軟にカスタマイズ可能で低価格で導入可能です。【特長】１．主要部品独自製作（Transfer Robot、EFEM、Load Port、Controller）２．EFEM PCにて、主要部品をコントロール（SECS／GEM対応可能）３．お客様の要求に応じ、柔軟にカスタマイズ可能４．独自開発と製作により、Full line-up対応可能...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社

ローディングシステム　EFEM

300mmウェハ用に開発されたローディングシステム【特徴】 ○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等　様々な装置とのドッキングが可能 ○BBS（Building Block System）の採用で　用途に応じてオプションを付加することにより　予算に合わせた効率的なシステム構成が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...30...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング

EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　150wph OCR / 450wph ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。【特長】 ■アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能 ■様々なバリエーション、カスタム対応 ■200mm/300mm兼用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。......

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

ウエハー用EFEM

資材調達の改善により受注後６か月で納品できる

► 丈夫な構造 ► 納期が短い ► 取り付け簡単 ► メンテし易い ► 静かな運転音 ► モジュラーデザイン ► 一般的な環境、クリーンルームに適用日本語の対応が可能なスタッフが在籍しております。ご相談がございましたら、お気軽にお問い合わせください。その他川岳機械製品 ■主な製品(システム) 液晶コンベヤ用システム太陽電池コンベヤ用システム半導体コンベヤ...

メーカー・取り扱い企業：川岳機械株式会社台湾本社

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能システム提案も対応いたします。プロセスフロー例：ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置）焼成プロセス Option：Cure Oven等との組...

メーカー・取り扱い企業：中外炉工業株式会社

『自動化・省力化ソリューションの導入支援』

産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボット…

ンテ担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。 ■半導体製造装置向けサブシステムも当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載したウエハ搬送ロボットのほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。高い技術力を要する半導体製造装置向けサブシステムも当社で揃います。...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

標準のクラスター構成は、ALDモジュール2基、予熱および冷却チャンバ、ウエハハンドリングロボット、およびFOUPとの間でウエハをロード/アンロードするEFEMステーションです。既存の製造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。オペレーティングシステムソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなH...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

材料投入装置　他 ■FPD 　・クリーンルーム対応装置　・ガラス基板搬送装置：ローダー/アンローダー装置　他 ■半導体　・クリーンルーム対応装置　・上流・下流装置問わず連結可能：EFEM　他 ■自動車関連　・ASSY組立装置　・画像検査装置　他 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：レック株式会社

ジェーイーエル　事業紹介

搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください…

事業内容】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットの製造販売 →半導体搬送ロボット →アライナ →基板搬送ロボット →システム（ソータシステム、卓上ローダシステム、EFEM等） →オプション（コントローラ、ベイヌーイ・チャック、吸着チャック、反転ユニット、ティーチングボックス等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

FoPLP向け EFEM System

構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソフト対応も含…

１．主要部品独自製作（Transfer Robot、EFEM、Load Port、Controller）２．EFEM PCにて、主要部品をコントロール（SECS／GEM対応可能）３．お客様の要求に応じ、柔軟にカスタマイズ可能４．独自開発と製作...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社