チェックしたものをまとめて:

  • 汎用タイプ 膨張黒鉛編組パッキン『ピラーNo.6114』 製品画像

    PR金属線を使用していない汎用タイプの膨張黒鉛パッキン!

    『ピラーNo.6114』は、有機繊維で補強した膨張黒鉛の編糸を、 断面角型に編組した、金属線を使用していない膨張黒鉛パッキンです。 膨張黒鉛編糸の表層は、シール性、摺動性などの性能を最大限に 発揮させるため特殊潤滑剤が強固に処理されています。 【性能】 ■温度:-200~400℃  (パッキン部温度は350℃以下) ■圧力:5.3MPa(クラス300) ※詳しくはPDF...(つづきを見る

  • 蒸気洗浄装置『ASTE(アステ)』 製品画像

    金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載

    【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数:2チャンバ ■ウエハ口径:150,200mm対応 ■カセット数:2カセット ■用 力:DIW...(つづきを見る

  • 蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』 製品画像

    金リフトオフ工程で95%以上の回収率でコスト低減!LED用の洗浄装置

    【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径:50-150mmΦ ■用 力:DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa...(つづきを見る

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