• GTジャケットOリング 【耐薬品性と弾性を持ったOリング】 製品画像

    PR【サンプル提供可能】ゴムの弾性とフッ素樹脂の耐薬品性を兼ね備えたOリン…

    GTジャケットOリングはフッ素ゴムまたはシリコンゴムをフッ素樹脂で完全に被覆し、ゴムの弾性とフッ素樹脂の耐薬品性を兼ね備えたOリングです。JISサイズ・AS568Aといった規格品から内径6.1mm~3,568mmまでの特殊寸法品も対応。 【特長】 ■高い耐薬品性 ■広い寸法範囲 ■広い使用温度範囲 ■継ぎ目がスムーズでシームレス ■強靭・優れた電気絶縁性 ※サンプル提供可能で...(つづきを見る

  • 蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』 製品画像

    金リフトオフ工程で95%以上の回収率でコスト低減!LED用の洗浄装置

    【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径:50-150mmΦ ■用 力:DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa...(つづきを見る

  • 蒸気洗浄装置『ASTE(アステ)』 製品画像

    金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載

    【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数:2チャンバ ■ウエハ口径:150,200mm対応 ■カセット数:2カセット ■用 力:DIW...(つづきを見る

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