• 半導体 EFEM 製品画像

    半導体 EFEM

    メイキコウのクリーンロボットの清浄度はクラス10(液晶パネル)&クラス1(ウェーハ)、究極のハンドリングを実現しています。 メカトロ技術に限りない清浄度を追求した半導体・液晶パネルの製造工程における究極の搬送を実現します。ベーシックな構造で、高クリーン度・高スループットを実現します。高性能FFUを搭載し、EFEM内部の差圧を適正に保ちます。ロードポート数・ロボット機種の組み合わせ等、お打合せによ...(つづきを見る

1件中1〜1件を表示中

表示件数
45件
  • 1

※このキーワードに関連する製品情報が登録された場合にメールでお知らせします。

企業で絞り込む
分類で絞り込む

企業で絞り込む

[-]

分類で絞り込む

[-]