• ウェーハ搬送システム EFEM 製品画像カタログあり

    業界で評価されたロードポート、ロボット。

    高速搬送と高クリーンを実現するウェーハ受け渡し装置。...【特徴】 ○クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現 ○ロボット、FOUPオープナ、アライナは全て自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート ○ 業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方...(つづきを見る

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