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  • 汎用タイプ 膨張黒鉛編組パッキン『ピラーNo.6114』 製品画像

    PR金属線を使用していない汎用タイプの膨張黒鉛パッキン!

    『ピラーNo.6114』は、有機繊維で補強した膨張黒鉛の編糸を、 断面角型に編組した、金属線を使用していない膨張黒鉛パッキンです。 膨張黒鉛編糸の表層は、シール性、摺動性などの性能を最大限に 発揮させるため特殊潤滑剤が強固に処理されています。 【性能】 ■温度:-200~400℃  (パッキン部温度は350℃以下) ■圧力:5.3MPa(クラス300) ※詳しくはPDF...(つづきを見る

  • ウェーハ搬送システム EFEM 製品画像カタログあり

    業界で評価されたロードポート、ロボット。

    高速搬送と高クリーンを実現するウェーハ受け渡し装置。...【特徴】 ○クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現 ○ロボット、FOUPオープナ、アライナは全て自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート ○ 業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方...(つづきを見る

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