非接触厚さ測定装置　ＯＺＵＭＡ２２　

半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素砒素）、…

半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素（Ga)砒素(As)）、ガラス、金属等の高精度非接触厚さ測定装置のOZUMAが新しくなりました。 非接触厚さ測定装置OZUMA22は半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・...

メーカー・取り扱い企業： 佐々木工機株式会社

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

【仕様】 ■被搬送物：4インチ　GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 　・センタリング：±0.2mm以内 　・オリフラ：±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間：約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

ておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハ...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

0』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社