光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

リコンのセンタリングと 　オリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能 【仕様】 ○対象キャリア：150mmウェーハ用カセット ○対象ウェーハ：150mmウェーハ（ガラス、サファイア、GaAs） ○スループット：140枚/h（装置側の処理時間は含まない） ○クリーン度：ISO　クラス2 ○外形寸法：W835×D940×H1815 ○重量：350kgf ○ユーティリティ →電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル